ИЗВЕСТИЯ ТОМСКОГО ОРДЕНА ОКТЯБРЬСКОЙ РЕВОЛЮЦИИ
И ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ
ПОЛИТЕХНИЧЕСКОГО ИНСТИТУТА
Том 206
1973
О ТКА ЧН О Й ПОСТ С ТИТАНОВЫ М НАСОСОМ
В. П. ПОНОМАРЕВ
(Представлена научным семин.аіром сектора вакуумной техники и электроники)
Приведено описание конструкции вакуумного поста, предназна
ченного для откачки и тренировки отпаянных приборов в процессе
их изготовления.
Кроме обычной откачной системы, состоящей из насосов типа
Ц ВЛ-100 и РВН-20, откачной пост оснащен титановым ионно-сорбци
онным насосом. Предельный вакуум, обеспечиваемый вакуумной си
стемой поста и откачиваемых приборов, составляет величину 1.10 '
7.10 ” 3
т о р .
Введение
Надежность и долговечность большинства электровакуумных при
боров в значительной мере зависят от условий, обеспечиваемых при
заключительных операциях их изготовления. К этим условиям в первую
Очередь относятся величина разряж ен и я и его «чистота», создаваемые
вакуумной системой в приборе при его откачке и тренировке [1].
Использование титановых насосов для откачки отпаянных прибо
ров различного назначения позволяет легко выполнить эти условия.
Откачной пост с титановым насосом в наших условиях предназ
начен для откачки и тренировки отпаянных камер малогабаритных
бетатронов, разрядников, экспериментальных диодов и других при
боров.
Конструкция поста
Откачной пост состоит из двух основных узлов: вакуумной систе
мы и электрической схемы.
Схема вакуумной системы приведена на рис. 1. Откачная система
состоит из механического насоса 1 типа РВН-20, высоковакуумного
насоса 2 типа ЦВЛ-100 и титанового насоса 3.
Насос ЦВЛ-100 снабжен отраж ательным щитком типа «Жалюзи»
[3], охлаж даемы м водой. Трубопровод 5 через сильфонный переход в
присоединяется к вентилю 7 (рис. 2), укрепленному на колпаке 8.
К колпаку с одной стороны присоединен титановый насос, а с другой
коваровая трубка 9, оканчиваю щаяся стеклянной гребенкой 10, на кото
рую напаиваются откачиваемые приборы.
О безгаж ивание баллонов откачиваемых приборов осуществляется
нагревом их в печи 11 при температуре T = 450—500°. Экран 12, изго-
Достарыңызбен бөлісу: |