Конспект лекций Тема лекции 1: Метрология: краткая история История развития науки об измерениях
жүктеу/скачать 0,52 Mb. Pdf көрінісі
|
downloadPdfUmkd (1)
| Оптико-механические приборы
. Оптико-механическими называют средства измерения геометрических размеров, действие которых основано на использовании законов геометрической оптики (инструментальные микроскопы и проекторы) или явлений интерференции когерентных пучков света (интерференционные микроскопы, компараторы). Распространенными приборами для линейных и угловых измерений в микроэлектронике и смежных отраслях являются инструментальные микроскопы и проекторы. Микроскопы инструментальные предназначены для измерения длин и углов различных деталей сложной формы в прямоугольной и полярной системах координат. Используют чаще всего непосредственно на рабочих местах, а также для измерения параметров резьбы. Различают несколько типов микроскопов: малый микроскоп инструментальный (ММИ), большой микроскоп инструментальный (БМИ), которые различаются диапазоном измерения. Проектор служит для контроля и измерения изделий, имеющих сложный контур, (профильные шаблоны). Проекторы предназначены для проецирования теневого изображения (контура) изделий на экран и измерения их линейных и угловых размеров путем непосредственного сравнения теневого изображения с чертежом (исполненном в соответствующем масштабе) или вычерченным контуром изделия. Стол проектора. На котором устанавливается изделие, имеет возможность перемещаться в продольном, поперечном направлениях и по вертикали. Перемещение стола отсчитывается по соответствующим шкалам с ценой деления 0,01…0,002 мм. Погрешность при измерении длин с помощью проектора не превышает + (0,003… 0,005 ) мм. Оптиметр – прибор для измерения линейных размеров сравнением с мерой, преобразовательным элементом в котором является рычажно- оптический механизм. Непосредственно измерительной головкой в этом приборе является трубка оптиметра, которая бывает окулярного и проекционного (экранного) типов. В трубке окулярного типа наблюдатель смотрит в окуляр и отсчитывает значения размера по шкале, а в трубке проекционного типа отсчет производится на экране. Гониометры. Гониометрические методы и средства измерений, у которых измеряемый угол сравнивают с соответствующим значением подразделения встроенной в прибор круговой или секторной шкалы. Гониометры выпускают следующих типов: ГС-1, ГС-2, ГС-5, ГС-10, ГС-30 с ценой деления 1,2,3,5,10 и 30 // соответственно и погрешностью измерения любого угла одним приемом из трех наведений и отсчетов на любом участке лимба соответственно 1,2,3,5,10 и 30 // . Интерферометр – измерительный прибор, основанный на интерференции света. Принцип действия всех интерферометров одинаков, и различаются они толко способами получения так называемых когерентных пучков света, т.е. таких складываемых пучков, которые обладают постоянством разности фаз: при их сложении определяется амплитуда суммарных колебаний. Контактные интерферометры предназначены для измерения наружных размеров с использованием стеклянных пластин (ГОСТ 2923-75). Диапазон измерения вертикального интерферометра до 150 мм, горизонтального – до 500 мм. Основными представителями разновидности оптических приборов являются универсальный микроскоп и универсальный измерительный микроскоп (УИМ). К этому виду приборов относятся и бесконтактные интерферометры. Универсальным микроскопом называется оптический прибор для измерения линейных и угловых размеров в плоскости с визированием измеряемых точек или линий с помощью микроскопа и отсчетом значений размера по оптическим шкалам. Универсальные микроскопы отличаются от инструментальных большим диапазоном измерений и более высокой точностью. УИМ имеет диапазон измерений в продольном направлении 200 мм, в поперечном – 100 мм. Цена деления отсчетных линейных устройств 0,001 мм, а угломерного устройства 1 / . Изгот овляют микроскопы для измерения размеров до 500 мм по продольной шкале и 200 мм – по поперечному. жүктеу/скачать 0,52 Mb. Достарыңызбен бөлісу:
|