предметный столик — держатель образца и система для его наклонения;
источник электронов (электронный прожектор, электронная пушка) для генерирования электронного потока;
источник высокого напряжения для ускорения электронов;
набор электромагнитных линз и электростатических пластин для управления и контроля электронного луча;
апертуры;
экран, на который проецируется увеличенное электронное изображение (постепенно выходит из употребления, заменяясь детекторами цифрового изображения)
Растровая электронная микроскопия
Тонкий электронный зонд генерируется электронной пушкой, которая играет роль источника электронов, и фокусируется электронными линзами (обычно электромагнитными, иногда электростатическими). Сканирующие катушки отклоняют зонд в двух взаимоперпендикулярных направлениях, сканируя поверхность образца зондом, подобно сканированию электронным пучком экрана электронно-лучевой трубки телевизора. Источник электронов, электронные линзы (обычно тороидальные магнитные) и отклоняющие катушки образуют систему, называемую электронной колонной
