24
• возможность использования зонда для модификации поверхности
объекта;
• возможность использования не только в вакууме, но и на воздухе и в
жидкой среде.
Основными недостатками сканирующей зондовой микроскопии
являются:
• сильная зависимость результатов от формы и природы зонда;
• низкая скорость, обусловленная механической системой сканирования;
• искажения латеральных расстояний и углов, что связано с темпера-
турным дрейфом, нелинейностью функционирования пьезокерамики
и тем фактом, что данные от различных участков растра получены в
разные моменты времени.
Достарыңызбен бөлісу: