Эксплуатация и характеристики поста
Сочетание обычной откачной системы, состоящей из насосов типа
РВН-20 и Ц ВЛ-100 с титановым насосом, позволяет получить высокие
эксплуатационные характеристики откачного поста.
Получение давлений порядка
Iu 7— 1 0 ~ 8
тор в откачиваемых
приборах при нормальной эксплуатации поста обеспечивается работой
титанового насоса.
Процедура запуска титанового насоса и получение низкого д а в л е
ния остаточных газов в
приборах сводится к следующему: собранная
и испытанная на натекание система откачивается механическим насосом
до давления 10
~ т о р , после
этого перекрывается
высоко
вакуумный вентиль титанового
насоса и включается д и ф ф у зи
онный
насос.
При давлении
в системе
10 ~ 4— 10 “ 5
тор
вентиль титанового насоса о т
крывается, и на катод насоса
с целью обезгаж и вани я эл е к т
родной системы подается п о л
ное напряжение.
О безгаж ивание
эл ектр од
ной системы обычно проводит
ся в течение 0,5— 1 часа.
По окончании о б е зг а ж и в а
ния электродной системы н а
пряж ение н ак ал а у катода н а
соса уменьшается до нуля и на титановый коллектор подается номиналь
ное напряжение. Медленно увеличивается накал катода и, наблю дая
за током в
цепи коллектора и давлением в системе, вводят насос в
нормальный режим
работы,
при этом
давление
в системе
выше
3— 4 - 1 0 ~ 4
тор повышать не рекомендуется во избеж ание возникно
вения
пробоя меж ду
электродами. При
давлении
в системе
2—5 • IO5
тор высоковакуумный вентиль титанового насоса перекры
вается. Это
так называемый предварительный .запуск титанового н а
соса, осуществляемый после чистки или его ремонта. Общее время
предварительного
запуска
титанового
насоса
составляет
2—3
часа.
Приборы, п одлеж ащ и е откачке, напаиваю тся на патрубки стеклян
ной гребенки и откачиваю тся механическим насосом. Титановый насос
при этом работает при закры том высоковакуумном вентиле. После
получения в приборе вакуум а
1 • 10“ 2
тор перекрывается
вентиль
предварительной откачки
7, выклю чается механический насос и п ита
ние титанового насоса. После этого открывается
высоковакуумный
вентиль и через 1—2 минуты вновь включается питание титанового н а
соса.
С казанное иллюстрируется графиком понижения давления в сис
теме от времени, приведенном на рис. 6. Н а графике имеется три
характерны х участка:
I — участок понижения давления механическим насосом;
II — понижение давления за счет сорбции газов напыленной т и т а
новой пленкой;
III — снижение давления в системе работаю щ им титановым насо
сом.
*
42
Рис. 6. График понижения давления
в откачиваемых приборах
В нашем случае время для откачки двух стеклянных камер для
м алогабаритны х бетатронов объемом по 1 л с атмосферного давления
до 5 • 10“ 6
тор составляет 15 мин. З а 6—7 часов работы титанового н а
соса давление в
системе снижается до 1—2 - 10 ~ 7
тор.
При откачке приборов с повышенными требованиями к предельно
му разрежению время откачки повышается до 12— 14 часов
(непре
рывно или с перерывами 10— 15 часов).
Величина остаточного давления газов в
системе при этом сн и ж а
лась до 7— 10 8
тор. Эксплуатация откачного поста с титановым н а
сосом в течение трех лет показала, что он обладает высокой н адеж н о
стью и эффективностью и может быть рекомендован для откачки при
боров с
небольшим объемом как в лабораторных, так и промышлен
ных условиях.
ЛИТЕРАТУРА
1. Современная вакуумная техника. ИЛ, 1963.
2. В. П. П о н о м а р е в . ПТЭ, 6, 143, 1963.
3.
Б. С. Д а н и л и н . Конструирование вакуумных систем. ГЭИ, 1959.