Дәріс 11-12 Электрмеханикалық ММД

3 дәрісте (3.1.1 - бөлім) мик-электрмеханикалық жүйелердің (MEMS) негізгі анықтамалары берілген. MEMS құру-бұл күрделі кешенді міндет, оны массогабарит көрсеткіш - терін азайтуға алып келмейді. Микросистемалар мен микроқұрылғыларды жасау кезінде айла-шарғы, орын ауыстырулар немесе микрометр диапазонында қандай да бір іс-қимылдарды орындау үшін микросистемалар тәртібінің бірқатар ерекшеліктеріне сүйенуге тура келді: гравитациялық және инерциалды күштер әсерінің төмендеуі, олар ұстасу күштерімен (электростатикалық, Ван-дер-Ваальс және беттік керілу) салыстырғанда, үстіңгі бетінің ауданына пропорционалды; басып алу операцияларын және ауыстыру жөніндегі қарапайым операцияларды орындаудың үлкен сенімділігі механикалық, гидравликалық, электрстатикалық және электромагниттік күштерді пайдалануға негізделген құрылғылармен қамтамасыз етіледі; шамамен 1 мкм микросистемалар құрауыштарын дайындау дәлдігіне жоғары талаптар. Бұл ерекшеліктерді әр түрлі микросистемалар үшін атқарушы тетіктерді (жетектерді) әзірлеу кезінде ескеру қажет. Жетектерді құрастыру Механикалық энергия болып табылатын физикалық әсерді таңдауға әкеледі. Габариттер, дәлдік және масса тұрғысынан ең үлкен қызығушылық - ют жетектердің мынадай түрлері: пьезоэлектрлік, магнитострикциалық, биметаллдық және жады бар металдар базасындағы жетектер. Мысалдар ретінде MEMS бүкіл кең класынан қарастырайық микроэлектр қозғалтқыштар және микророботтар.