Электронды микроскоп. Электронды микроскоптарда жарықтың орнына электрон сəулелері қолданылады, осыған байланысты қолданылатын қуаттың күші 50—100 кВ-қа дейін барады, ал толқын ұзындығы 0,056—0,035 А°-ге (Ангстрем) жетеді. Толқын ұзындығы неғұрлым қысқа болса, микроскоптың көрсеткіштік қабілеттілігі соғұрлым артады. Осыған байланысты электронды микроскоптардың көрсеткіштік қабілеттілігі 1-7А°-ға, ал үлкейткіштік қабілеттілігі 600 000-ға дейін жетеді.
