Рис. 1. Схема вакуумной системы откачного поста

Рис. 1. Схема вакуумной системы откачного поста: 
1 — механический насос РВН-20, 2 — диффузион­
ный насос ЦВЛ-100, 3 — титановый насос, 4—ло­
вушка, 5 — трубопровод, 6 — сильфон, 
7 — вен­
тиль предварительной откачки, 8 — колпак, 9 — 
коваровая 
трубка, 
10 — стеклянная 
гребенка, 
1 1 — печь, 12 — экран, 13 — манометрические лам­
пы ЛТ-2 и ЛМ-2, 14 — датчик ММ-13
Рис. 2. Вентиль:
1 — корпус вентиля, 2 — фторопластовый диск, 3 — клапан, 
4 — винт, 5 — стопорная втулка, 6 — фланец, 7 — фторопла­
стовая втулка, 8 — маховичок, 9 — гайка, 10 — шайба, 11 — 
резиновая прокладка

ювленный из імедного листа с напаянной трубкой для охлаждения, 
предохраняет нагрев откачной системы.
Титановый ионно-сорбционный насос <3, схематично изображенный 
на рис. 3. является модернизированной конструкцией насоса, приведен­
ного в [2].
Рис. 3. Схема титанового насоса:
І — шайба, 2 — фторопластовый 
диск, 3 — клапан, 4 — на­
жимная втулка, 5 — стопорная втулка, 6 — сильфон, 7 — винт,
J8 — экран, 9 — катод, 10 — анод (коллектор), 11 — корпус на­
соса, 
12 — молибденовый держатель, 
13 — стяжная 
лента,
14 — металлокерамический ввод
Основные параметры и характеристики насоса даны в табл. 1.
Уплотнение разборных узлов вакуумной системы осуществляется 
прокладками из фторопласта-4, за исключением уплотнения маномет­
рических ламп, где используется комбинированное резино-фтороплас 
товое уплотнение, изображенное на рис. 4.
Д л я
измерения разрежения, 
создаваемого 
откачной 
системой, 
и вакуумной блокировки используются вакуумметры ВИТ-1А и ВМБ-3 
с соответствующими датчиками, помещенными в различных участках 
системы.
Электрическая схема поста обеспечивает питанием титановый н а­
сос (рис. 5), а та кж е необходимым напряжением остальные устройст­
ва: насосы РВН -20 и ЦВЛ-100, печь и откачиваемые приборы.
40

жүктеу/скачать 6,05 Mb.

Достарыңызбен бөлісу: