Т а б л и ц а I
№
Наименование
Величина
п.п.
характеристики
1
Скорость откачки воз
духа
при
давлении
1,10 ~ 5—5,10 ~ 6 тор, л/сек.
40—50
2
Предельный вакуум, со
здаваемый насосом, тор.
5 , 10“ 8
3
Срок службы
насоса,
определяемый
запасом
титана,
помещенным
в насос, г.
5 0 0 - 6 0 0
4
Ток в цепи анода, ма.
120— 150
5
Напряжение на като
де, в.
6— 10
6
Напряжение
на
ано
де, в.
1100— 1200
7
Ток катода, а.
1 1 - 1 2
8
Размеры анода, мм.
1 8 X1 6 X3
9
Расстояние анод — ка
тод, мм.
1 0 -1 1
10
Материал
катода на
соса.
Вольфрам ВА-3
0 0 ,4
11
Материал анода насоса.
Титан ВТ-1Д
12
Диаметр катода и шаг
спирали, мм.
6 , 4 - 6
Рис. 4. Резино-фтороплас-
товое уплотнение мано
метрических ламп:
1 — лампа,
2 — гайка,
3
— шайба,
4
— резино
вая прокладка, 5 — фто
ропластовая втулка, 6 —
корпус
0-500
0 3 а
0 - Œ » -------
н а к
/77/5,
sjJ p H O -2 5 0
la
-22ХГ
В ь т р я п и
т е л ь
U - - / 2 0 0 в
B - 0 ' l 5 0 j u a
ш а т а н о 6ы й
//СГСОС
Рис, 5. Схема питания титанового насоса
41
Эксплуатация и характеристики поста
Сочетание обычной откачной системы, состоящей из насосов типа
РВН-20 и Ц ВЛ-100 с титановым насосом, позволяет получить высокие
эксплуатационные характеристики откачного поста.
Получение давлений порядка
Iu 7— 1 0 ~ 8 тор в откачиваемых
приборах при нормальной эксплуатации поста обеспечивается работой
титанового насоса.
Процедура запуска титанового насоса и получение низкого д а в л е
ния остаточных газов в приборах сводится к следующему: собранная
и испытанная на натекание система откачивается механическим насосом
до давления 10 ~ т о р , после
этого перекрывается
высоко
вакуумный вентиль титанового
насоса и включается д и ф ф у зи
онный
насос.
При давлении
в системе
10 ~ 4— 10 “ 5 тор
вентиль титанового насоса о т
крывается, и на катод насоса
с целью обезгаж и вани я эл е к т
родной системы подается п о л
ное напряжение.
О безгаж ивание
эл ектр од
ной системы обычно проводит
ся в течение 0,5— 1 часа.
По окончании о б е зг а ж и в а
ния электродной системы н а
пряж ение н ак ал а у катода н а
соса уменьшается до нуля и на титановый коллектор подается номиналь
ное напряжение. Медленно увеличивается накал катода и, наблю дая
за током в цепи коллектора и давлением в системе, вводят насос в
нормальный режим
работы,
при этом
давление
в системе
выше
3— 4 - 1 0 ~ 4 тор повышать не рекомендуется во избеж ание возникно
вения
пробоя меж ду
электродами. При
давлении
в системе
2—5 • IO5 тор высоковакуумный вентиль титанового насоса перекры
вается. Это так называемый предварительный .запуск титанового н а
соса, осуществляемый после чистки или его ремонта. Общее время
предварительного
запуска
титанового
насоса
составляет
2—3
часа.
Приборы, п одлеж ащ и е откачке, напаиваю тся на патрубки стеклян
ной гребенки и откачиваю тся механическим насосом. Титановый насос
при этом работает при закры том высоковакуумном вентиле. После
получения в приборе вакуум а
1 • 10“ 2 тор перекрывается
вентиль
предварительной откачки 7, выклю чается механический насос и п ита
ние титанового насоса. После этого открывается
высоковакуумный
вентиль и через 1—2 минуты вновь включается питание титанового н а
соса.
С казанное иллюстрируется графиком понижения давления в сис
теме от времени, приведенном на рис. 6. Н а графике имеется три
характерны х участка:
I — участок понижения давления механическим насосом;
II — понижение давления за счет сорбции газов напыленной т и т а
новой пленкой;
III — снижение давления в системе работаю щ им титановым насо
сом.
*
42
Рис. 6. График понижения давления
в откачиваемых приборах
В нашем случае время для откачки двух стеклянных камер для
м алогабаритны х бетатронов объемом по 1 л с атмосферного давления
до 5 • 10“ 6 тор составляет 15 мин. З а 6—7 часов работы титанового н а
соса давление в системе снижается до 1—2 - 10 ~ 7 тор.
При откачке приборов с повышенными требованиями к предельно
му разрежению время откачки повышается до 12— 14 часов
(непре
рывно или с перерывами 10— 15 часов).
Величина остаточного давления газов в системе при этом сн и ж а
лась до 7— 10 8 тор. Эксплуатация откачного поста с титановым н а
сосом в течение трех лет показала, что он обладает высокой н адеж н о
стью и эффективностью и может быть рекомендован для откачки при
боров с небольшим объемом как в лабораторных, так и промышлен
ных условиях.
ЛИТЕРАТУРА
1. Современная вакуумная техника. ИЛ, 1963.
2. В. П. П о н о м а р е в . ПТЭ, 6, 143, 1963.
3.
Б. С. Д а н и л и н . Конструирование вакуумных систем. ГЭИ, 1959.
Достарыңызбен бөлісу: |