38
Рис. 1. Схема вакуумной системы откачного поста:
1 — механический насос РВН-20, 2 — диффузион
ный насос ЦВЛ-100, 3 — титановый насос, 4—ло
вушка, 5 — трубопровод, 6 — сильфон,
7 — вен
тиль предварительной откачки, 8 — колпак, 9 —
коваровая
трубка,
10 — стеклянная
гребенка,
1 1 — печь, 12 — экран, 13 — манометрические лам
пы ЛТ-2 и ЛМ-2, 14 — датчик ММ-13
Рис. 2. Вентиль:
1 — корпус вентиля, 2 — фторопластовый диск, 3 — клапан,
4 — винт, 5 — стопорная втулка, 6 — фланец, 7 — фторопла
стовая втулка, 8 — маховичок, 9 — гайка, 10 — шайба, 11 —
резиновая прокладка
ювленный из імедного листа с напаянной трубкой для охлаждения,
предохраняет нагрев откачной системы.
Титановый ионно-сорбционный насос <3, схематично изображенный
на рис. 3. является модернизированной конструкцией насоса, приведен
ного в [2].
Рис. 3. Схема титанового насоса:
І — шайба, 2 — фторопластовый
диск, 3 — клапан, 4 — на
жимная втулка, 5 — стопорная втулка, 6 — сильфон, 7 — винт,
J8 — экран, 9 — катод, 10 — анод (коллектор), 11 — корпус на
соса,
12 — молибденовый держатель,
13 — стяжная
лента,
14 — металлокерамический ввод
Основные параметры и характеристики насоса даны в табл. 1.
Уплотнение разборных узлов вакуумной системы осуществляется
прокладками из фторопласта-4, за исключением уплотнения маномет
рических ламп, где используется комбинированное резино-фтороплас
товое уплотнение, изображенное на рис. 4.
Д л я
измерения разрежения,
создаваемого
откачной
системой,
и вакуумной блокировки используются вакуумметры ВИТ-1А и ВМБ-3
с соответствующими датчиками, помещенными в различных участках
системы.
Электрическая схема поста обеспечивает питанием титановый н а
сос (рис. 5), а та кж е необходимым напряжением остальные устройст
ва: насосы РВН -20 и ЦВЛ-100, печь и откачиваемые приборы.
40
|
