PVD — физикалық будАН тұндыру. Бұл ҮРДІс бірнеше қадамдарды қамтиды. бүкіл ҮРДІс вакуум жағдайында жасаЛАДЫ.
Біріншіден, қатты прекурсорлық материал электрондар сәулесімен бомбаРДИРЛЕНІП, осылайша ол материалдың атомдарын береді.
Екіншіден, бұл атомдар жабын ТАБАҚША бар реакциялық камераға енеді. Онда тасымалдау кезінде атомдар басқа газдармен әрекеттесіп, жабын материалын ТҮЗЕ АЛАДЫ немесе атомдардың өзі жабын материалы бола алады. Соңында, олар жұқа қабат ТҮЗЕ отырып, ТАБАҚША БЕТІНЕ ТҰНАДЫ.
PVD жабыны үйкелісті азайтуға немесе заттың тотығуға төзімділігін жақсартуға немесе қаттылықты жақсартуға және т.б. ҚОЛДАНЫЛАДЫ. PVD жабындары көптеген себептерге байланысты тұндырылады. Олардың негізгілері:• Жақсартылған қаттылық пен тозуға төзімділік• Үйкеліс азаяды• Тотығуға төзімділігі жақсарАды.
Мұндай жабындарды пайдалану өнімділікті жақсарту және құрамдас бөліктердің қызмет ету мерзімін ұзарту арқылы тиімділікті арттыруға бағытталған. Олар сондай-ақ қапталмаған құрамдас басқаша орындай алмайтын орталарда қапталған құрамдастардың жұмыс істеуіне мүмкіндік беруі мүмкін.
Химиялық будан тұндыру әдісін түсіндіру.
Фуллерендерді шығарудың бұл ең практикалық және кең таралған әдісі құрамында көміртегі бар газдың ыстық металл катализаторының бетіне термохимиялық шөгуіне негізделген.
Құрамында көміртегі бар газ қоспасы (әдетте ацетилен немесе метанның азот қоспасы) пешке орналастырылған кварц түтігі арқылы шамамен 700-1000 ° С температурада өтеді.
Құбырда керамикалық тигель бар,ол әр түрлі материалдарды балқытуға, пісіруге немесе қыздыруға арналған арнайы ыдыс, катализаторы - металл ұнтағы.
Газ атомдарының металл атомдарымен химиялық реакциясы нәтижесінде пайда болатын көмірсутектің ыдырауы катализатор бетінде ішкі диаметрі 10 нм дейін және ұзындығы ондаған микрон болатын фуллерендер мен нанотүтіктердің пайда болуына әкеледі.
Сипаттамадан көрініп тұрғандай, фуллерендер мен көміртекті нанотүтіктерді алудың барлық әдістері үшін соңғы материал шлактың бір бөлігін - күйе, аморфты графит бөлшектерін, ал катализаторларды қолданған жағдайда - металл бөлшектерін қамтиды.
Алынған өнімнің тазалығын жоғарылату үшін механикалық (фильтрлеу, ультрадыбыспен) және химиялық (химиялық белсенді заттармен жуу, қыздыру) тазартудың әр түрлі әдістері қолданылады.