Сканирующий туннельный микроскоп — для получения изображения используется туннельный ток между зондом и образцом, что позволяет получить информацию о топографии и электрических свойствах образца.
Атомно-силовой микроскоп — регистрирует различные силы между зондом и образцом. Позволяет получить топографию поверхности и её механические свойства.
Сканирующий ближнепольный микроскоп — для получения изображения используется эффект ближнего поля
Сканирующий туннельный микроскоп
Применяется для исследования электропроводящих образцов: металлов, сплавов, сверхпроводников и полупроводников.
При подаче напряжения между зондом и поверхностью возникает туннельный ток It величина которого зависит от величины зазора z
Атомно-силовой микроскоп
Принцип работы атомно-силового микроскопа основан на регистрации силового взаимодействия между поверхностью исследуемого образца и зондом. В качестве зонда используется наноразмерное остриё, располагающееся на конце упругой консоли, называемой кантилевером. Сила, действующая на зонд со стороны поверхности, приводит к изгибу консоли. Появление возвышенностей или впадин под остриём приводит к изменению силы, действующей на зонд, а значит, и изменению величины изгиба кантилевера. Таким образом, регистрируя величину изгиба, можно сделать вывод о рельефе поверхности.
Под силами, действующими между зондом и образцом, в первую очередь подразумевают дальнодействующие силы Ван-дер-Ваальса, которые сначала являются силами притяжения, а при дальнейшем сближении переходят в силы отталкивания. В зависимости от характера действия силы между кантилевером и поверхностью образца выделяют три режима работы атомно-силового микроскопа: