46
Бұл беткі қабаттың тереңдігі бірнеше микрон ғана болады. Интегралдық
микросызбаларды өндіру барысындағы технологиялық үдерістің негізгі
кезеңдерін санамалап шығайық:
■
қышқылдану;
■
фотолитография;
■
өңдеу;
■
қоспалар диффузиясы немесе ионды имплантация;
■
металдау.
Технологияның
барлық кезеңдері, жартылай өткізгіштің кристалында
әртүрлі қоспалармен тізбектеле отырып барлық белсенді және пассивті
элементтер түзілгенге дейін қайталанатын болады. Технологиялар
кезеңдері бүкіл пластина бойынша бір мезетте орындалулары мүмкін,
сондықтан элементтердің және олардың қосылыстарының үлкен
санын
жоғары дәлдікпен орындауға болады, бұл планарлық үдерістің басты
артықшылығы болып табылады. Жартылай өткізгіш интегралды
микросызбалар бір кристалды (монолиттік)
және көп кристалды
(микрожиынтық) болулары мүмкін. Бір кристалды микросызба корпуссыз
болуы және микрожиынтық құрамына кіруі немесе коммутациялық
(баспа) платаға монтаждауға арналған сыртқы шығыстары бар
герметикаланаған корпуста болуы мүмкін.
Микросызбаның сенімділігін қамтамасыз етуде және оның шығаратын
шуылын төмендетуде жалғастыру орындары маңызды рөл атқарады.
Жақсы
жанасуға
қол
жеткізу
үшін
лазерлік
техниканы,
термокомпрессияны, ультрадыбыстық дәнекерлеуді кеңінен қолданады.
Сымды байланыстар үшін, диаметрі бірнеше ондаған микрон болатын
мыстан жасалған алтын жалатқан немесе
алытннан жасалынған сым
пайдаланылады.
Ең үлкен технологиялық күрделіліктер индуктивтілік орамдары мен
трансформаторларды дайындау барысында пайда болады. Сондықтан,
микросызбаларды олардың құрамында мұндай элементтер аз болатындай
етіп жобалауға тырысады.
Баспа платаларындағы аспалы монтаждау
жолымен дискерттік
элементтерде орындалған, қандай күрделіліктегі кез-келген аспаптың
пайдаланылған және мінсіз қызмет атқарушы электр сызбасын,
бұдан әрі
бір кристалдағы интегралды микросызба түрінде пайдалануға болады және
онда бұл;
■
энергияны тұтыну бойынша орасан зор үнемдеу;
■
сенімділіктің бірнеше рет артуы;
■
минималды габариттік көлемдері және массасы.
Міне, сондықтан микроэлектроника мен интегралдық микросызбалар
өндірісін дамыту сондай маңызды.