Рентгендік фотоэлектрондық спектроскопияны қолданудың артықшылықтары Жылдам талдау жылдамдығы XPS бір уақытта барлық әртүрлі энергетикалық рентгендік фотон сигналдарын қабылдай алады және анықтай алады, осылайша ол бірнеше минут ішінде үлгідегі барлық элементтерді талдап, анықтай алады, бериллий терезесі бар детектор 11Na ~ 92U диапазонындағы элементтерді анықтай алады. , 1980 жылдары нарыққа енгізілген жаңа терезе материалы спектрометрге 4Be ~ 92U диапазонындағы элементтерді анықтай отырып, Be деңгейінен жоғары жарық элементтерін талдауға мүмкіндік береді.
Жоғары сезімталдық Фотоэлектрондық спектроскопия рентгендік сәулелерді жинау үшін үлкен стерео бұрышқа ие. Энергия спектрометріндегі Si(Li) зондты кристалдық дифракциядан өтпей-ақ сәуле шығару көзіне өте жақын (шамамен 10㎝) орналастыруға болатындықтан, сигнал қарқындылығының жоғалуы дерлік болмайды, сондықтан сезімталдық жоғары.
Сонымен қатар, энергетикалық спектрометр төмен түсетін электронды сәуле токында жұмыс істей алады, бұл талдаудың кеңістіктік ажыратымдылығын жақсартуға ықпал етеді.
Спектрлік сызықтардың жақсы қайталануы Өйткені рентгендік электронды спектрометр Қозғалыс бөліктері жоқ, жақсы тұрақтылық және фокустау талаптары жоқ, сондықтан спектр сызығының ең жоғары позициясының қайталануы жақсы және салыстырмалы түрде өрескел беттерді талдау үшін қолайлы . .
Рентгендік фотоэлектронды спектроскопияның құрылысы Рентгендік фотоэлектронды спектроскопия сынама алу камерасынан, ультра жоғары вакуумдық жүйеден, рентгендік қозу көзінен, ион көзінен, энергияны талдау жүйесінен және компьютерлік деректерді жинау және өңдеу жүйесінен және т.б.
Сынама алу камерасы Рентгендік фотоэлектронды спектрометр жылдам айдау камерасымен жабдықталған, ол талдау камерасының ультра жоғары вакуумын бұзбай жылдам айдауға арналған. Жылдам айдау камерасының көлемі 10-3 минут ішінде 5-10 Па жоғары вакуумға жету үшін жеткілікті аз.
