Сканерлеуші электронды микроскоп

Сканерлеуші электронды микроскоп

Алғашқы электромагниттік линзаны жасаған және өстік симметриялық өрістің фокустеу қасиетін зерттеген Х. Буш 1926 жылы электронды-сәулелі оптикалық приборлардың физикалық негізін салды.

• Алғашқы электромагниттік линзаны жасаған және өстік симметриялық өрістің фокустеу қасиетін зерттеген Х. Буш 1926 жылы электронды-сәулелі оптикалық приборлардың физикалық негізін салды.
• 1928 жылы неміс ғалымдары М. Кнолл және Э. Руск бірінші жарық түсіретін жарықтандырғыш электронды микроскопты жасау үшін жобамен жұмыс істеуді бастады және үш жылдан кейін электронды шоққа шоғырланған объекттің бірінші көрінісі алынды.
• 1937 жылы М. фон Арденне жіңішке электронды шоқ арқылы үлгілерді тізбекті түрде сканирлеу принципі бойынша жұмыс істейтін растрлы электронды микроскопты шығарды.
• 1965 жылы «Cambridge Instrument Co.» алғашқы коммерциялық сканерлеуші электронды микроскоп – Стереоскан шығарылды.

Электронды шоқ затпен әрекеттескенде бірнеше сәуле шығару болады, яғни екіншілік және шағылысқан электрондар; объекттен өткен электрондар (егер, олар жіңішке болса); рентген сипаттамалық және тежеуші сәуле шығару; жылулық сәуле шығару және т.б. Сәуле шығарудың әрбір түрі электрон мен атомдық тордың әрекеттесуінің түрімен анықталады.

• Электронды шоқ затпен әрекеттескенде бірнеше сәуле шығару болады, яғни екіншілік және шағылысқан электрондар; объекттен өткен электрондар (егер, олар жіңішке болса); рентген сипаттамалық және тежеуші сәуле шығару; жылулық сәуле шығару және т.б. Сәуле шығарудың әрбір түрі электрон мен атомдық тордың әрекеттесуінің түрімен анықталады.

Сканерлеуші электронды микроскоп микроқұрылым морфологиясы мен химиялық құрамның сипаттамаларын зерттеу және талдау үшін қолданылатын әмбебап құралдардың бірі болып табылады.

• Сканерлеуші электронды микроскоп микроқұрылым морфологиясы мен химиялық құрамның сипаттамаларын зерттеу және талдау үшін қолданылатын әмбебап құралдардың бірі болып табылады.
• Растрлық электронды микроскоп үш негізгі бөліктен тұрады:
• электрмен жабдықтау,
• электронды-оптикалық баған, үлгі камерасы және электрон көзі,
• сондай-ақ кескінді көрсету жүйесі.

• Үлгі арқылы өткен электронды шоқ ақырындап үлгіде шағыла отырып, орталық және сақиналы детекторге түседі де көрініс түзеді.
• Сигналдың белгілі бір түрін таңдау зерттеу міндетімен анықталады-үлгінің топографиясын зерттеу немесе оның элементтік құрамын зерттеу екіншілік электрондарды анықтау арқылы жүзеге асырылады немесе шағылысқан электрондар әдісін қолдана отырып жүзеге асырылады.
• Үлгіні тек локальды ғана емес зерттеу үшін сәулені сканерлеу жүйесінің көмегімен бір нүктеден екінші нүктеге жылжыту керек.

Сканерлеуші электронды микроскопта кескін қалыптастыру ақпаратты түрлендіретін және оны зерттелетін объектіні визуалды бақылауға және оның фотографиялық көбеюіне жарамды пішінге аударатын дисплей операциясы арқылы жүзеге асырылады.Детектор сәулеленудің белгілі бір түрін қабылдауға және үлгіден шыққан сәулеленуді электр сигналына түрлендіруге қызмет етеді.Күшейткіштен өткеннен кейін бұл сигнал бақылау және суретке түсіру үшін экрандағы қарқындылықты модуляциялайды. Детектор жүйесі үш негізгі параметрмен сипатталады:

• Сканерлеуші электронды микроскопта кескін қалыптастыру ақпаратты түрлендіретін және оны зерттелетін объектіні визуалды бақылауға және оның фотографиялық көбеюіне жарамды пішінге аударатын дисплей операциясы арқылы жүзеге асырылады.Детектор сәулеленудің белгілі бір түрін қабылдауға және үлгіден шыққан сәулеленуді электр сигналына түрлендіруге қызмет етеді.Күшейткіштен өткеннен кейін бұл сигнал бақылау және суретке түсіру үшін экрандағы қарқындылықты модуляциялайды. Детектор жүйесі үш негізгі параметрмен сипатталады:
• детектор астындағы үлгінің бетіне қатысты бұрышсигналды қабылдайды;
• детектор сигнал қабылдайтын дене бұрышы;
• түрлендіру тиімділігі немесе төмендеу үлесіоның шығысында сигнал жасайтын сәулелену детекторы.