Казахского государственного женского педагогического университета



Pdf көрінісі
бет116/423
Дата07.01.2022
өлшемі6,41 Mb.
#20043
1   ...   112   113   114   115   116   117   118   119   ...   423
Байланысты:
6-5-PB

МРНТИ 29.19.11  
 
ВЛИЯНИЕ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ И ЛАЗЕРНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ  
НА ПРОЦЕССЫ ОКИСЛЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ 
 
Т.С. Кошеров
1
, Г.И. Жанбекова

 
1
д.ф-м.н., профессор

PhD
 
докторант 
1
Казахская академия транспорта и коммуникации им М.Тынышпаева, г.Алматы, Казахстан 

Казахский национальный педагогический университет имени Абая, г.Алматы, Казахстан  
email: 
gulnura08@list.ru
 
 
Исследовались процессы образования на поверхности пластины кремния ее оксидов при различных 
температурах  и  времени  отжига  и  последующем  непрерывном  воздействии  лазерного  луча.  Лазерный 
отжиг поверхностных слоев – один из наиболее результативных способов обработки таких материалов, как 
.
Si
Ведь  примуществом  таких  способов  обработки  является  возможность  проведения  отжига  в 
атмосферных  условиях.  Воздействие  лазерного  излучения  на  полупроводники  может  приводить  к 
различным  изменениям  их  кристаллической  структуры,  электрофизических  и  оптических  свойств 
Установлены  условия  появления  на  поверхности  образца  ее  оксидов.  Непрерывное  лазерное  облучение 
после  термоотжига  образца  влияет  на  процессы  окисления.  Наблюдаемый  рост 
2
SiO
  c  увеличением 
времени  температуры  термоотжига,  а  также  последующее  лазерное  облучение  –  следствие  увеличения 
скорости окисления, а ее увеличение связано с разложением 
2
SiO
и последующим испарением продуктов 
ее размножения. 


Достарыңызбен бөлісу:
1   ...   112   113   114   115   116   117   118   119   ...   423




©emirsaba.org 2024
әкімшілігінің қараңыз

    Басты бет