Казахского государственного женского педагогического университета

Материалы и методика эксперимента

жүктеу/скачать 6,41 Mb.

Pdf көрінісі

бет	118/423
Дата	07.01.2022
өлшемі	6,41 Mb.
	#20043

1 ... 114 115 116 117 118 119 120 121 ... 423

  Материалы и методика эксперимента
  Исследования  проводились  с  пластинками
Si
  c  удельным  сопротивлением  10  Ом∙см.
Образцы  предварительно  подвергали  термической  обработке  в  атмосфере  воздуха  при
температурах 200, 400 и 600°С и времени 10, 30, 60, 120, 240 и 360 минут. Рентгенографические
исследования  выполнены  на  рентгенографическом  дифрактометре  ХРertPRO  фирмы  Philips.
Морфология  поверхности  образцов  кремния  после  термической  обработки  и  лазерном

Қазақ мемлекеттік қыздар педагогикалық университетінің Хабаршысы № 1 (77), 2019

81

воздействии  исследовалась  методом  атомно-силовой  микроскопии  (АСМ)  производства  NT-
MDT  модели  Интегра-Прима.  Источником  излучения  явился  лазер  типа  LCS-DTL  317-50,
мощность  которого  составила  50  мВт,  работающего  в  непрерывном  режиме.  Эффективный
диаметр сфокусированного лазерного пятна составил 1,3 мм.

жүктеу/скачать 6,41 Mb.

Достарыңызбен бөлісу:

1 ... 114 115 116 117 118 119 120 121 ... 423