Казахского государственного женского педагогического университета
жүктеу/скачать 6,41 Mb. Pdf көрінісі
|
| МРНТИ 29.19.11
ВЛИЯНИЕ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ И ЛАЗЕРНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ НА ПРОЦЕССЫ ОКИСЛЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ Т.С. Кошеров 1 , Г.И. Жанбекова 2 1 д.ф-м.н., профессор, 2 PhD докторант 1 Казахская академия транспорта и коммуникации им М.Тынышпаева, г.Алматы, Казахстан 2 Казахский национальный педагогический университет имени Абая, г.Алматы, Казахстан email: gulnura08@list.ru Исследовались процессы образования на поверхности пластины кремния ее оксидов при различных температурах и времени отжига и последующем непрерывном воздействии лазерного луча. Лазерный отжиг поверхностных слоев – один из наиболее результативных способов обработки таких материалов, как . Si Ведь примуществом таких способов обработки является возможность проведения отжига в атмосферных условиях. Воздействие лазерного излучения на полупроводники может приводить к различным изменениям их кристаллической структуры, электрофизических и оптических свойств Установлены условия появления на поверхности образца ее оксидов. Непрерывное лазерное облучение после термоотжига образца влияет на процессы окисления. Наблюдаемый рост 2 SiO c увеличением времени температуры термоотжига, а также последующее лазерное облучение – следствие увеличения скорости окисления, а ее увеличение связано с разложением 2 SiO и последующим испарением продуктов ее размножения. жүктеу/скачать 6,41 Mb. Достарыңызбен бөлісу:
|