Казахского государственного женского педагогического университета



Pdf көрінісі
бет117/423
Дата07.01.2022
өлшемі6,41 Mb.
#20043
1   ...   113   114   115   116   117   118   119   120   ...   423
Байланысты:
6-5-PB

Ключевые  слова:  оксидные  образования,  атомы  кислорода,  морфология  поверхности, 
пирамидальные выступы 
 
 
Введение 
  Одним  из  способов  изменения  электрофизических  параметров  полупроводниковых 
пластин  кремния  является  термическая  обработка,  в  результате которой  происходит  изменение 
электронных состояний. При термическом  отжиге в воздухе протекают, как правило, процессы 
окисления,  что  затрудняет  использование  в  технологии  изготовления  полупроводниковых 
приборов  [1].  Другим  способом,  позволяющим  влиять  на  окисление  поверхностного  слоя, 
является облучение его пучком фотонов с определенной энергией [2, 3]. 
  Воздействие  лазерного  излучения  на  полупроводники  может  приводить  к  различным 
изменениям их кристаллической структуры, электрофизических и оптических свойств [4]. Кроме 
того,  изучение  воздействия  лазерной  обработки  на  полупроводниковые  структуры  позволяет 
определить характеристики их дефектной структуры [5]. В [6] было показано, что в зависимости 
от параметров лазерного излучения можно достигать улучшения качества поверхности кремния 
за счет рекристаллизации поликристаллических или аморфных слоев  Si .  
  Как  известно,  граница  раздела  кремний  -  (двуокись  кремния)  обладает  набором 
уникальных электрофизических свойств. Особенности накопления и переноса заряда вблизи этой 
границы сделали возможной реализацию широкого круга полупроводниковых устройств [7]. Всѐ 
это  поддерживает  постоянный  интерес  к  исследованиям  свойств  границы  самыми  различными 
методами. 
  В  связи  с  этим,  большой  интерес  представляет  исследование  процессов  покрытия 
поверхности  пластин  кремния  ее  оксидами  при  различных  температурах  и  времени  отжига  и 
последующее непрерывное воздействие лазерного луча на состояние образовавшейся оксидной 
пленки на поверхности пластин кремния. 
 


Достарыңызбен бөлісу:
1   ...   113   114   115   116   117   118   119   120   ...   423




©emirsaba.org 2024
әкімшілігінің қараңыз

    Басты бет