32
эффекта, проявляющегося при облучения образца высокоэнергетиче-
скими пучками γ-квантов, ионов или электронов.
В основе метода лежит
оже-эффект, который открыл француз-
ский физик П.В. Оже в 1920-х гг. При облучении образца пучком вы-
сокоэнергетичных γ-квантов, ионов или электронов возможно «выби-
вание» электрона с одной из внутренних оболочек атома. Поскольку
такое состояние атома нестабильно, образовавшаяся вакансия быстро
заполняется электроном с более высоко расположенных оболочек, что
сопровождается испусканием фотона либо электрона (находящегося на
одной из верхних оболочек атома), уносящего разницу энергий между
исходным и конечным энергетическими уровнями. В первом случае
происходит обычная рентгеновская флуоресценция, а в последнем
случае проявляется оже-эффект, причем энергетический спектр оже-
электронов позволяет с большой точностью идентифицировать эле-
ментный состав вещества. Электроны с энергией 5-2000 эВ, исполь-
зуемые в оже-спектроскопии, сильно рассеиваются в твердом теле, по-
этому данный метод позволяет исследовать лишь тонкий поверхност-
ный слой толщиной 1-2 нм.
Высокая поверхностная чувствительность, возможность получе-
ния количественной информации и простота использования позволяют
широко использовать метод оже-спектроскопии в исследовательских
лабораториях, в химической промышленности, металлургии и микро-
электронике.
Достарыңызбен бөлісу: