Ақылбеков Ә. Т., Кривобоков В. П., Даулетбекова А. К

147 

 

напыление  энергетически  более  выгодно, 

однако 

позволяет 

напылять 

только 

металлические материалы. 

материалдарын 

ғана 

тозаңдандыруға 

мүмкіндік береді. 

напыление  детонационное  /  detonation 

spraying 

— 

другое 

название 

— 

детонационно-газовый  метод  напыления. 

Является  одним  из  видов  газотермического 

нанесения 

покрытий, 

использующих 

энергию горючих газов (в основном пропан-

бутана)  в  смеси  с  кислородом,  а  также  со 

сжатым воздухом (азотом, аргоном). Метод 

построен  на  использовании  энергии  взрыва 

газовых  смесей.  Является  циклическим 

процессом,  обладает  высокой  удельной 

мощностью  и  большим  энергетическим 

коэффициентом 

полезного 

действия. 

Преимущества:  высокая  адгезия  покрытий 

(80-250  МПа),  их  низкая  пористость  (0,5-

1%). 

 

Недостатки: 

низкая 

производительность, 

недостаточная 

надежность существующего оборудования.   

 детонациялық    тозаңдандыру  /  detonation 

spraying 

— 

детонациялы-газды  

тозаңдандыру    әдісінің    басқа    бір    атауы. 

Жанғыш газдың (негізінен пропан-бутанның) 

оттегімен,  сонымен  қатар  сығылған  ауамен 

(азотпен,  аргонмен)  қоспасының  энергиясын 

қолданатын  қаптаманы    газды  термиялық  

жағудың  бір  түрі.  Әдіс  газ  қоспасының 

жарылу  энергиясын  қолдануға  негізделген. 

Циклдік  процесс  болып  табылады,  жоғары 

меншікті  қуатқа  және  үлкен    энергиялық 

пайдалы 

әсерлі 

коэффициентіне 

ие. 

Артықшылықтары: 

қаптаудың 

жоғары 

адгезиясы  (80-250  МПа).  Кемшіліктері: 

ӛндіргіштігі 

тӛмен, 

қолданыста 

бар 

қондырғының 

сенімділігінің 

жеткілікті 

деңгейде болмауы. 

напыление ионное / ion sputtering deposition 

—  осаждение  покрытия  на  поверхность 

материала (изделия) из атомов, полученных 

путѐм  распылѐния  твѐрдотельной  мишени 

пучком ускоренных ионов. 

 иондық  тозаңдандыру  /  ion  sputtering 

deposition 

—  қатты  денелік  нысананы 

үдетілген  иондар  шоғырымен  тозаңдандыру 

арқылы  алынған  атомдармен  материал  бетін 

қаптау. 

напыление  ионно-пучковое  реактивное  / 

ion-beam  reactive  deposition  —  осаждение 

покрытий  с  использованием  химических 

реакций,  т.е.  это  напыление,  при  котором 

используется  ионный пучок, несущий ионы 

химически  активного  газа,  например, 

кислорода,  азота  и  т.д.,  и  распыляющий 

металлическую  или  полупроводниковую 

мишень  с  образованием  соответственно 

молекул  оксидов,  нитридов  и  других 

частиц. 

реактивті ионды-шоқтық тозаңдандыру  / 

ion-beam  reactive  deposition  —химиялық 

реакцияны  қолдана  отырып  қаптамамен 

жабу, яғни химиялық белсенді газ иондарын, 

мысалы  оттегі,  азот  және  т.б.  иондарын 

таситын  иондық  шоғырлар  қолданылатын, 

және  металдық  немесе  жартылай  ӛткізгіш 

нысанада  сәйкесінше  оксидтің,  нитридтің 

молекулаларын  және  басқа  да  бӛлшектерді 

түзе отырып тозаңдандыру. 

напыление 

лазерное 

/ 

laser(-beam) 

evaporation,  laser  spraying  —    это  вариант 

термического  напыления,  в  котором  в 

качестве  источника  тепла  для  испарения 

атомов использован луч лазера. 

лазерлік 

тозаңдандыру 

/ 

laser(-beam) 

evaporation,  laser  spraying  —  атомдардың 

булануы  үшін  жылудың  кӛзі  ретінде  лазер 

сәулесі 

қолданылатын 

термиялық 

тозаңдандырудың бір түрі. 

—  напыление  металлическое  /  metallic 

spraying 

— 

покрытие 

поверхностей 

металлических  предметов  распыляемым 

расплавленным металлом. 

металдық  тозаңдандыру  /  metallic  spraying 

—  металл  заттардың  бетін  балқытылған 

металмен жабу. 

—  напыление  плазменно-дуговое  /  arc 

discharge  plasma  deposition  —  плазменное 

напыление, при котором плазма создаѐтся с 

помощью электрической дуги. 

плазмалық-доғалық  тозаңдандыру  /  arc 

discharge  plasma  deposition  —    плазмалық 

тозаңдандыру, 

онда 

плазма 

электрлік 

доғаның кӛмегімен алынады. 

— 

напыление 

плазменное 

высокочастотное 

/ 

radio- 

frequency 

— 

жоғары 

жиілікті 

плазмалық 

тозаңдандыру  /  radio-  frequency  discharge 

148 

 

discharge  plasma  deposition  —  плазменное 

напыление, при котором плазма создаѐтся с 

помощью высокочастотного разряда. 

plasma 

deposition 

— 

 

плазмалық 

тозаңдандыру,  онда  плазма  жоғары  жиілікті 

разрядтың кӛмегімен алынады. 

напыление  плазменное  /  plasma  deposition 

—  процесс  нанесения  покрытия  на 

поверхность 

изделия 

с 

помощью 

плазменной  струи.  Сущность  плазменного 

напыления  заключается  в  том,  что  в 

высокотемпературную  плазменную  струю 

подаѐтся  наносимый  материал  (порошок), 

который  нагревается,  плавится  и  в  виде 

двухфазного 

потока 

направляется 

на 

подложку.  При  ударе  и  деформации 

происходит  взаимодействие  частиц  с 

поверхностью  основы  или  напыляемым 

материалом и формирование покрытия.  

плазмалық тозаңдандыру / plasma deposition 

— плазмалық ағынның кӛмегімен бұйымның 

бетіне  қаптаманы  жағу  процесі.  Мұнда 

жоғары  температуралы  плазмалық  ағынға 

жағылатын  материал  (ұнтақ)  беріледі.  Ол 

плазма  ағынында  қызады,  балқиды  және 

екіфазалық 

ағын 

түрінде 

тӛсенішке 

бағытталады.  Соқтығысу  және  деформация 

кезінде  бӛлшектер  тозаңдалушы  материал 

бетімен әсерлеседі және қаптама түзіледі.  

 

напыление  термическое  /  thermal  spraying 

—  осаждение  покрытия  на  поверхность 

материала (изделия) из атомов, полученных 

путѐм  термического  испарения  наносимого 

материала.  Производится в вакууме. 

термиялық тозаңдандыру / thermal spraying 

— 

жабылатын 

материалдың 

бетінен 

термиялық  буланудан  алынған  атомдармен 

материал  (бұйымның)  бетін  қаптамамен 

жабу. Вакуумда жүзеге асады. 

напыление тигельное / crucible spraying — 

напыление покрытия из жидкой фазы. 

тигельді тозаңдандыру / crucible spraying — 

қаптаманы сұйық фазамен тозаңдандыру. 

напыление  электродуговое  /  elecric  arc 

spraying — газотермическое напыление, при 

котором  нагрев  металла  в  виде  проволоки, 

прутка 

или 

ленты 

производится 

электрической  дугой,  а  диспергирование  – 

струѐй сжатого газа. 

электр  доғалық  тозаңдандыру  /  elecric  arc 

spraying  —  газды  термиялық  тозаңдандыру, 

онда  сым,  лента  түріндегі  металды  қыздыру 

электр 

доғасының 

кӛмегімен, 

ал 

диспергирлеу  –  сығылған  газдың  ағынымен 

жүзеге асады. 

Население  (в  правилах  по  радиационной 

безопасности) 

Population 

Все  лица,  включая  персонал  вне  работы  с 

источниками ионизирующего излучения.  

Халық  (радиациялық  қорғаныс  ережелері 

бойынша) 

Population 

Иондаушы 

сәуле 

кӛздерімен 

жұмыс 

жасамайтын  қызметкерлерді  қоса  алғандағы 

барлық адамдар. 

Населенность уровня 

Level occupancy 

Число  частиц  в  единице  обьема  вещества, 

находящихся 

в 

определенном 

энергетическом  состоянии  (на  данном 

энергетическом уровне). 

См.также уровни энергии (в ст.уровень). 

Деңгейдің орнауы  (деңгейдің мекендеуі)  

Level occupancy 

Белгілі  бір  энергетикалық  күйде  (берілген 

энергетикалық  деңгейде)  заттың    кӛлем 

бірлігіндегі бӛлшектер саны 

Қараңыз.сон.қ. 

энергиялар 

деңгейлері 

(бет.деңгей). 

Насосы вакуумные 

Vaccum pups 

Устройство 

принудительного 

удаления 

газов  из  камер  исследовательских  или 

технологических 

установок 

с 

целью 

создания там вакуума. Широко применяется 

в радиационных и плазменных технологиях. 

Насосы вакуумные  

Vaccum pups 

Ваккум  алу  мақсатында,  технологиялық 

немесе 

зерттеу 

құрылғыларының 

қамераларынан  газдарды  мәжбүрлі  жоятын 

құрал. 

Радиациялық 

плазмалық 

технологияларда кеңінен қолданылады. 

насосы адсорбционные / adsorbtion pumps – 

семейство  вакуумных  насосов,  действие 

которых основано на физической адсорбции 

 адсорбциялық сорғылар / adsorbtion pumps – 

адсорбенттің  беткі  қабатында  шығарушы 

газдың 

физикалық 

адсорбциясына 

149 

 

откачиваемого 

газа 

на 

поверхности 

адсорбента.  Адсорбентом  чаще  всего 

служат  цеолиты,  реже  –  силикагели  и 

активный  уголь.  Для  усиления  адсорбции 

адсорбции  адсорбент  охлаждается  жидким 

азотом. Со временем адсорбент насыщается 

газом  и  действие  насоса  до  100  -  150  при 

откачке 

форвакуумным 

насосом. 

Получаемое  абсолютное  давление  –  до 

1х10

-5

 Па. 

негізделген әрекет, вакуумды сорғылар тобы. 

Адсорбент ретінде кӛбінесе – цеолтиттер, жиі 

–  силикагель  мен  белсенді  кӛмір  қызмет 

етеді. Адсорбцияның күшеюі үшін адсорбент 

сұйық  азотпен  суытылады.  Уақыт  ӛте 

адсорбент 

газбен 

қанығады 

 

және 

форвакуумды  сорғымен  шығару  кезінде 

сорғының  әрекеті  100  –  150    барады. 

Алынатын  абсолют  қысым  шамасы  –  1х10

-5

 

Па дейін. 

насосы  бустерные  /  buster  pumps  – 

пароструйные 

насосы 

для 

создания 

среднего вакуума в вакуумных системах. 

 Бустерлі сорғылар  / buster pumps –  

вакуумды  жүйелерде  орташа  вакуумды 

жасауға арналған буағынды сорғылар 

насосы  диффузионные  /  diffusion  pumps  – 

вакуумные  насосы,  действие  которых 

основано 

на 

диффузии 

молекул 

откачиваемого 

газа 

в 

струю 

пара 

(параструйный  насос),  истекающую  из 

сопла.  Различают  парортутные  (остаточное 

давление  10

-10

-10

-12

  Па)  и  паромасляные 

диффузионные насосы (до 10

-9 

Па). 

 Диффузиялық  сорғылар    /  diffusion  pumps  – 

әрекеті  мойыннан  ағып  шығатын  бу 

ағыншасына(буағушы сорғы) сорылатын  газ 

молекулаларының диффузиясына негізделген 

вакуумды  сорғылар.  Бусынапты  (қалдықты 

қысым 10

-10

 -10

-12

 Па) және бумайлы (10

-9

 Па 

дейін) 

диффузиялық 

сорғылар 

болып 

бӛлінеді. 

насосы  ионные  /  ion  pumps  –  их  действие 

основано на ионизации газа с последующим 

удалением 

ионизованных 

удалением 

ионизованных 

молекул 

электрическим 

полем. 

При 

комнатной 

температуре 

инертные газы и углеводорода практически 

не  поглощаются  напыленными  пленками 

металлов.  Для  их  удаления  служат 

комбинированные  ионно-сорбционные  или 

ионно-геттерные 

насосы, 

в 

которых 

сорбционный 

способ 

поглащения 

химически  активных  газов  сочетается  с 

ионным способом откачки инертных газов и 

углеводорода.  Поглощающая  поверность 

обновляется осаждением на стенках тонкого 

слоя  титана.  Ионно-сорбционные  насосы 

при  предварительной  откачке  да  10

-2

  Па 

создают  вакуум  до  10

-5

  Па.  Быстрота 

откачки зависит от типа газа. 

ионды  сорғылар  /  ion  pumps  –  олардың 

жұмысы 

газ 

иондануына, 

ионданған 

молекулалардың электр  тоғымен жойылуына 

негізделген. Бӛлме температурасында инертті 

газдар  мен  кӛміртегі  тіпті  металдардың 

тозаңданған  қабықтарымен  жұтылмайды. 

Оларды жою үшін химиялық белсенді газдар 

жұтылуының  сорбциялық  тәсілі  кӛміртегі 

мен  инертті  газдарды  шығарып  алу  ионды 

тәсілімен  үйлеседі.  Комбинациялы  ионды-

сорбциялық  немесе  ионды-геттерлі  сорғылар 

қызмет 

етеді. 

Жұтушы 

беткі 

қабат 

қабырғаларда 

титанның 

жұқа 

қабатын 

тұндырумен  жаңарады.  Ионды-сорбциялық 

желүргіштер 10

-2

 Па дейін алдын ала  ауасын 

шығарғанда  10

-5

  Па  дейін  вакуумды  пайда 

етеді.  Шығару  жылдамдығы  газ  типіне 

тәуелді. 

насосы  конденсационные  (криогенные) 

/condenser  (cryogenic)  pumps  –  действие 

основано  на  поглощении  газа  охлажденной 

до  низкой    температуры  поверхностью.  

Водородно-конденсационный 

насосимеет 

постоянную  быстроту  откачки  в  широком 

диапазоне давлений. Охлаждающий жидкий 

водород 

вырабатывается 

ожижителем, 

находящимся 

в 

установке. 

Неконденсируемые    газы  (водород,  гелий) 

откачиваются  параллельно  включенным 

насосом,  например  диффузионным.  Для 

 конденсациялық 

(криогенді) 

сорғылар 

/condenser  (cryogenic)  pumps  –  газдың  тӛмен 

температураға  дейін  мұздатылған  беткі 

қабатпен  жұтылуына  негізделген.  Сутекті-

конденсациялық  сорғы  қысымның  кең 

диапазонында  жел  шығарудың  тұрақты 

тездігіне  ие.  Мұздатушы  сұйық  сутегі 

құрылғыда 

орналасқан 

сұйылтқышпен 

жасалынып 

шығарылады. 

Конденсирленбейтін  газдар  (сутегі,  гелий) 

параллель  қосылған  сорғымен,  мысалы 

диффузиялықпен 

шығарылады. 

Мұндай 

150 

 

включения  такого  насоса  необходимо 

предварительное разрежение.  

сорғыны  қостыру  үшін  алдын  ала  разрядтау 

қажет.  

насосы механические  /  mechanical pumps – 

семейство  насосов  для  получения  давления 

в  интервале  10  -10

-8

Па.  Делятся  на 

прошневые, 

вращательные, 

турбомолекулярные.  В  многопластинчатом 

вращательном 

насосе 

всасывание 

и 

выталкивание  газа  осуществляется  при 

изменении  объемов  ячеек,  образованных 

эксцентрично  расположенным  ротором,  в 

прорезях  которого  помещены  подвижные 

пластины,  прижимающиеся  к  внутренней 

поверхности  камеры  и  скользящие  по  ней 

при  его  вращении.  За  счет  большо  частоты 

вращения 

ротора 

эти 

насосы 

при 

сравнительно  малых  размерах  обладают 

большой  быстротой  действия.  Вариантами 

вращательного 

насоса 

являются 

воднокольцевые, 

двухступенчатые, 

двухроторные и т.д. В качестве уплотнителя  

используется 

вакуумное 

масло. 

Для 

предотвращения 

конденсации 

паров, 

возникающей  при  их  сжатии,  камеру 

заполняют  воздухом  (балластным  газом), 

который  в  момент  выхлопа  обеспечивает 

парциальное 

давление 

пара 

в 

паровоздушной  смеси,  не  превыщающее 

давление  насыщения.  При  этом  пары  из 

насоса  выталкиваются  без  конденсации. 

Такие  насосы  называются  гаобалластными 

и  применяются  как  форвакуумные  (для 

создания предварительного разрежения). 

 механикалық сорғылар / mechanical pumps – 

10  -10

-8 

Па  интервалында  қысымды  алуға 

арналған 

сорғылар 

тобы. 

Прошенді, 

айналмалы, 

турбомолекулярлы 

болып 

бӛлінеді. 

Кӛппластинкалы 

айналмалы 

сорғыда  сорып  алу  мен  итеріп  шығару 

кесіктерінде 

камераның 

ішкі 

бетіне 

жабысушы  және  оның  айналуы  кезінде 

сырғанайтын 

қозғалмалы 

пластиналар 

орналасқан  кесіктерде  экцентикалық  түрде 

орналасқан  роторлармен  пайда  болған 

ұяшықтар  кӛлемінің  ӛзгеруімен  іске  асады. 

Ротор айналуының үлкен жиілігі есебінен бұл 

сорғылар  салыстырмалы  шағын  ӛлшемдерде 

әрекеттің 

үлкен 

жылдамдығына 

ие. 

Айналушы  сорғының  нұсқалары  болып 

сусақиналы,  қосбаспалдақты,  қосроторлы 

және  т.б.  табылады.  Тығыздатқыш  есебінде 

вакуумдық  май  қолданылады.  Буларды  сығу 

кезінде 

туындайтын 

олардың 

конденсациясын  болдырмау  үшін    камераны 

газдың  шығу  моментінде    бу  мен  ауа 

қоспасында  қанығу  қысымынан  аспайтын 

парциалды  қысымды  қамтамасыз  ететін 

ауамен  (балластты  газбен)  толтырады.  Бұл 

кезде  булар  сорғыдан  конденсациясыз 

итеріліп  шығарылады.  Мұндай  сорғылар 

гаобалластты деп аталады және форвакуумды 

(алдыннан 

ыдырату 

үшін 

) 

ретінде 

қолданылады.  

насосы  роторно-щелевые  /  rotator-slot 

pumps  –  известны  также  под  названием 

насосов  Рутса;  не  дают  очень  низкого 

конечнего  давления,  го  имеют  высокую 

производительность, поэтому  в  плазменной 

технике часто используются в комбинации с 

пластинчатыми насосами. 

роторлы-саңылаулы  сорғылар  /  rotator-slot 

pumps  –  сондай-ақ  Раутс  сорғылары  деген 

атқа ие;  ӛте тӛмен шекті қысымды бермейді, 

бірақ  жоғары  ӛнімділікке  ие,  сондықтан  да 

плазмалық 

техникада 

пластинкалы 

сорғылармен 

комбинацияда 

 

жиі 

қолданылады. 

насосы  струйные  /  jet  pumps  –  содержат 

направленную  струю  рабочего  вещества, 

которая 

уносит 

молекулы 

газа, 

поступающие  из  откачиваемого  объема.  В 

качестве  рабочего  вещества  могут  быт 

использованы 

жидкости 

или 

пары 

жидкостей.  В  зависимости  от  этого  насосы 

называются 

водоструйными, 

пароводяными, 

парортутными 

или 

паромасляными.  По  принципу  действия 

струйные  насосы  бывают  эжекторными  и 

диффузионными. 

Предельное 

давление 

 ағынды  сорғылар  /  jet  pumps  –  айдап 

шығарылушы  кӛлемнен  келетін  бағытталған 

заттың жұмыс ағынын камтиды. Жұмыс заты 

ретінде 

сұйықтықтар 

немесе 

сұйықтықтардың 

булары 

қолданылуы 

мүмкін.  Осыған  байланысты  сорғылар  су 

ағынды,  бу  сулы,    бу  сынапты  немесе  бу 

майлы  деп  аталады.  Әрекет  ету  принципі 

бойынша ағынды сорғылар  эжекторлы және 

диффузиялық 

болып 

келеді. 

Мұндай 

сорғылардың  шекті  қысымы  су  буларының 

қысымынан  кӛп  асып  түспейді.  Эжекторлы 

151 

 

таких 

насосов 

ненамного 

превыщает 

давление  водяных  паров.  К  эжекторным 

насосам  может  быть  отнесен  вихревой 

насос,  откачивающее  действие  которого 

основано  на  иссползовании  разрежения, 

развивающегося 

вдоль 

оси 

вихря. 

Значительно  большей  быстротой  откачки  и 

более  низким  предельным  давлением 

обладают  насосы,  в  которых  рабочим 

веществом 

является 

водяной 

пар. 

Откачивающее  действие  диффузионных 

насосов  основано  на  диффузии  молекул 

откачиваемого  газа  в  области  действия 

струи  пара  рабочего  вещества  за  счет 

перепада  их  парциальных  давлений.  В 

качестве  рабочего  вещества  используются 

пары  масла  (паромасляные  насосы)  или 

ртути  (парортутные).  В  паромасляном 

насосе 

последовательно 

соединены 

несколько откачивающих ступеней в одном 

корпусе.  Диапазон  рабочих  давлений 

трезступнечатого  паромасляного  насоса  10

-

3

-10

-1

Па. 

сорғыларға  айдап  шығарушы  әрекеті  ӛсті 

бойлай 

дамитын 

құйынды 

ыдыратуын 

пайдалануға  негізделген  құйынды  сорғыны 

жатқызуға  болады.  Айтарлықтай  үлкен 

шығару  жылдамдығы  мен  тӛмен  шекті 

қысымға жұмыс заты сулы бу болып келетін 

сорғылар  болып  табылады.  Диффузиялық 

сорғылардың  айдап  шығарушы  әрекеті  бу 

ағындарының  парциалды  қысымының  түсуі 

есебінен  жұмыс  затының  бу  ағындарының 

әрекеті  облысында  айдап  шығарылушы 

газдың 

молекуалар 

диффузиясына 

негізделген.  Жұмыс  заты  ретінде  май 

(бумайлы  сорғылар)  немесе  сынап  майлары 

(бусынапты  сорғылар)  қолданылады.  Бу 

майлы  сорғыларда  бір  корпуста  бірнеше 

шығарушы 

баспалдақтар 

байланысқан. 

Бумайлы  сорғышта  бір    корпуста  бірнеше 

шығарушы баспалдақтар ретімен орналасқан. 

Үшбаспалдақты  бумайлы  сорғыштың  жұмыс 

қысымының диапазоны 10

-3

-10

-1

Па. 

насосы 

турбомолекулярные 

/ 

turbomolecular  pumps  –  иногда  упрощенно 

называемые  турбонасосами,  служат  для 

получения 

крайне 

низких 

конечных 

давлений  (до  10

-8

Па).  Состоят  из  ряда 

следующих  друг  за  другом  статоров  и 

роторов. 

Скорость 

вращения 

ротора 

составляет  десятки  тысяч  оборотов  в 

минуту. Ввиду того что быстрота действия с 

повышением  давлении  падает,  они  могут 

работать  только  в  комбинации  с  насосом 

предварительного  разряжения,  например 

пластинчатым.  В  плазменных  установках 

турбомолекулярные  насосы  используются, 

когда  требуются  очень  низкие  давления, 

которые не достигаются с помощью насосов 

другого 

типа. 

Существенннные 

преимуществом  их  является  то,  что  они  не 

вносят  большого  количества  масла  в 

откачиваемой объем. 

 Турбомолекулярлы 

сорғылар 

/ 

turbomolecular  pumps  –  кейде  жеңілдетіліп 

айтылатын  турбосорғылар  ӛте  тӛмен  соңғы 

қысымдарды 

(10

-8

 

Па) 

алу 

үшін 

қолданылады.  Бірінен  соң  бірі  тұратын 

статорлар  мен  роторлар  қатарынан  тұрады. 

Ротордың  айналу  жылдамдығы  минутына  он 

мыңдаған  айналуларды  қамтиды.  Әрекет 

жылдамдығы  қысымның  жоғарылауымен 

тӛмендейтінін еске түсіретін болсақ, олар тек 

алдын 

ала 

ыдырауы 

бар 

желүргіш 

комбинациясымен,  мысалы  пластинкалымен 

ғана  жұмыс  істей  алады.  Плазмалық 

құрылғыларда  турбомолекулярлы  сорғылар 

сорғылардың  басқа  типімен  қол  жетпейтін 

ӛте  тӛмен  қысымдар  керек  болғанда 

қолданылады. 

Олардың 

айтарлықтай 

артықшылығы  олардың айдап шығарылушы 

кӛлемге 

майдың 

кӛп 

мӛлшерін 

енгізбейтіндігінде.    

насосы  форвакуумные  /  fore  pumps, 

preevacuation  pumps.  rough  (ing)  pumps  – 

вакуумные 

насосы, 

обеспечивающие 

форвакуум,  который  необходим  для  начала 

работы  насоса,  создающего  более  высокий 

вакуум. 

 Форвакуумды 

сорғылар  /  fore  pumps, 

preevacuation  pumps.  rough  (ing)  pumps  – 

анағұрлым  жоғары  вакуумды  жасаушы, 

сорғыштың  жұмысты  бастауына  қажет 

форвакуумды  қамтамасыз  етуші  вакуумды 

сорғылар. 

152 

 

жүктеу/скачать 4,15 Mb.

Достарыңызбен бөлісу: