Ақылбеков Ә. Т., Кривобоков В. П., Даулетбекова А. К
жүктеу/скачать 4,15 Mb. Pdf көрінісі
|
- Бұл бет үшін навигация:
- SIMS
- OAUGDP
- PVD- методы
- Список литературы
DLC – покрытия Diamond-like-carbon coatings Алмаз тәріздес кӛміртекті жабындар. Ерекше сипаттамалар: оның ішінде жоғары каттылыққа, жоғары тозуға тӛзімділікке, үйкелістің ӛте
тӛмен коэффициентіне, жоғары химиялық тӛзімділікке және
алмазға жақын
құрылымға ие кӛміртегі қабыршақтары. DLC кӛмегімен кең шектеулерде беттердің сулануын басқаруға болады. Олардың кеңінен
қолданылатын облыстары адгезиялық тозуға
тӛзімділік пен
антиадгезиялық жабындар болып табылады. Олар алуан түрлі техникалық қолданыстарға арналған жоғары тозуға тӛзімділік пен аз үйкеліске ие (тіпті тефлон тәрізді жабындарға дейін) қатты денелердің тобын ұсынады. DPA Number of displacements per atom Суммарное количество смещений атомов в тердом теле, вызванных облучением быстрыми частицами (обычно нейтронами, ионами, осколками деления), отнесенные к полному количеству атомов. Является важной
характеристикой степени
повреждения твердого тела в результате облучения и служит показателем ресурса работы материала в радиационном поле.
Number of displacements per atom Атомдардың толық мӛлшеріне келетін шапшаң
бӛлшектермен (әдетте
нейтрондармен, иондармен, бӛліну сынықтарымен) сәулелендіру нәтижесінде пайда болған қатты денедегі атомдар ығысуының қорытқы мӛлшері. Сәулелену нәтижесінде қатты дененің зақымдалу деңгейінің маңызды сипаттамасы және радиациялық ӛрісте материалдың жұмыс ресурсының кӛрсеткіші қызметін атқарады.
Sekondary ion mass-spectrometry SIMS Sekondary ion mass-spectrometry 391
Масс-спектрометрия вторичных ионов. Чувствительный метод для анализа состава тонких
слоев. Поверхность бомбардируется высокоэнергетическими первичными ионами, вследсвие чего наряду с другими частицами имеет место эмиссия
вторичных ионов.
Они регустрируются с помощью
масс- спектрометра. Екіншілік иондардың масс- спектрометриясы. Жұқа қабаттардың құрамын талдауға арналған сезімтал тәсіл. Беткі
қабат жоғары
энергетикалық біріншілік иодармен атқыланады, осының салдарынан басқа бӛлшектермен қатар екіншілік иондардың эмиссиясы орын алады.
Plasma assisted chemical vapor deposition Группа методов осаждения покрытий, построенных на CVD-процессах, сопровождаемой плазмой. PACVD- әдістері Plasma assisted chemical vapor deposition Плазмамен қосарлас жүретін, CVD- процестеріне құрылған жабындарды тұндыру әдістерінің тобы
Plasma enhanced chemical vapor deposition Группа методов осаждения покрытий, построенных на CVD-процессах, усиленных с помощью плазмы. PECVD- әдістері Plasma enhanced chemical vapor deposition Плазманың кӛмегімен күшейтілген CVD- процестеріне құрылған жабындарды тұндыру әдістерінің тобы.
Chemical vapor deposition Группа методов осаждения покрытий путем подачи газообразного реагента в рабочую камеру, где он контактируетсяс поверхностью подложки (загатовки), выделяя материал для абсорбции или аккумилирования на рабочей поверхности. Оставщийся газ удаляется из камеры вместе с избыточным рабочим газом. В качестве важных применений плазменных CVD-процессов выступают осаждение пленок аморфного углерода и кремния, а также пленокнидрида титана, карбида титана или нитрида кремния. CVD- әдістері Chemical vapor deposition Газ тәрізді реагентті абсорбция үшін материалды бӛле отырып немесе жұмыс бетінде аккумуляторлай отырып, тӛсеніш бетімен байланысқа түсетін, жұмыс камерасына беру арқылы жабындарды тұндыратын әдістер тобы. Қалдық газ камерадан артық жұмыстық газбен бірге шығарылады. Плазмалық CVD-процестердің маңызды қолданыстары ретінде кремний мен аморфты оттегінің, қабыршақтарын, сондай-ақ титан нидридінің, титан карбидінің немесе кремний нитридінің қабыршақтары қызмет етеді.
Mass flow controller Регулятор расхода газа. Прибор, с помощью которого можно очень точно регулировать подачу газа в рабочую камеру. Синоним слова «натекатель», которое используется только в
MFC Mass flow controller Газ шығынын реттеуші. Жұмыс камерасына газдың берілу
дәлдігін реттеуге болатын құрал. Тек орыс тілді техникалық әдебиетте ғана қолданылатын «натекатель» сӛзіне синоним. OAUGDP One atmosphere uniform glow discharge plasma Однородная плазма тлеющего разряда при нормальном давлении. OAUGDP One atmosphere uniform glow discharge plasma Қалыпты қысым кезінде солғын разрядтың біртекті плазмасы. PVD- методы Physical vapor deposition PVD-методы осаждения покрытий основаны на распылении и испарении PVD- әдістері Physical vapor deposition Жабындарды тұндырудың PVD-әдістері затты буландыру мен тозаңдандыруға 392
вещества. Первый из них предполагает перенос материала от источника к детали посредством бомбардировки мишени
обычно газовыми ионами, которые ускоряются в электрическом поле. Второй основан на переносе материала от мишени к покрытию только путем испарения и последующей конденсации атомов на подложке. PVD-покрытия используются, чтобы улучшить износостойкость, сопротивление истиранию, твердость режущих инструментов, коорозионную стойкость поверхности и т.д. негізделген. Бұлардың біріншісі кӛзден электрлі ӛрісінде үдейтін әдетте газды иондармен нысананы атқылаудың кӛмегімен
детальға материалдың тасымалдануын болжайды. Екіншісі нысанадан жабынға тек булану және тӛсеніштегі атомдардың келесі
конденсациясы жолымен материалдың тасымалдануына негізделген. PVD-
жабындар тозуға тӛзімділікті жақсарту, уатылуға қарсыласуға, кесуші
инструменттердің қаттылығын, беттің коорозиялық тӛзімділігін және
т.б жақсарту үшін қолданылады. TOF-SIMS Time
of flight
secondary ion
mass spectrometry Сокрощание от
выражения «время
пролетная масс-спектроскопия вторичных ионов». Метод анализа поверхности, при котором она
бомбардируется пульсирующим пучком ионов.
По продольжителностью полета испускаемых вторичных ионов можно точно определить их массу и, таким образом, состав поверхности.
Time
of flight
secondary ion
mass spectrometry «екіншілік иондардың уақыт аралық масс- спектроскопиясы уақыты» сӛз
тіркестерінің қысқартылуы. Иондардың пульстаушы шоғымен атқыланатын бет талдаудың әдісі. Шығарылатын екіншілік иондардың ұшу ұзақтығы бойынша олардың массасын, осылайша беттің құрамын анықтауға болады. 393
по определяющему слову (прилагательному)
абляционная плазма 187 абляционное давление 42 абразивно-порошковая очистка 174 авразивно-струйная очистка 175 абразивные материалы 123 аварийное облучение 158 автоионизационное состояние 293 автоионный микроскоп 134 автолокализованное состояние 293 автоэлектронная эмиссия 372 автоэлектронный микроскоп 134 агрегатные состояния 294 адсорбционное равновесие 240 адсорбционные насосы 148 аксиальное каналирование 94 активационный анализ 13 активационный анализ на заряженных частицах 13 активационная зона (ядерного реактора) 70 активная среда 302 акустическая коагуляция 101 акустическая релаксация 269 акустический зонд 72 акцепторные примеси 226 алмазоподная пленка 195 алмазопободное покрытие 203 амбиполярная диффузия 56 аморфная тонкая пленка 196 аморфное состояние 294 анизотропная среда 302 анионная вакансия 24 анодная очистка 175 анодное падение потенциала 176 анодное свечение 278 анодное травление 325 антиадгезионная обработка 160 антиадгезионное покрытие 203 антизапорный слой 290 антифрикционное газотермическое покрытие 203 антифрикционные материалы 123 атермальное превращение 221 атомная единица массы 64 вакуумное напыление 145 вакуумное спекание 296 вакуумное хромирование 356 вакуумно-индукционный переплав 181 вакуумно-напылительная установка 337 вакуумные насосы 148 вакуумный переплав 181 вакуумный пробой 227 валентная зона 70 валентные электроны 370 ван-дер-ваальсова сила 283 ван-дер-ваальсовы радиусы 247 вариационный метод 129 векторный пробег 226 верхний порог хладноломкости 215 взрывная электронная эмиссия 373 взрывное газопламенное напыление 143 винтовая дислокация 53 виртуальная частица 362 вицинальная поверхность 200 внешнее облучение 158 внешнее трение 329 внешний адатом 7 внутреннее облучение 158 внутреннее трение 329 внутренний дефект 49 водородная плазма 187 водородная связь 278 водородная энергетика 375 водородное охрупчивание 174 водородное повреждение 200 водородные блистеры 22 водородопободные атомы 18 возбужденная проводимость 228 возбужденное состояние 294 возбужденный атом 19 воздушная плазма 187 воздушно-дуговая резка 264 возмущенная плазма 187 волновая зона 70 волновой импульс 81 волокнистый излом 73 восходящая диффузия 56 вращательная способность 301 вращающийся барабан 20 времяпролетный масс-спектрометр 122 встречные пучки 237 вторичная ионная эмиссия 372 вторичная электронная эмиссия 372
394
вторичное ядерное топливо 323 гетерогенная система 287 гетерогенный реактор 260 гигагерцевая плазменная установка 339 гидростатический преобразователь 224 годовая эффективная доза 61 гомеополярная связь 279 гомогенная система 287 гомогенный реактор 260 горячая частица 362 горячие дырки 370 горячие электроны 370 гравитационное смещение 291 градиентное покрытие 204 дальний порядок 215 дальняя волновая зона 71 двойниковые полосы 211 двойной бета-распад 21 двойной электрический слой 289 двумерное давление 43 двумерный проводник 230 двуосные кристаллы 112 двухквантовая реакция 262 дебаевская длина экранирования 59 дебаевский радиус экранирования 59 дельта-легированный слой 289 делящиеся материалы 124 делящийся нуклид 156 дендритные образования 163 дендритный параметр 178 детермированные эффекты излучения 384 детанационное напыление 146 детанационное покрытие 204 деформационная поляризация 212 диатермическая среда 302 димерная вакансия 24 динамическая вязкость 34 динамическое равновесие 240 дислокационные сетки 281 диспергирующая среда 303 дисперсно-упрочненные материалы 124 диссипативная среда 303 диссоциативная рекомбинация 267 дистанционная плазма 186 дифференциальное покрытие 204 дифференциальное сечение 282 дифференциальный коэффициент отражения частиц 109 защитное газотермическое покрытие 203 защитный экран 366 зернистый излом 73 зернограничные выделения 32 зинеровский пробой 330 идеальная плазма 188 идельный газ 34 идеальный кристалл 112 избирательная коррозия 106 излучательная рекомбинация 267 излучательная способность 301 износостойкое газотермическое покрытие 204
изотермическая плазма 188 изотермический процесс 234 изотопный генератор 36 изотопный обмен 158 изотропная среда 303 изотропное распределение 253 изохромная спектроскопия 298 иммерсионная металлизация 126 иммерсионная очистка 175 иммерсионное покрытие 204 импульсная плазма 188 импульсное пространство 233 импульсный отжиг 171 импульсный пучок 237 импульсный радиолиз 243 импульсный разряд 250 импульсный реактор 261 импульсный фотолиз 347 инверсный слой 289 индуктивная плазма 188 индукционный нагрев 142 индуцированный переход 182 индуцированный электрический заряд 68 инерциальный термоядерный синтез 286 инжекционная люминесценция 118 инжекционый лазер 114 интегральное свечение 278 интергальный коэффициент отражения частиц 109 интергальный коэффициент отражения энергии 109 интерколированные фуллерены 353 ионизационная неустойчивость 155 ионизационное равновессие 241 ионизационные волны 30 ионизационные потери энергии 220 ионизационный потенциал 217 ионизирующая способность 301 ионизирующая частица 362 ионизирующие излучения 73 ионизирующие столкновения 307
395
ионизованный газ 34 ионная имплонтация 81 ионная карбюризация 95 ионная металлизация 126 ионная поляризация 212 ионная проводимость 229 ионная связь 278 ионная цементация 358 ионная эмиссия 372 ионная эпитаксия 378 коррозионностойкое покрытие 205 косвенно ионизирующая частица 362 космическое излучение 74 коэрцитивная сила 283 коэрцитивное поле 207 краевая дислокация 53 красное смешение 291 криогенные насосы 149 кристаллическая решетка 271 кристаллическая структура 309 кристаллические блоки 22 кристаллический излом 73 кристаллический нейтронный монохроматор 141 кристаллографическая ориентировка 167 кристаллографические индексы 82 кристаллографическое направление 144 критическая плотность потока частиц 198 критическая температура конденсации 313 критические явления 387 критические островки 167 критический дефект 49 кулоновский взрыв 27 кумулятивная доза 60 лавинный разряд 250 лазерная имплантация 81 лазерная обработка 160 лазерная плазма 189 лазерная резка 265 лазерная спектроскопия 299 лазерная термохимия 355 лазерная фотохимия 355 лазерная химия 355 лазерное излучение 74 лазерное модифицирование 139 лазерное напыление 147 лазерное перемешивание 180 лазерное разделение изотопов 247 лазерное упрочнение 332 лазерно-стимулировенная эпитаксия 379 лазерные технологии 319 лазерный катализ 96 лазерный отжиг 171 лазерный переход 183 лазерный пробой 228 лазерный термоядерный синтез 286 ларморовский радиус 247 легированные покрытия 206 легкий ион 85 линейная плотность заряда 197 линейные ионизационные потери энергии 220 мѐссбауэровская спектроскопия 299 местная коррозия 106 металлическая связь 279 металлические соединения 292 металлический радиус 247 металлическое напыление 147 металлическое стекло 305 метастабильная фаза 340 механическая деформация 51 механическая электронно-лучевая обработка 162
механические напряжения 144 механические насосы 149 механический импульс 81 меченые соединения 292 микроволновая плазма 189 микроволновое излучение 74 микросекундный импульсный пучок 237 микросистемные плазменные технологии 319 микроскопическое сечение 282 минимально значимая активность 10 минимально значимая удельная активность 10
многогрупповая теория 315 многослойное покрытие 205 многостенные нанотрубки 143 многофотонная ионизация 86 многофотонное поглощение 201 многофотонный процесс 235 многочастичный потенциал взаимодействия 217
молекулярная рефракция 271 молекулярное течение 322 молекулярно-лучевая эпитаксия 379 молекулярные кристаллы 112 молекулярные спектры 297 молекулярный пучок 237 396
молекулярный спектральный анализ 15 моноимпульсный пучок 238 мономолекулярный слой 141 монотектическое превращение 222 монохроматический пучок 238 монохроматическое излучение 75 моноэнергетический пучок 238 мощный пучок заряженных частиц 237 мюонный катализ 96 наведенная проводимость 229 наведенная радиоактивность 242 наиболее вероятный пробег 226 накопительные кольца 103 накопленная доза 60 обогащенный слой 290 обратная решетка 271 обратнотекущая очистка 175 обратный эффект Комптона 380 объемная диффузия 56 объемная концентрация 105 объемная плотность заряда 197 объемная плотность мощности 199 объемная плотность энергии 199 объемная рекомбинация 268 объемная сила 284 одногрупповая теория 315 одномерный дефект 49 однородная плазма 189 однородная среда 303 одностенные нанотрубки 143 оже-электронная спектроскопия 299 окислительное плавление 186 оксидная пленка 196 ондуляторное излучение 75 оптическая молекулярная спектроскопия 299 оптическая активность 10 оптические спектры 297 оптический пробой 228 оптический разряд 250 оптическое излучение 75 ориентационная поляризация 212 осевой плазмотрон 193 основные носители заряда 156 особо тонкая плазменная очистка 175 островковая пленка 196 островковый рост тонких пленок 272 острофокусная рентгеновская трубка 330 открытая плазма 190 открытая пористость покрытия 214 открытая система 287 открытые ловушки 117 открытый источник ионизирующего излучения 89 относительная биологическая эффективность (ионизирующего излучения) 385 относительное удлинение 332 относительный страгглинг пробега ионов 308 отражательная способность 301 отрицательное свечение 278 отрицательный ион 85 парные столкновения 307 парный потенциал взаимодействия 218 паровая металлизация 127 парциальное давление 43 плазменное упрочнение 332 плазменно-пучковый разряд 251 плазменные волны 30 плазменные источники ионов 91 плазменные колебания 103 плазменные технологии 320 плазменные ускорители 336 плазменный генератор 36 плазменный двигатель 43 плазменный испепелитель 88 плазменный источник электрической энергии 93 плазменный карандаш 95 плазменный катод 97 плазменный мениск 126 плазменный нагрев 142 плазменный нагреватель 142 плазменный очиститель 176 плазменный реактор 261 плазменный реактор травления 262 плазменный скребок 288 плазменный электрод 97 плазменный эмиттер 374 плазмообразующий газ 35 плазмотрон индуцированный высокочастотный 192
плазмохимические технологии 320 плазмохимический пиролиз 185 плазмохимический синтез 286 плазмохимическое распыление 258 пламенная дуговая лампа 115 пламенное облагораживание пластмасс 157 планарная технология 321 планарный магнетрон 120 планируемое повышенное облучение 158 пластическая деформация 52 плоскостное каналирование 94 поверхностная активность 11 397
поверхностная диффузия 57 поверхностная ионизация 86 поверхностная концентрация 105 поверхностная лазерная обработка 161 поверхностная плазменная (пламенная) закалка 66 поверхностная плотность мощности 199 поверхностная плотность энергии 199 поверхностная плотность заряда 197 поверхностная рекомбинация 268 поверхностная сегрегация 280 поверхностная сила 284 поверхностная электромиграция 369 поверхностная энергия кристалла 376 поверхностное давление 43 производственное облучение 159 промежуточные нейтроны 153 промышленный облучатель 157 промышленный реактор 262 проникающая способность 302 просвечивающий электронный микроскоп 135 пространственный заряд 68 пространственный переход 182 профессиональное облучение 159 прыжковая проводимость 229 пучковая неустойчивость 155 пучково-плазменные технологии 321 пьезоэлектрический имеритель толщины пленок 78
пьезоэлектрический эффект 382 рабочее место 126 равновесная плазма 190 равновесная система 288 равновесная фаза 340 равновесное состояние 295 равновесный отжиг 171 радиационная авария 6 радиационная адсорбция 8 радиационная активность 11 радиационная безопасность населения 20 радиационная деполимеризация 47 радиационная дефектоскопия 51 радиационная защита 68 радиационная коррозия 107 радиационная ползучесть 208 радиационная полимеризация 209 радиационная проектная авария 6 радиационная рекомбинация 268 радиационная стерилизация 305 радиационная стойкость аппаратуры 306 радиационная стойкость материалов 306 радиационная терапия 317 радиационная химия 355 радиационная ядерная авария 6 радиационно-гигиенический паспорт организации 178 радиационно-гигиенический паспорт территории 178 радиационное давление 43 радиационное материаловедение 123 радиационное модифицирование 140 радиационное поле 207 радиационное полирование 211 радиационное распухание 254 радиационное трение 328 радиационно-индуцированная сегрегация 280 радиационно-стимулированная диффузия 55 рентгеновская микроскопия 133 рентгеновская спектроскопия 298 рентгеновская топография 321 рентгеновская трубка 327 рентгеновский спектральный анализ 15 рентгеновский фазовый анализ 15 рентгеновское излучение 74 рентгенографическая дефектоскопия 49 рентгенорадиометрический анализ 14 рентгеноспектральный анализ 15 рентноструктурный анализ 14 рентгенофлуоресцентный анализ 15 роторно-щелевые насосы 148 самоиндуцированная прозрачность 231 самопроизвольный переход 182 самостоятельный разряд 251 самостягивающий разряд 251 санитарно-защитная зона 69 синатарный паспорт 177 сбалансированный магнетрон 117 сверхвысокий вакуум 25 сверхвысокочастотный плазмотрон 191 световая отдача 168 световое давление 41 световой пробой 228 свободные радикалы 242 свободные электроны 367 силовое поле 206 сильная фокусировка 341 сильноточный пучок 238 сингулярная поверхность 199 синтезированный пучок 238 синхротронное излучение 74 сканирующий микроскоп 132 сквозная пористость покрытия 214
398
сквозное проплавление 233 скользящий разряд 251 скрытый слой 289 скрытый трек 325 слабая фокусировка 341 снимаемое загрязнение поверхности 63 собственная диффузия 55 собственная проводимость 230 собственный дефект 47 спектральный анализ 15 сплошная среда 303 спонтанное излучение74 спонтанный переход 182 средний вакуум 25 средний пробег 227 средний свободный пробег 227 средний транспортный свободный пробег 227 термическое сопротивление 292 термовакуумный отжиг 170 термодинамические потенциалы 219 термодинамические функции 349 термодиффузионное разделение изотопов 247 термомеханические напряжения 142 термомеханический генератор 37 термопарный преобразователь 224 терморегулирующее покрытие 205 термостимулируемая диффузия 55 термостойкое покрытие 205 термоэлектрические явления 383 термоэлектрический генератор 37 термоэлектродвижущая сила 283 термоэлектронная эмиссия 369 термоэлектронный катод 95 термоэлектронный преобразователь 224 термоядерная плазма 189 термоядерная реакция 263 термоядерный взрыв 28 термоядерный реактор 262 термоядерный синтез 285 технический вакуум 25 техногенное облучение 157 техногенный источник излучения 86 технологический газ 35 технологическое облучение 157 тигельное напыление 146 тихий разряд 251 тлеющий разряд 252 тонкая пленка 195 тонкая эпитаксиальная пленка 196 топливная частица 360 топливный ядерный цикл 357 торможение ионов ядерное 321 тормозное излучение 74 точечный дефект 47 трансурановые отходы трековые мембраны 172 трековый фильтр 339 тройная точка 322 тройные столкновения 307 туннельная эмиссия 369 туннельный микроскоп 132 туннельный переход 183 тунельный эффект 378 турбомалекулярные насосы 149 турбулентная диффузия 55 тяжелые ионы 82 убегающие электроны 367 углеродистая дуговая резка 266 фотоэлектронная спектроскопия 299 фотоэлектронная эмиссия 369 фотоэлектронный умножитель фотоядерная реакция 329 фрикционное покрытие 206 хараектеристический рентгеновский спектр 296 химическая диффузия 55 химическая реакция 263 химическая связь 278 химический лазер 112 химический сдвиг 279 химическое осаждение из паравой фазы 167 химическое осаждение из паравой фазы, усиленное плазмой 167 химическое покрытие паром 205 химическое распыление 257 холодная деформация 50 холодные нейтроны 152 хроматическая аберрация 5 хрупкий излом 71 центральная сила 284 центробежное рафинирование 259 цепная реакция 264 цепная реакция деления 262 циклическая вязкость 34 циклический ускоритель 332 циклотронная частота 360 циклотронное излучение 75 частотно-ипульсный пучок 238 эквивалентная доза 59 экзотермическая реакция 264 экзоэлектронная эмиссия369 углеродные нанотрубки 141 фотоэлетродвижущая сила 284 399
экспозиционная доза 59 экстраполированный пробег 227 электрическая дуга 61 электрическая постоянная 216 электрическая проводимость 230 электрические флуктуации 340 электрический диполь 51 электрический заряд 66 электрический зонд 70 электрический импеданс 77 электрический импульс 79 электрический потенциал 218 электрический пробой 228 электрический разряд 249 электрическое поле 207 электровакуумные приборы 255 электровалентная связь 277 электродвижущая сила 284 электроотрицательная плазма 190 электроповерхностные явления 383 электроположительная плазма 190 электроразрядное шлифование 362 электроракетный двигатель 42 электрореактивный двигатель 42 электростатическая эмиссия 369 электрохимческое хромирование 353 электроэрозионная обработка 161 элементарная частица 360 элементарная ячейка в кристаллах 385 элементарный электрический заряд 66 эмиссионные материалы 122 эмиссионные явления 384 эндотермическая реакция 264 энергетическая зона 69 энергетическая цена генерации (покрытия) 355 энергетический выход люминесценции 33 энергетический переход 182 энергетический радиационный выход 33 энергетический реактор 262 эрозионностойкое покрытие 206 атомная
масса 122 атомная энергетика 374 атомно-гладкая поверхность 199 атомно-силовой микроскоп 134 атомно-чистая поверхность 199 атомное ядро 388 атомный вес 27 атомный зонд 72 атомный номер 156 атомный пучок 237 атомный радиус 246 атомный спектр 297 атомный спектральный анализ 15 атомный фактор 341 баррельный реактор 260 барьерный слой 288 безразличное равновесие 240 безызлучательная рекомбинация 267 безызлучательное девозбуждение 45 безызлучательные процессы 235 безызлучательный переход 183 безэлектронный разряд 249 бинарные столкновения 307 биографический дефект 49 ближний порядок 215 блочная радиационная полимеризация 210 боровский радиус 246 броуновское движение 44 бустерные насосы 148 быстрые нейтроны 152 вакансионная диффузия 56 вакансионный кластер 100 вакансионный узел 332 вакуумная дегазация 45 вакуумная изоляция 79 вакуумная камера 93 вакуумная очистка 175 вакуумная печь 184 вакуумная спектроскопия 298 вакуммная цементация 358 вакуумно-дуговой переплав 181 вакуумное испарение 87 вакуумное литье 117 вакуумное нанесение покрытия 142 вторичные радиационные эффекты 385 второй закон Фика 66 выгорающая добавка 60 выгорающий поглотитель 201 вынужденный переход 183 вырожденный газ 34 высокий вакуум 25 высоковольтный разряд 244 высокое давление 42 высокоинтенсивный пучок заряженных частиц 237 высокоионизированная плазма 187 высококонцентрированный пучок
заряженных частиц 237 высокотемпературная плазма 187 высокотемпературное водородное высокоугловая граница 41 400
воздействие 26 высокочастотная проводимость 229 высокочастотная усталость 336 высокочастотное ионно-плазменное напыление 147 высокочастотное распыление 255 высокочастотное травление 325 высокочастотный емкостный плазмотрон 191 высокочастотный коронный разряд 250 высокочастотный плазмотрон 191 высокочастотный разряд 249 вязкий излом 73 вязкостное течение 322 вязко-упругая деформация 52 газовая компенсация (самокомпенсация) 103 газовая цементация 358 газовое силицирование 286 газовое хромирование 356 газовый лазер 114 газовый разряд 249 газодинамический лазер 114 газодиффузионное разделение изотопов 248 газодуговая резка 265 газопламенное напыление 146 газоплазменное покрытие 203 газоразрядная плазма 187 газотермическое напыление 146 газотермическое покрытие 203 газофазная эпитаксия 378 гальвономагнитные явления 387 гамма-адсорбционный анализ 14 гамма-активационный анализ 14 диффузионная длина (в полупроводнике) 58 диффузионное насыщение 151 диффузионное покрытие 204 диффузионное превращение 222 диффузионное хромирование 356 диффузионно-контролируемая реакция 263 диффузионные насосы 149 диэлекрическая проницаемость 232 диэлекрическая проницаемость вакуума 232 диэлектрические потери 219 диэлектронная рекомбинация 267 доза интегральная 60 донорная примесь 226 донорно-акцепторная связь 278 доплеровское уширение 339 дрейфовые неустойчивости 154 дрейфовые трубки 330 дуальный магнетрон 120 дуговая пайка 176 дуговая печь 184 дуговая печь прямого действия 184 дуговая резка 265 дуговая сварка 276 дуговая углеродистая сварка 276 дуговой плазмотрон переменного тока 193 дуговой плазмотрон постоянного тока 192 дуговой разряд 250 дуплексные покрытия 204 дырочная проводимость 229 жаростойкие покрытие 204 жесткая фокусировка 344 жидкое силицирование 286 жидкометаллический эмиттер ионов 374 жидкостная модель плазмы 138 жидкостный лазер 114 жидкофазная эпитаксия 378 закалочная среда 303 закрытый источник ионизирующего излучения 89 замагниченная плазма 187 запаздывающие потенциалы 218 запирающий слой 290 запрещенная зона 71 зарядовая компенсация 103 зарядовая функция 353 зарядовое распределние 253 заряженная плазма 187 заряженная частица 362 защитная среда 303 изотопический сдвиг 279 изотопическое смещение 291 изотопное обогащение 159 изотопные индикаторы 82 изотопные индикаторы 79 изотопные эффекты 385 изотопный анализ 14 ионное легирование 115 ионное модифицирование 139 ионное напыление 147 ионное перемешивание 180 ионное плакирование 194 ионное профилирование 234 ионное распыление 255 ионное травление 326 ионное фрезерование 352 ионно-звуковые колебания 102 ионно-ионная эмиссия 372 ионно-легированный демпферный слой 289 ионно-лучевая терапия 317
401
ионно-лучевое легирование 115 ионно-лучевое шлифование (полирование) 365
ионно-магнетронное распыление 255 ионно-плазменное распыление 255 ионно-плазменные технологии 320 ионно-пучковая эпитаксия 378 ионно-фотонная эмиссия 372 ионно-химическое распыление 258 ионно-электронная эмиссия 372 ионные кристаллы 112 ионные насосы 149 ионные радиусы 247 ионный микроанализ 133 ионный микроскоп 134 ионный миксинг 137 ионный обмен 159 ионный проектор 231 ионный пучок 238 ионный удар 331 ион-электронная рекомбинация 267 искровой разряд 250 испускательная способность 301 истинно нейтральная частица 362 калориметрические методы измерения потока частиц 93 каналированный ион 85 канальный реактор 261 капиллярные явления 387 каскадная функция 353 катионная вакансия 24 катодная очистка 175 катодная реакция 263 катодное падение потенциала 176 катодное пятно 239 катодное распыление 256 квадрупольный масс-спектрометр 122 квазиравновесная плазма 188 квазиупругое рассеяние 258 квантовая химия 354 квантовый выход люминесценции 32 квантовый выход прибора 33 квантовый выход фотоэффекта 33 квантовый радиационный выход 33 керамическое ядерное топливо 323 кинематическая вязкость 34 кинетическая модель плазмы 138 кинетическая эмиссия 373 кинжальное проплавление 232 кислородно-дуговая резка 265 кластерное покрытие 204 кластерный ион 85 кластерный ускоритель 335 коаксиальный плазмотрон 193 ковалентная связь 279 когерентное излучение 74 когерентный осадок 167 колебательное смещение частиц 291 количественная металлография 127 коллективная эффективная доза 62 коллективное ускорение 334 комплексная проводимость 229 комплексный ион 85 композитное покрытие 205 композиционные материалы 124 конверсионная эффективность сцинтиллятора 386 конвертированный газ 35 конденсационные насосы 149 кондукционный нагрев 142 коническая рефракция 271 контактная коррозия 106 контактная поверхность 200 контактная усталость 337 контактные материалы 124 контактные явления 387 конфигурационное пространство 233 концентрированный профиль 234 концентированный поток энергии 220 концентрированный пучок заряженных частиц 237 координационная связь 279 корковое покрытие 205 коронный разряд 250 корпусной реактор 261 коррозионная среда 303 коррозионная стойкость 306 коррозионная усталость 337 коррозийно-механический износ 79 линейные ускорители 336 линейный каскад столкновений атомов 96 линейчатый спектр 297 лучевая химическая эпитаксия 379 лучеиспускательная способность 301 люминесцентная дефектоскопия 51 люминесцентный анализ 14 магические островки 169 магический кластер 100 магнетрон цилиндрический 120 магнетронное распыление 256 402
магнитная пленка 196 магнитная постоянная 216 магнитная проводимость 229 магнитная проницаемость 232 магнитная проницаемость вакуума 232 магнитная релаксация 269 магнитное зеркало 69 магнитное превращение 222 магнитные ловушки 117 магнитный поток 220 магнитный преобразователь 224 магнитный фазовый переход 183 магнитогидродинамический генератор 37 магнитодвижущая сила 283 магнитотепловые явления 387 магнитотормозное излучение 76 макроскопическое сечение 282 максимальный пробег 226 малоугловое рассеяние 258 манометрический преобразователь 224 мартенситное превращение 222 массовая сила 283 массовая тормозная способность 302 масштабный фактор 341 математическое моделирование 138 мгновенные нейтроны деления 152 медианный пробег 227 медицинское облучение 158 медленные нейтроны 153 межатомное взаимодействие 26 междоузельный атом 19 междоузельный кластер 100 межзерная ползучесть 208 межзеренный излом 73 межзонное туннелирование 330 межкристаллитная коррозия 106 межкристаллитный излом 73 межфазное взаимодействие 27 межфазное натяжение 151 межфазные выделения 32 мембранный преобразователь 224 намагничивающая сила 283 нанокристаллические материалы 124 наносекундный импульсный пучок 237 напыленные материалы 124 напыляемые материалы 124 насыщающая среда 303 насыщенный пар 177 невозмущенная плазма 189 неидеальная плазма 189 нейтральная среда 303 нейтральный слой 289 нейтронная оптика 166 нейтронная радиография 243 нейтронная спектроскопия 299 нейтронно-абсорбционный анализ 14 нейтронно-активационный анализ 13 иейтронное излучение 75 нейтронное охрупчивание 174 нейтронное поле 206 ненейтральная плазма 189 необратимый процесс 235 неоднородная плазма 189 неоднородная среда 303 неполная сила трения 284 непосредственно ионизирующая частица 362 неравновесная плазма 189 неравновесное состояние 295 неравновесное течение 322 неравновесные процессы 236 несамостоятельный разряд 250 несбалансированный магнетрон 120 неснимаемое загрязнение поверхности 65 неупругие столкновения 307 неупругое рассеяние 258 неупругое торможение 323 неустойчивое равновесие 241 нефиксированное загрязнение поверхности 65
нижний порог хладноломкости 215 низкий вакуум 25 низковольтная электрическая дуга 62 низкотемпературная плазма 189 низкочастотное ионное распыление 257 низкочастотное ионно-магнетронное распыление 257 нитевидные кристаллы 112 нормальная релаксация 269 нормальный пробег 226 нульмерный дефект 49 обедненный слой 290 первая стенка (термоядерного реактора) 305 первичная удельная ионизация 86 первичные радиационные эффекты 385 перегретый пар 177 перезарядный ускоритель 335 пересыщенный пар 177 переходное излучение 75 перпендикулярный пробег 226 пикосекундный импульсный пучок 237 питтинговая коррозия 106 плазменная активация поверхности 10
403
плазменная горелка 40 плазменная иммерсионная обработка 161 плазменная карбюризация 95 плазменная металлургия 127 плазменная неустойчивость 154 плазменная обработка 161 плазменная обработка полимерной пленки 161 плазменная обработка текстильных материалов 162 плазменная очистка меди 175 плазменная очистка медицинских инструментов 175 плазменная пушка 238 плазменная система 287 плазменная термообработка 318 плазменная техника 319 плазменная установка 339 плазменная цементация 358 плазменная частота 364 плазменно-дуговая печь 185 плазменно-дуговая резка 266 плазменно-дуговая сварка 276 плазменно-дуговое напыление 147 плазменно-дуговое покрытие 205 плазменно-дуговой переплав 181 плазменное азотирование 8 плазменное анодирование 17 плазменное борирование 23 плазменное карбонитрирование 95 плазменное модифицирование 139 плазменное напыление 147 плазменное нитрирование 155 плазменное нитрокарбюрирование 156 плазменное оплавление 166 плазменное покрытие 205 плазменное полирование 210 плазменное распыление 257 плазменное рафинирование металлов 259 плазменное сопло 292 плазменное травление 325 поверхностное натяжение 151 поверхностные источники ионов 91 поверхностные оксиды 165 поверхностные состояния 295 поверхностные технолгии 320 поверхностные явления 387 поверхностный дефект 49 поглощательная способность 302 поглощенная доза 60 поглощенное излучение 75 полевая ионизация 86 полевая эмиссия 373 полевой ионный микроскоп 134 полевой электронный микроскоп 135 полимерная пленка 196 полиморфное превращение 222 полиморфный фазовый переход 183 полная удельная ионизация 86 полное сечение 282 положительные кристаллы 112 положительный ион 85 положительный столб 307 полый катод 97 поляризованные нейтроны 153 попеременное ионно-паровое плакирование 194 поперечный изги б 72 пороговое распухание 254 прослойный-плюс-отростковый рост тонких пленок 272 пострадиционная хроноспектроскопия центров окраски 356 потенциальная функция 353 потенциальная эмиссия 373 потенциальная яма 389 потенциальное облучение 158 потенциальный барьер 20 предварительная обработка 161 предельно допустимая доза 60 прививочная полимеризация 209 примесная зона 71 примесная проводимость 229 примесные дефекты 50 примесный уровень 334 примитивная ячейка 390 природное облучение 159 природный источник излучения 89 пристеночная проводимость 229 прицельный параметр 178 проводниковые материалы 124 продольный изгиб 72 продольный страгглинг пробега ионов 308 проективный пробег 226 радиационно-стимулированный наклеп 143 радиационно-стойкое стекло 305 радиационно-термическое спекание 296 радиационно-химическая реакция 263 радиационно-химические технологии 321 радиационные дефекты 50 радиационные испытания 88 радиационные повреждения 200 радиационные потери 219
404
радиационные потери плазмы 219 радиационные пояса Земли 221 радиационные технологии 321 радиационный акцептор 11 радиационный захват 69 радиационный контроль 104 радиационный нагрев 142 радиационный объект 163 радиационный отжиг 171 радиационный разогрев 249 радиационный риск 272 радиационный терроризм 318 радиоактивное загрязнение 65 радиоактивное излучение 75 радиоактивные вещества 27 радиоактивные горячие частицы 363 радиоактивные изотопы 80 радиоактивные отходы 163 радиоактивные ряды (семейства) 272 радиозащитные средства 304 радаоизотопный преобразователь 224 радиоиндикаторные методы 131 радиохимическая чистота 364 радиочастотная плазма 190 радиочастотный масс-спектрометр 122 разреженный газ 35 разрешающая способность спектрального прибора 302 разрешенная зона 71 растровый микроскоп 135 реактивное ионное плакирование 194 реактивное травление 326 реакторный ядерный цикл 360 реакция излучения 263 реальный газ 35 резонансное поглощение 202 резонансные нейтроны 153 рекомбинизационная люминесценция 119 рекомбинационное излучение 76 рекристаллизационный отжиг 172 релаксационная поляризация 212 рентгеноаморфная фаза 340 средняя длина свободного пробега 59 стабильная фаза 340 стационарная инжекция 84 стационарные силы 284 стеклообразное состояние 295 столкновителъная ионизация 86 столкновительное распыление 257 сторонние силы 284 стохастические эффекты излучения 384 струйные насосы 150 струйный плазмотрон 193 структурная инженерия границ 84 структурный рентгеновский анализ 14 структурный фактор 341 ступенчатая ионизация 86 субграничная структура 309 субзеренная структура 309 субмикросекундный импульсный пучок 238 суперионная проводимость 230 суперионный проводник 231 сферическая аберрация 5 сцинтилляционный счетчик 311 твердофазная эпитаксия 379 темное катодное пространство 233 темный разряд 252 температурное излучение 76 температурное поле 207 температурный напор 144 температурный эффект деформации 380 тензорезистивный эффект 383 тепловая генерация носителей заряда 38 тепловая поляризация 212 тепловая функция Гиббса 353 тепловая хрупкость 357 тепловое излучение 76 тепловое распыление 257 тепловой пик 185 тепловой реактор 261 тепловой удар 332 тепловой эффект реакции 382 тепловые нейтроны 153 теплозащитное покрытие 206 теплоотражающее покрытие 206 термализованные нейтроны 153 термическая диссоциация 54 термическая ионизация 86 термическая плазма 190 термическая ползучесть 208 термическая усталость 337 термический адатом 7 термическое испарение 87 термическое напыление 148 угловая апертура 18 ударная волна 30 ударная вязкость 34 ударная ионизация 86 ударная рекомбинация 268 ударная усталость 337 ударная эрозия 379 ударное уширение 339 ударные силы 285 405
удельная ионизирующая способность 87 удельная массовая активность 11 удельная поверхность 200 удельная рефракция 271 ультразвуковая кристализациая 113 ультразвуковая очистка 175 ультрафиолетовое излучение 77 ультрахолодные нейтроны 153 универсальные физические постоянные 216 уплотнительное покрытие 206 управляемый термоядерный синтез 287 упрочненный поверхностный слой 290 упругая волна 30 упругая деформация 52 упругие силы 285 упругие столкновения 308 упругое рассеяние 259 упругое торможение 323 ускоренное химическое травление ионным пучком 326 ускоренный ион 85 ускоритель индукционный 335 ускоряющее поле 207 фазовая диаграмма 52 фазовое превращение 221 фазовое пространство 234 фазовый анализ 15 фазовый переход 182 фазовый переход второго рода 182 фазовый переход первого рода 183 факельный плазматрон 193 факельный разряд 252 фарадеево пространство 234 ферромагнитные материалы 125 фиолетовое смещение 291 фокусирующий электрод 368 форвакуумные насосы 151 фотонно-нейтронный анализ 16 фоторезистивный эффект 384 фотохимическая диссоциация 54 фотохимическая реакция 263 фотохимическое разделение изотопов 248 фотоэлектрические явления 388 электродный потенциал 219 электродуговое напыление 148 электродуговое покрытие 206 электродуговое распыление 258 электродуговой испаритель 88 электроимпульсная обработка 162 электроконтактный нагрев 142 электролизная металлизация 127 электролитическая диссоциация 54 электролитическая ионизация 87 электролитическая очистка 175 электролитическое рафинирование 260 электромагнитное излучение 77 электромагнитное перемешивание 180 электромагнитное поле 207 электромагнитное разделение изотопов 248 электромагнитное формоизменение 346 электронная спектроскопия для химического анализа 298 электронная концентрация 105 электронная микроскопия 136 электронная оболочка 160 электронная оптика 166 электронная поляризация 213 электронная проводимость 230 электронная пушка 238 электронная эмиссия 373 электронно-дырочная жидкость 65 электронно-дырочная пара 177 электронно-дырочный переход 182 электронное торможение 323 электронно-зондовые методы 132 электронно-лучевая литография 116 электронно-лучевая обработка 162 электронно-лучевая резка 266 электронно-лучевая сварка 276 электронно-лучевая термообработка 318 электронно-лучевое испарение 87 электронно-лучевое модифицирование 140 электронно-лучевой испаритель 88 электронно-лучевой нагрев 142 электронно-лучевой переплав 181 электронные линзы 115 электронный газ 35 электронный захват 69 электронный парамагнитный резонанс 266 электронный преобразователь 225 электронный проектор 231 электронный пучок 238 электронный спиновый резонанс 266 электронный центр окраски 360 электрон-позитронная аннигиляция 17 эффективная глубина выхода распыляемых атомов 39 эффективная доза 61 эффективное сечение 281 эффективный заряд 68 эффективный пробег 227 406
ядерная авария 6 ядерная батарея 20 ядерная плотность вещества 197 ядерная реакция 264 ядерная химия 355 ядерная энергия 377 ядерное оружие 167 ядерное топливо 323 ядерные силы 285 ядерный взрыв 28 ядерный денатурант 46 ядерный квадруполный резонанс 266 ядерный магнитный резонанс 266 ядерный реактор 262 ядерный сорт 293 ядерный фильтр 342
407
1.
Balashov V.V. Interaction of Particles and Radiation with Matter. — Springer, 1996. 2.
Boeing H.V. Fundamentals of Plasma Chemistry and Technology, 1988. 3.
Lieberman M, Lichtenberg A. Principles of Plasma Discharges and Materials Processing. Published by J. Willy and Sons, Inc. — 1994. 4.
технологии. — М.: Высшая школа, 1984. — 320 с. 5.
Блейхер Г.А., Кривобоков В.П., Пащенко О.В. Тепломассоперенос в твѐрдом теле под действием мощных импульсных пучков заряженных частиц. — Новосибирск: Наука, 1999. — 176 с.: ил. 6.
Вендик О.Г., Горин Ю.Н., Попов В.Ф. Корпускулярно-фотонная технология.: Учебное пособие для вузов. — М.: Высшая школа, 1984. — 240 с.: ил. 7.
управляемого термоядерного синтеза и технологических целей. — М.: Энергоатомиздат, 1986. — 249 с. 8.
технологии / Учебник под ред. Калина Б.А. — М.: Круглый год, 2001. — 528 с.: ил. 9.
Данилин Б.С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем. Под общей редакцией Нилендера Р.А. — М.: Энергия,1972.— 256с. 10.
очистки материалов. — М.: Энергоатомиздат, 1987. — 264 с. 11.
Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. — М.: Радио и связь, 1982 . 72с. 12.
Дембовский В. Плазменная металлургия. — М.: Металлургия, 1981. — 280 с.: ил. 13.
М.: Энергоатомиздат, 1987. — 184 с. 14.
Костржицкий А.И., Карпов В.Ф., Кабанченко М.П., Соловьѐва О.Н. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме. — М.: Машиностроение, 1991. — 176 с.: ил. 15.
металлургии. — М.: Металлургия, 1970. — 216 с.: ил. 16.
Новости физики твердого тела. Выпуск II. Нейтронное трансмутационное легирование полупроводников / под ред. Дж. Миза — М.: Мир, 1982. — 264 с. 17.
Оборудование ионной имплантации/ В.В. Симонов, Л.А.Корнилов, А.В. Шашелев, Е.В. Шокин. — М.: Радио и связь, 1988 — 184 с. 18.
Окс Е.М. 19.
поверхности. — М.: Наука, 2006. — 490 с. 20.
Плешивцев Н.В., Бажин А.И. Физика воздействия ионных пучков на материалы. М.: Вузовская книга, 1998. —392 с. 21.
Политехнический словарь. Гл. ред. Артоболевский И.И.— М.: Советская энциклопедия, 1977. — 608 с. 22.
Семѐнов А.П. Пучки распыляющих ионов: получение и применение. — Улан-Удэ: Изд. БНЦ СО РАН, 1999. — 207 с.: ил. 23.
Справочник по ядерной физике / под ред. акад. Л.А. Арцимовича — М.: Физматгиз, 1963. — 632 с.: ил. 24.
Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения / под общей редакцией Г.Хасса и Р.Э.Туна. — Т.IV. — пер. с англ. под ред. В.Б. Сандомирского, А.Г. Ждана. — М.: Мир, 1970 — 440 с. 408
25. Физическая энциклопедия / Гл. ред. А.М. Прохоров. Ред. кол.: Д.М. Алексеев, А.М. Балдин, А.М. Бонч-Бруевич, А.С. Боровик-Романов и др. — М.: Большая Российская энциклопедия. Т.I. — Т.IV., 1998. 26.
энциклопедия, 1984. — 944 с.: ил. 27.
Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. М., Атомиздат, 1972. — 304 с.: ил. 28.
Двуреченский А.В., Качурин Г.А., Нидаев Е.В., Смирнов Л.С. Импульсный отжиг полупроводниковых материалов. М.: Наука, 1982. 208 с. 29.
ГОСТ 28076-89. Газотермическое напыление. Термины и определения. жүктеу/скачать 4,15 Mb. Достарыңызбен бөлісу:
|