Ақылбеков Ә. Т., Кривобоков В. П., Даулетбекова А. К

347 

 

Ускорение 

химической 

реакции, 

обусловленное 

совместным 

действием 

катализатора  и  облучения  светом.  Для 

кинетики 

фотокаталитических 

реакций 

характерны те же закономерности, что и для 

каталитических  и  фотохимических  реакций 

(см. 

реакция 

фотохимическая). 

Особенность  фотокаталитических  реакций 

состоит  в  том,  что  раздельное  действие 

света  или  катализатора  не  оказывает 

значительного 

влияния 

на 

скорость 

реакции. 

Фотокатализ 

широко 

распространен в природе. 

Катализатор  мен  жарық  сәулесінің  бірлескен 

әсері 

кезіндегі 

химиялық 

реакцияның 

үдетілуі. 

Фотокатализдік 

реакция 

кинетикасына 

катализдік 

және 

фотохимиялық  реакциядағыдай  (қараңыз: 

фотохимиялық  раекция)  заңдылықтар  тән. 

Фотокатализдік 

реакцияның 

ерекшелігі  

катализатордың немесе жарықтың жеке-жеке 

әсері 

реакцияның 

жылдамдығына 

айтарлықтай 

әсер 

етпейтіндігінде. 

Фотокатализ табиғатта кеңінен таралған.  

Фотокатод -  см. ст. катод. 

Фотокатод -  қара. ст. катод. 

Фотолак 

Photolacquer 

Фотолак  (или  резист)  является  веществом, 

которое  при  облучении  светом  изменяет 

свою  структуру.  Различают  позитивные  и 

негативные  лаки.  В  случае  позитивных 

лаков  засвеченные  области  растворяются  с 

помощью соответствующего проявляющего 

раствора.  Для  негативных  имеет  место 

обратная  картина.  Фотолаки  используются, 

в  частности,  в  микроэлектронике  и 

микросистемной  технике  для  изготовления 

малых 

структур 

в 

микронном 

и 

субмикронном диапазонах размеров. 

Фотолак 

Photolacquer 

Фотолак (немесе резист) жарықпен сәулелену 

кезінде  ӛзінің  құрылымын  ӛзгертетін  зат. 

Олар    позитивті  және  негативті  лактар  деп 

ажыратылады.  Позитивті  лактар  жағдайында  

жарқыраған  облыстар    сәйкес    кӛрінетін 

ерітіндінің кӛмегімен ериді. Негативті лактар 

үшін  кері  жағдай  орын  алады.  Кӛбінесе 

фотолактар 

микроэлектроника 

мен 

микрожүйелік 

техникада 

шамалардың 

микронды 

және 

субмикронды 

диапазондарында    шағын  құрылымдарды 

жасау үшін қолданылады.  

Фото́лиз 

Photolysis 

Разложение 

твѐрдых, 

жидких 

и 

газообразных веществ под действием света. 

Фото́лиз 

Photolysis 

Жарықтың  әсерімен  қатты,  сұйық  және  газ 

тәрізді заттардың жіктелуі.  

фотолиз импульсный  / pulse photolysis  — 

метод  исследования  быстрых  химических 

реакций  и  их  короткоживущих  продуктов 

(время  жизни  от    10

-12

  до  единиц  с). 

Основан на возбуждении молекул коротким 

световым 

импульсом 

и 

регистрации 

образующихся  возбужденных  состояний 

молекул  и  короткоживущих  продуктов  их 

превращений.  В  качестве  источников  света 

используют: 

импульсные 

лампы 

с 

излучением  в  ближнем  УФ,  видимом  и 

ближнем  ИК  диапазонах  (время  вспышки 

10

-6

 –  10

-3

  с, энергия излучения до  10

3

 Дж); 

импульсные  лазеры  с  модулированной 

добротностью, дающие  узкие спектральные 

линии  с  возможностью  перестройки  длины 

волны  —  обычно  жидкостные  лазеры  на 

органических  соединениях  или  газовые 

эксиплексные 

лазеры 

(длительность 

импульсті  фотолиз  /  pulse  photolysis    — 

жылдам  химиялық  реакцияларды  және 

олардың ӛмір сүру ұзақтығы қысқа ӛнімдерін 

(ӛмір  сүру  уақыты  10

-12

  -1  с  аралығындағы) 

зерттеу  әдісі.  Қысқа  жарық  импульсімен 

молекуланы қоздырып және қозған молекула 

күйі  мен  пайда  болған  қысқа  ӛмір  сүретін 

ӛнімдерін  тіркеуге  негізделген.  Жарық  кӛзі 

ретінде  қолданылатындар  құралдар:  жақын 

УК  сәулелі,  кӛрінетін  және  жақын  ИК 

диапазондағы (жарқырау уақыты 10

-6

 – 10

-3

 с, 

сәуле  шығару  энергиясы  10

3

  Дж-ға  дейін) 

импульсті  шамдар,  толқын  ұзындығын қайта 

түзету  мүмкіндігіне  ие  жіңішке  спектрлік 

сызықтар  беретін  импульстік  лазерлер, 

әдетте,  сұйықтықтық  лазерлер,  (импульстің 

ұзақтығы 10

-8

-10

-7

 с, импульс энергиясы 10

-3

-

1 Дж); модалары синхрондалатын импульстік 

лазерлер  (импульс  ұзақтығы  10

-12

  –  10

-11

  с, 

348 

 

импульса 10

-8

-10

-7

 с, энергия импульса 10

-3

-

1 

Дж); 

импульсные 

лазеры 

с 

синхронизацией 

мод 

(длительность 

импульса  10

-12

  –  10

-11

  с,  энергия  импульса 

10

-5

-10

-3

 

Дж). 

Необходимая 

энергия 

возбуждающего 

импульса 

в 

области 

поглощения 

исследуемого 

вещества 

составляет от 10

-5 

до 1 Дж в зависимости от 

квантового 

выхода 

фотопревращения, 

облучаемой  площади  образца  и  метода 

регистрации. 

импульс энергиясы 10

-5

-10

-3

 Дж). Зерттелетін 

заттың  жұту  облысында  спектр  алу  үшін  

қажетті 

қоздырушы 

энергия 

шамасы 

фотоауысудың 

шығуына, 

заттың 

сәулеленетін  бетінің  ауданына  және  тіркеу 

әдісіне  байланысты  10

-5 

бастап  1  Дж  дейінгі 

аралықтағы мәнге ие. 

Фотолитогра́фия 

Photolithography 

Способ  формирования  изделий  различного 

типа 

с 

использованием 

светочувствительных 

материалов. 

В 

электронике  фотолитография  используется 

для  формирования  рельефного  рисунка  в 

слое 

металла, 

диэлектрика 

или 

полупроводника 

с 

применением 

фоторезисторов 

и 

источников 

УФ- 

излучения 

в 

процессе 

изготовления 

интегральных  схем  и  других  электронных 

устройств. 

Фотолитогра́фия 

Photolithography 

Жарыққа  сезімтал  материалдарды  қолдана 

отырып  әртүрлі  бұйымдарды  түзу  әдісі. 

Электроникада 

фотолитография 

металл, 

диэлектрик 

немесе 

жартылай 

ӛткізгіш 

қабатында  интегралды  сұлбалар  және  басқа 

да  электронды  қондырғыларды  дайындау 

процесінде  фоторезисторларды  және  УК-

сәулелерінің  кӛзін  қолдана  отырып  бедерлі 

суреттер салуда қолданылады.  

Фотолюминесце́нция 

Photoluminescence 

Люминесценция, 

возникающая 

под 

действием 

ультрафиолетового 

или 

видимого излучения. 

См. также люминесценция. 

Фотолюминесце́нция 

Photoluminescence 

Ультракүлгін  немесе  кӛрінетін  сәуленің 

әсерінен пайда болатын люминесценция. 

Сон. қ. қараңыз: люминесценция. 

Фото́н  

Photon  (от  греч.  phos,  род.пад.  photos  — 

свет)  

Элементарная 

частица, 

квант 

электромагнитного излучения.  

Фото́н 

Photon (гр. phos, ілік сеп. photos — жарық)  

Электромагниттік  ӛрістің  кванты,  элементар 

бӛлшек.  

Фотоокисление 

Photooxidation, photochemical oxidation 

Окислительно-восстановительная 

фотохимическая 

реакция. 

Суть 

фотоокисления 

составляет 

перенос 

электрона  от  возбужденной  молекулы 

донора  D  к  невозбужденной  молекуле 

акцептора  А.  Фотоокисление  состоит  из 

нескольких 

стадий 

и 

начинается 

с 

поглощения донором квантов света, которое 

приводит  к  переходу  электрона  с  высшей 

занятой молекулярной орбитали на низшую 

свободную  молекулярную  орбиталь,  и 

образованию  возбужденных  частиц  D*.  В 

присутствии  невозбужденных  молекул  А 

электрон  переходит  от  донора  D*  к 

акцептору  А.  В  результате  происходит 

Фотототығу 

Photooxidation, photochemical oxidation 

Тотықтыру-қалпына  келтіру  фотохимиялық 

реакциясы.    Фотототығуда  қозған  D 

донордағы молекула электронын  қозбаған А 

акцептор  молекуласына    тасымалдау  процесі 

жүзеге  асады.   

Фотототығу  бірнеше 

кезеңдерден  тұрады  және  ол  донордың 

жарық  квантын  жұтып,  электронның  жоғары 

молекулалық  орбитальдан  тӛменгі  бос 

молекулалық орбитальге ауысуы нәтижесінде 

қозған 

D* 

бӛлшектердің 

түзілуінен 

басталады.  Қозбаған  А  молекулалар  бар 

болғандықтан  электрон  D*  донордан  А 

акцепторға 

беріледі. 

Нәтижесінде 

D* 

донродың  тотығу  процесі  жүзеге  асады. 

Мұндай  процесс  электронның  донордан 

349 

 

окисление 

донора 

D*,  энергетически 

невозможное  для  обычного  термического 

(темнового) переноса электрона от донора к 

акцептору.  При  переносе  электрона  между 

D*  и  А  образуются  радикальные  продукты 

D

+

*  (D*)  в  том  случае,  если  в  качестве 

донора  выступает  нейтральная  молекула  D 

или 

анион 

D

-

, 

либо 

продукты 

нерадикальной 

природы 

D(D

+

), 

если 

донором  электрона  является  анион-радикал 

D* 

или 

нейтральный 

радикал 

D. 

Соответственно, 

радикальные 

или 

нерадикальные  продукты  образуются  из 

акцептора  (подробнее  см.  Фотоперенос 

электрона). 

акцепторға  қарапайым  жылулық  ауысуы 

кезінде энергиялық тұрғыдан мүмкін емес.   

Егер  донор  ретінде  D  бейтарап  молекуласы 

немесе  D

-

  анионы  болса  немесе  табиғаты 

жағынан  радикал  емес  ӛнімдер  D(D

+

)  болса 

электронның 

D* 

және 

А 

арасында 

тасымалдануы  кезінде  D

+

*  радикал  ӛнімдері 

туындайды.  

Сәйкесінше,  радикал  немесе  радикал  емес 

ӛнімдер  акцепторлардан  пайда  болады 

(анығырақ 

электронның 

фототасымалдануын қараңыз). 

Фотополимеризация 

Photopolymerization 

Образование  полимеров  под  действием 

света,  главным  образом,  УФ  излучения. 

Осуществляется  в  газовой,  жидкой  и 

твердой  фазах.  К  фотополимеризации 

относят  все  фотохимические  процессы 

получения  полимеров  независимо  от  их 

механизма – цепного (полимеризационного) 

или  ступенчатого  (поликонденсационного). 

В  первом  случае  свет  служит  только  для 

инициирования  реакции,  которая  далее 

развивается как обычная полимеризация. Во 

втором  случае  каждый  акт  роста  цепи 

требует поглощения кванта света. 

При  цепной  фотополимеризации  излучение 

может 

поглощаться 

непосредственно 

молекулами мономера или инициатора, или 

молекулами 

других 

веществ 

(так 

называкмых  сенсибилизаторов),  которые 

затем  передают  молекулам  мономера  или 

инициатора энергию излучения. 

При  сенсибилизации  фотополимеризации  в 

газовой фазе используют пары Hg, кетоны и 

др.,  в  жидкой  фазе  –  различные  красители, 

многоядерные  ароматические  соединения, 

карбонилы, 

соли 

и 

ацетилацетонаты 

переходных металлов и др. 

В  промышленности  применяют  главным 

образом 

цепную 

фотополимеризацию, 

например, 

для 

получения 

оптически 

однородных  изделий  (органическое  стекло 

и  др.)  и  некоторых  стереорегулярных 

полимеров.  Получают  распространение 

фотополимеризация  в  тонких  пленках  для 

отверждения 

покрытий, 

изготовления 

печатных  форм,  микросхем  и  т.  п.  В 

Фотополимерлену  

Photopolymerization 

Полимердің 

жарықтың, 

негізінен 

УК 

сәуленің,  әсерінен    пайда  болуы.  Газ,  сұйық 

және  қатты  фазаларда  жүзеге  асырылады. 

Фотополимерлеуге 

алу 

механизмдеріне 

тәуелсіз,  тізбекті  (полимерлеу)  немесе 

баспалдақты  (жартылай  конденсацияланған), 

полимерлер  алудың  барлық,  фотохимиялық 

процестері  жатады.  Бірінші  жағдайда  жарық 

ары  қарай  қарапайым  полимерлену  тәрізді 

дамитын    реакцияны  қоздыру  үшін  қажет. 

Екінші  жағдайда  тізбектің  әрбір  ӛсу  актісі 

жарық квантын жұтуды қажет етеді.  

    Тізбекті  фотополимерлену  кезінде    сәуле 

мономер  немесе  қоздырғыш  молекуласымен 

немесе  кейіннен    сәуле  энергиясын  мономер 

немесе  қоздырғыш  молекуласына  беретін 

басқа 

заттың 

молекуласымен 

(сенсибилизаторлармен)  жұтылуы  мүмкін. 

Фотополимердің  сенсибилизациясы  кезінде  

газ фазасында Hg, кетондар және т.б. булары 

қолданылады,  сұйық  фазада  -  әр  түрлі 

бояғыш  заттар,  кӛп  ядролы  ароматты 

қосылыстар,  карбонилдер,  тұздар  және 

ауыспалы  металдардың  ацетилацетонаты 

және т.б. қолданылады.  

Ӛнеркәсіпте 

негізінен 

тізбекті 

фотополимерлеу 

қолданады, 

мысалы, 

біртекті оптикалық бұйымдарды (оргникалық 

шыныны 

және 

т.б.) 

және 

бірқатар 

стереожүйелі 

полимерлерді 

алу 

үшін 

қолданылады. 

 

Жұқа 

пленкаларда 

фотополимеризацияның 

таралуын 

баспа 

формаларын,  микросхемаларды  жасау  үшін 

алады. 

Зертханаларда 

іс 

жүзінде 

фотополимеризациялауды 

радикал 

350 

 

лабораторной 

практике 

фотополимеризацию 

используют 

для 

определения 

элементарных 

констант 

скорости радикальных реакций. 

реакциялардың 

жылдамдықтарының 

элементар  тұрақтыларын  анықтау  үшін 

пайдаланады. 

Фотолюминесценция 

- 

см. 

ст. 

люминесценция. 

Фотолюминесценция 

- 

қара. 

ст. 

люминесценция. 

Фотоперенос протона 

Phototransfer of proton 

Одна 

из 

элементарных 

реакций 

фотохимических 

(см. 

ст. 

реакция), 

заключающаяся  в  передаче  протона  от 

молекулы-донора  к  молекуле-акцептору, 

причем  одна  из  этих  молекул  находится  в 

электронно-возбужденном 

состоянии 

(синглетном и триплетном). 

 Протонның фототасымалдануы 

Phototransfer of proton 

Екі  молекуланың  біреуі  электронды-қозған 

күйде  (синглетті  және  триплетті)  болатын, 

протонды 

молекула-донордан 

молекула-

акцепторға  беруге  негізделетін,  элементарлы 

фотохимиялық  реакциялардың  (қара.  ст. 

реакция) бірі.  

Фотоперенос электрона 

Phototransfer of electron 

Перенос электрона  под действием света от 

молекулы  –  донора  к  молекулы  акцептору; 

одна 

из 

наиболее 

распространенных 

реакций фотохимических (см. ст. реакция). 

 Электронның тасымалдануы 

Phototransfer of electron 

Жарықтың  әсерінен  электронның  молекула-

донорынан 

молекула-акцепторға 

тасымалдануы; 

фотохимиялық 

реакциялардың  (қара.  ст.  реакция)  ішіндегі 

кең таралғаны. 

Фотополимеризация 

– 

см. 

ст.  

полимеризация 

 

Фотополимеризация 

– 

қара. 

ст. 

полимеризация 

Фотопроводимость - см. ст. проводимость 

электрическая. 

Фотоӛткізгіштік  -  қара  ст.  электрлі 

өткізгіштік. 

Фоторезисты 

Photoresist 

lacquer, 

photoemulsion, 

photoresist, photo resist, resist 

Светочувствительные 

материалы, 

применяемые  в  фотолитографии  для 

формирования 

рельефного 

покрытия 

заданной 

конфигурации 

и 

защиты 

нижележащей  поверхности  от  воздействия 

травителей. 

Фоторезисты 

обычно 

представляют 

собой 

композиции 

из 

светочувствительных 

органических 

веществ, 

пленкообразователей 

(фенол-

формальдегидные 

и 

др. 

смолы), 

органических растворителей и специальных  

добавок. 

Характеризуются 

светочувствительностью,  контрастностью, 

разрешающей 

способностью 

и 

теплостойкостью.  Область  спектральной 

чувствительности 

фоторезистов 

определяется 

наличием 

в 

светочувствительных 

органических 

веществах  хромофорных  групп,  способных 

к 

фотохимическим 

превращениям, 

и 

областью пропускания пленкообразователя. 

По 

спектральной 

чувствительности 

Фоторезистер 

Photoresist  lacquer,  photoemulsion,  photoresist, 

photo resist, resist 

Фотолитографияда 

берілген 

конфигурациядағы  және  астыңғы  бетті  әр 

түрлі  ӛңдегіштерден  сақтауға  арналған 

бедерлі 

жабынды 

қалыптастыру 

үшін 

қолданылатын    жарық  сезгіш  материал. 

Фоторезистер 

әдетте 

жарық 

сезгіш  

органикалық 

заттардан, 

қабыршық 

түзгіштерден  (фенолформальдегидті  және 

басқа 

да 

шайырлардан) 

органикалық 

ерітінділерден  және  арнайы  қоспалардың 

композициясынан 

тұрады. 

Жарық 

сезгіштігімен, 

контрастілігімен, 

айыру 

қабілетімен  және  жылуға  тӛзімділігімен 

ерекшеленеді.  Фоторезистердің  спектрлік 

сезгіштігі 

жарық 

сезгіш 

органикалық 

заттарда  фотохимиялық  түрленулерге  бейім 

хромофорлы  топтардың  болуымен  және 

қабыршық  түзгіште  ӛткізу  облысымен 

анықталады.  

Спектрлік  сезімталдығына  қарай  спектрдің 

кӛріну  облысына,  жақын  (320-450нм)  және 

алыс  (180-320нм)  УК  сәулелер  облысына 

351 

 

различают Ф. для видимой области спектра, 

ближнего (320-450 нм) и дальнего (180-320 

нм) 

УФ 

излучения, 

по 

характеру 

взаимодействия  с  излучением  делят  на 

позитивные  и  негативные.  Фоторезисты 

могут 

быть 

жидкими, 

сухими 

и 

пленочными.  Жидкие  содержат  60-90%  по 

массе 

органического 

растворителя, 

пленочные  -  менее  20%,  сухие  обычно 

состоят  только  из  светочувствительного 

вещества.  Жидкие  фоторезисты  наносят  на 

подложку  (см.  Технология  планарная) 

центрифугированием, 

напылением 

или 

накаткой валиком, сухие   — напылением и 

возгонкой,  пленочные  —    накаткой. 

Последние имеют вид пленки, защищенной 

с 

двух 

сторон 

тонким 

слоем 

светопроницаемого  полимера,  например, 

полиэтилена.  В  зависимости  от  метода 

нанесения  формируют  слои  толщиной  0,1-

10  нм;  наиболее    тонкие  слои  (0,3-3,0  мкм) 

формируют 

из 

жидких 

фоторезистов 

методом центрифугирования. 

арналған  фоторезистер  деп,  ал  сәулелермен 

әсерлесуі  бойынша  позитивті  және  негативті 

деп бӛледі. Фоторезистер сұйық, құрғақ және 

қабыршақты 

болуы 

мүмкін. 

Сұйық 

фоторезистер 

массасының 

60-90%, 

қабыршықтының  -    20%  органикалық 

ерітіндіден,  ал  құрғақ  фоторезистер  тек  

жарық  сезгіш  заттардан  тұрады.  Сұйық 

фоторезисторларды  бетке  центрифугалау 

немесе  тозаңдау,  т.б.  арқылы,  құрғақтарын 

тозаңдау,  пленка  тәрізділерді  орау  арқылы 

жағады.  Соңғылары  екі  жағынан  жарық 

ӛткізетін 

полимермен, 

мысалы 

полиэтиленмен, қапталған пленкадан тұрады. 

Жағу әдісіне байланысты қалыңдықтары 0,1-

10 нм қабаттар түзіледі, анағұрлым жұқа (0,3-

3,0  мкм)  қабаттар  центрифугирлау  арқылы 

сұйық фоторезисторлардан алынады. 

жүктеу/скачать 4,15 Mb.

Достарыңызбен бөлісу: