Реферат №4 боөЖ. Фотоэлектронды спектрлер. Рфс-да химиялық шегінулер. Рфс-нің жоғарғы нүктесінің құрылымы
жүктеу/скачать 270,94 Kb.
|
- Бұл бет үшін навигация:
- Рентгендік қозу көзі
- Энергия анализаторлары
|
Ультра жоғары вакуумдық жүйелер Ультра жоғары вакуум жүйелер рентгендік фотоэлектронды спектрометрия үшін екі негізгі себеп бойынша қажет. Біріншіден, XPS беттік талдау әдісі болып табылады және талдау камерасындағы вакуум нашар болса, үлгінің таза беті өте қысқа уақыт ішінде вакуумдағы қалдық газ молекулаларымен жабылуы мүмкін. Екіншіден, фотоэлектрондардың сигналы мен энергиясы өте әлсіз болғандықтан, вакуум деңгейі нашар болса, фотоэлектрондар вакуумдағы қалдық газ молекулаларымен оңай соқтығысып, энергияны жоғалтады, ақырында детекторға жете алмайды. Рентгендік фотоэлектрондық спектрометрде талдау камерасының вакуумы 10-8 Па жетуі үшін әдетте үш сатылы вакуумдық сорғы жүйесі қолданылады. Рентгендік қозу көзі Атомдардың ішкі қабатындағы электрондардың байланыс энергиясы жоғары және оларды жою үшін жоғары энергиялық фотондар қажет. Анодтық материалдар ретінде магний немесе алюминийі бар рентгендік көздерден алынған фотон энергиясы сәйкесінше 1253.6эВ және 1486.6эВ, ал бұл диапазондағы фотон энергиясы атомдық массасы аз атомдардан 1s электрондарды жеңу үшін жеткілікті. Бұл аспаптың рентгендік көзі Al Ka болып табылады және монохроматизациядан кейін сызықтың енін 0.8эВ-тен 0.2эВ-қа дейін азайтуға болады, ал рентгендегі адасқан сызықтар мен қатты сәулеленуді жоюға болады. Ион көзі XPS жүйесінде ион көзінің болуының мақсаты үлгі бетін тазалау немесе үлгі бетін сандық түрде тазарту болып табылады. XPS спектрометрлерінде тұрақты және сканерлеуші көздерге бөлуге болатын Ar-ион көздері жиі пайдаланылады. Бекітілген Ar-ион көздері тек бетті тазалау үшін пайдаланылады, себебі олар сканерлеу арқылы аршуды орындай алмайды және үлгі бетіндегі оюдың біркелкілігі нашар. Терең талдау үшін сканерлеуші Ar-ион көзін пайдалану керек. Энергия анализаторлары Рентгендік фотоэлектрондар үшін энергия анализаторларының екі түрі бар, жарты шарлық энергия анализаторлары және бөшкелік айна энергия анализаторлары. Жарты шар тәрізді энергия анализаторы көбінесе XPS спектрометрлерінде фотоэлектрондарды өткізудің жоғары тиімділігіне және жақсы энергия ажыратымдылығына байланысты қолданылады. Бөшке айнасының энергия анализаторы негізінен тербелмелі электрондардың беріліс тиімділігі жоғары болғандықтан рентгендік спектрометрде қолданылады. Кейбір көп функциялы электронды спектрометрлер үшін энергия анализаторын таңдау негізінен XPS және AES ортақтығы мен фокусталығына байланысты талдау әдісіне негізделген. Жарты шар тәрізді энергия анализаторы негізінен XPS үшін пайдаланылады, ал картридж түріндегі энергия анализаторы негізінен ЕҚЫҰ үшін қолданылады. жүктеу/скачать 270,94 Kb. Достарыңызбен бөлісу:
|