Компьютерлік жүйе Рентгендік фотоэлектрондық спектрометрдің мәліметтерін алу және басқару күрделілігіне байланысты спектрлерді компьютерлік өңдеу де маңызды бөлік болып табылады, мысалы, элементтерді автоматты түрде анықтау
Рентгендік фотоэлектронды спектроскопияны қалай жүргізуге болады? Материалдың бетін талдаудың маңызды құралы ретінде рентгендік фотоэлектронды спектрометр материал бетінің элементтік химиялық ақпаратын талдау үшін ғана емес, сонымен қатар микроаумақтарды және тереңдіктің таралуын талдау үшін және т.б. үшін кеңінен қолданылады. Рентген сәулелерін сынау көлемі Фотоэлектрондық спектрометр әдетте үлкен болады, сондықтан рентгендік фотоэлектрондық спектрометрге күнделікті қызмет көрсету вакуумдық жүйемен, айналымдағы су жүйесімен, газ тізбегі жүйесімен және т.б.
