Реферат тақырыбы: «Материалдарды электронды сәулемен өңдеу»
§ 1.3. Электрондық сәулені басқару
жүктеу/скачать 54,34 Kb.
|
- Бұл бет үшін навигация:
- § 1.4. Вакуум электронды сәулелік технологияның қажетті факторы ретінде
| § 1.3. Электрондық сәулені басқару
Электрондық сәулені электросталь арқылы басқаруға болады. магнит өрістерін таңдайды. Іс жүзінде бұл жиірек кездеседі. фокустауға және сәуле қозғалысын басқаруға арналған титеит жүйелері. Электродинамика заңы бойынша магнит өрісінде қозғалатын электрон күшке ұшырайды F= Bu sin a, (IV.5) мұндағы В – магниттік индукция; o – электронның жылдамдығы; • - электронның жылдамдық векторы мен өрістің магниттік күш сызығы арасындағы бұрыш. Осы күштің әсерінен электрон магнит өрісінде күш сызықтарына перпендикуляр шеңбер бойымен қозғалады. Магнит өрісі мен инерциялық күштердің әсерінен электронның траекториясы спиральға ұқсайды, оның радиусы электронның бастапқы жылдамдығына және магнит өрісінің кернеулігіне байланысты. Электрондық сәуленің осі бойымен арнайы магниттік жүйенің – магниттік линзаның – белгілі бір пішіндегі магнит өрісін құру арқылы бір нүктеде (фокустау) электрон траекторияларының жинақталуын қамтамасыз етуге болады. Бұл нүктенің орнын өңделетін бетке тігінен өзгерту арқылы дайындамадағы энергия концентрациясын өзгертуге болады, бұл технологиялық тұрғыдан айтарлықтай қызығушылық тудырады. Электрондық сәулені өңделген бет бойымен жылжыту үшін әдетте оның ауытқу жүйесімен құрылған көлденең көлденең магнит өрістерімен әрекеттесуі қолданылады. Электрондардың массасы аз болғандықтан, траекторияның кез келген пішіні бар жылдамдықтың кең диапазонында өңделген беттің үстінен электронды сәулені жылжыту өте оңай. § 1.4. Вакуум электронды сәулелік технологияның қажетті факторы ретінде Электрондық сәулені тек вакуумда алуға болады, өйткені атмосфералық газ молекулаларымен соқтығысқандықтан, электрондар оларға энергия береді және сәуле «шашырады». Газ-кинетикалық теорияға сәйкес газдағы электронның орташа еркін жолы өрнек арқылы беріледі 1=4V2 (ano2), (IV.6) мұндағы n – электронның жолындағы газдың молярлық концентрациясы; Oa – атомның тиімді иондану қимасының өлшемі «(молекулалар)өтетін электрон арқылы газ (ol мәні электронды сәуленің энергиясына байланысты, оның мәні 5 ... 200 эВ энергиясы бар электрондар үшін максималды). Ауа үшін (T = 293 К кезінде) қысымға байланысты р электронның еркін жолының орташа ұзындығы 2: P. Pa 105 133 1.33 3.5.10-7 2.66.10-4 2.66-2 1.33.10-2 2.66 Осылайша, өнеркәсіптік қондырғылардың өлшемдеріне байланысты рұқсат етілген максималды қысым мәні шамамен 10-2 Па құрайды. Іс жүзінде олар осы құндылыққа жеткізуге тырысады 10-3 ..10-5 Па, өйткені электронды пистолеттегі ең нашар вакуум жағдайында электрондармен иондалған қалдық газ молекулаларының саны күрт артады және бұл анод пен катод арасындағы саңылаулардың бұзылуына әкелуі мүмкін. Кейде технологиялық мақсаттар үшін, мысалы, дәнекерлеу үшін, электронды сәуле вакуумнан жоғары қысымды аймаққа шығарылады. Бұл аймақтағы электрондардың жолы өте аз болуы керек. Бұл жағдайда мылтық дәнекерленген дайындаманың үстіне тікелей қозғалады, ал атмосферадағы сәуленің жолы (жұмыс камерасының сыртында) 0,1 ... 0,3 мм. Жеделдеткіш кернеу 150 ... 200 кВ, ал қорғаныс газы (гелий немесе аргон) тапанша мен дәнекерленген бет арасындағы аймаққа беріледі. жүктеу/скачать 54,34 Kb. Достарыңызбен бөлісу:
|