2.7. Термиялық өңдеу Электронды сәулелік термиялық өңдеу процесс ретінде пайда болды. өңделетін учаскелерді жергілікті жылытуды жүзеге асыруды қалайтын. иілгіштігін арттыру және бетін адсорбцияланған газдардан тазарту үшін өңделетін қаңылтыр материалдарын вакуумда күйдіру үшін ма-терналдың (негізінен қатайту) наи құрылымдық түрлендірулерін алу мақсатында бетінің ков.
Электронды сәулелік өңдеу арқылы балқытусыз қатаю салыстырмалы түрде сирек қолданылады, өйткені салқындату жылдамдығын арттыратын арнайы орталарды (су, май) қолдану. вакуумда қиын. Алайда, сөндіру аймағы жеткілікті аз болуы керек болған жағдайда, жаңа металға жылу таратудың қарқындылығы электронды сәулелік қыздыру аймағында сөндіру құрылымдарын қалыптастыру үшін жеткілікті. Қатаю, атап айтқанда,…
3-тарау. ЭЛЕКТРОНДЫҚ СӘУЛЕМЕН ӨҢДЕУГЕ АРНАЛҒАН ЖАБДЫҚ § 3.1. Жалпы талаптар Электронды сәулемен өңдеудің кең технологиялық мүмкіндіктері өнеркәсіпте балқытуға, дәнекерлеуге, булануға, қайта өңдеуге арналған бірқатар мамандандырылған құрылғылардың пайда болуына әкелді. Оның параметрлері бойынша бұл электронды сәулелік жабдық әр түрлі болуы мүмкін. Сонымен қатар, барлық электронды сәулелік қондырғыларда функционалды мақсаты мен күн принциптеріне ұқсас жалпы жүйелер бар. Әрбір қондырғы екі кешеннен тұрады: 1) Электр-механикалық кешен электрондық сәулені қалыптастыруға, оның қарқындылығы мен жай-күйін басқаруға тікелей қатысы жоқ барлық операцияларды орындауға арналған; 2) энергетикалық кешенге электрондар ағынын қалыптастыруға және оның параметрлерін басқаруға арналған аппаратура кіреді және салыстырмалы түрде өңделеді дайындамалар.
3.2. Электромеханикалық кешен Электромеханикалық кешеннің құрамына жұмыс камерасы, вакуумдық жүйе, дайындаманы орналастыру және жылжыту жүйелері, процестің барысын бақылау жүйелері, операторды рентген сәулесінен қорғау жүйелері және бірқатар вето-қуатты құрылғылар мен механизмдер кіреді. Технологиялық процестің түріне байланысты қондырғы тізімделген жүйелер мен құрылғылардың бір бөлігін ғана қамтуы мүмкін, ал олардың функционалды мақсаты бірдей болған кезде бұл жүйелердің конструктивті орындалуы тіпті бір мақсаттағы қондырғылар үшін де өзгеруі мүмкін. Бұл, ең алдымен, электронды-сәулелік техниканы үздіксіз жетілдірумен, оны қолдану аясын кеңейтумен және осы салада жұмыс істейтін көптеген ұйымдармен байланысты.
Вакуумдық камера электронды сәулелік қондырғының орналастыра алмайтын үлкен беттер. толығымен жұмыс кезінде олар қос сильфон қабырғалары түрінде жасалған, олардың арасындағы кеңістіктен тұрақты деп аталатын қадамдық шараны пайдаланбайды. бірақ ауа сорылады.
Pac. IV.15
Каменің "қадам" процесі. ры ізден тұрады.
камераның қабырғаларын сорып алу үшін кідіріспен жылжыту.Вакуумдық жүйенің негізгі функциясы-жұмыс көлемінде және қажетті вакуумның электронды зеңбірегінде біреуін құру және қолдау.
Технологиялық процестің түріне байланысты электронды сәуленің өңделетін өніммен өзара әрекеттесу аймағындағы қысым әдетте 10-1 құрайды.. 10-1 Па (дәнекерлеу кезінде кейде электронды сәуле атмосфераға шығарылады). Электрондардан жеделдетілген электронды зеңбіректе вакуум 10-3 беттік белсенді заттан кем болмауы керек, әйтпесе электродтар арасында үзіліс болуы мүмкін.
Вакуумдық камера электронды шұңқырлардан айырмашылығы мүлдем герметикалық бола алмайтындығын, сондай-ақ көптеген технологиялық процестер (балқыту, дәнекерлеу) үлкен га бөлінуімен байланысты екенін ескере отырып, вакуумдық жүйе бүкіл өңдеу процесінде жұмыс істеуі керек, айдау… Диффузиялық сорғылар жұмыс істеген кезде жұмыс сұйықтықтарының (майлардың) буы сорылатын көлемге түседі. Егер технологиялық жағдайларға сәйкес Май буларының болуына жол берілмесе, басқа типтегі сорғылар қолданылады (сорбциялық, магниторазрядты, жылқы, тур-бомолекулалық).
Вакуумның мәнін бақылау әдетте бүкіл технологиялық процесте жүзеге асырылады, ал қазіргі заманғы өлшеу жабдықтары вакуумның уақыт бойынша өзгеруін жазуға мүмкіндік береді.
Дайындамаларды орналастыру және жылжыту жүйелерінің дизайны операция түрімен анықталады. Нанқолданылатын қарапайым құрылғылар электронды сәулелік балқыту (балқытуды тарту); ең күрделі жүйелер өлшемді өңдеуде қолданылады-олар 5-ке дейін қамтамасыз етеді..
. Әр түрлі қозғалыстардың 6 түрі
таным қателігімен 1 ...5 мкм. Электронды сәулемен өңдеу кезінде құрал мен өнім арасында механикалық байланыс болмайды, сондықтан қозғалыс жүйелерінің беріктігі мен қаттылығына қойылатын талаптар Металл кескіш машиналардың механикалық жүйелеріне қарағанда төмен.
Электрондық сәулелену технологиясының процестерін тікелей визуалды бақылау өңделетін өнімнің вакуумда болуымен, сондай-ақ өңдеу аймағында рентген сәулелерінің пайда болуымен қиындайды. Қазіргі уақытта бақылау терезелер…
Бұл жүйелер мүмкін камералық зеңбіректің сыртына орнатылады) немесе ендірме. электрондық дизайнға ену зеңбіректер (әдетте не үшін- бинокулярлық микроскоп қолданылады).Соңғы уақытта кескіннің сапалы берілуін қамтамасыз ететін теледидарлық бақылау жүйелері таратылды. мен қашықтыққа үйлендім және бақылау мүмкіндігін бердім. екеуі де. қиын жерде орналасқан ектом. Телевизиялық па-столинаны спектрдің көрінетін және инфрақызыл бөліктерінде жасауға болады-бұл, әсіресе, егер процесс қыздыру туралы болса, ыңғайлы. жұмыс істейтін бұйым. Теледидар жүйелерін қолданған кезде операторды рентген сәулесінен жақсы қорғауға болады.