Казахского государственного женского педагогического университета



Pdf көрінісі
бет122/423
Дата07.01.2022
өлшемі6,41 Mb.
#20043
1   ...   118   119   120   121   122   123   124   125   ...   423
Список литературы 
 
1. Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции. Под ред. Дж. Поута. М: Мир, 1982. – 576 
с. 
2. Алимов Д.Т., Тюгай В.К., Хабибулаев П.К. //Дан.Уз.ССР, 1985, №4. с. 23-28 
3. Алимов Д.Т., Тюгай В.К., Хабибулаев П.К. и др. // ЖФХ 1987. т. 61. № 11 с. 3065-3067 
4. Карачинов В.А. //ФТП.1997. т.31. № 1 с. 53-55 
5. Сафаралиев Г.К., Эмиров Ю.Н., Курбатов М.К., Биланов Б.А. / ФТП. 2000 т. 34. вып.8. с. 
929-931  
6. Luis A, Mazgues, Lourdes Рelaz, Maria Aboy, Juave Bazbolla // Nud Jnstrum. Methods Phys. 
Res. b.2004.V. 216. P.57-61 


Қазақ мемлекеттік қыздар педагогикалық университетінің Хабаршысы № 1 (77), 2019 
 
85 
 
7. Юхневич А.В., Лосик О.П., Кузнецов В.А., Паненко А.В., Поверхность. 2001. № 8 (95). 
8.  Кошеров  Т.С.,  Жумабекова  Г.Е.  Генерация  выделения  кислорода  в  кремнии  при 
термоотжиге // Вестник КазНИТУ 2016, № 4 с.313-318 
9.  Шапавалов  В.П.,  Грядун  В.И.,  Королев  А.Е.  Дефектообразование  в  поверхностной 
области кремния при его термическом окислении. // ФТП -1995, т.29. вып II. с.1995-2001 
10.  Двуреченский  А.В.,  Качурин  Г.А.,  Нидаев  Е.В.,  Смирнов  А.С.  Импульсный  отжиг 
полупроводниковых материалов. М: Наука.1982. - с.208 
11. Корнилов  В.М.,  Лачинов  А.Н.  К  вопросу  о  модификации  поверхности  кремния  при  ее 
исследовании  методом сканирующей  туннельной  микроскопии.  ФТП.  2003,  т.37,  вып.3,  с. 323-
327. 
12. С. Зи. Физика полупроводниковых приборов. М: Мир,1984. т.1,2. 
13. Кошеров  Т.С.,  Ермолаев  В.Н.,  Мэте  А.Н.  Модификация  поверхности  кремния  при 
температурном воздействии // Сб.трудов межд. конференции ―Инженерное образование и наука 
в 21 веке‖ - Алматы, КазНИТУ им. К.И. Сатпаева, 2014, т. 2, с. 487-490. 
 
 


Достарыңызбен бөлісу:
1   ...   118   119   120   121   122   123   124   125   ...   423




©emirsaba.org 2024
әкімшілігінің қараңыз

    Басты бет