средний (<l>
≤d), высокий ( <l>>d) и сверхвысокий (<l>>> d) вакуум. Газ в состоянии высокого
вакуума называется ультраразреженным. Вопросы создания вакуума имеют большое значение в технике, так как,
например, во многих современных электронных приборах используются
электронные пучки, формирование которых возможно лишь в условиях
вакуума. Для получения различных степеней разрежения применяются
вакуумные насосы. В настоящее время применяются вакуумные насосы,
позволяющие получить предварительное разрежение (форвакуум) до
≈0,13 Па, а также вакуумные насосы и лабораторные приспособления,
позволяющие получить давление до 13,3 мкПа—1,ЗЗпПа (10
-7
— 10
-14
мм
рт. ст.).
Принцип работы форвакуумного насоса представлен на рис. 72. Внутри
цилиндрической полости корпуса вращается эксцентрично насаженный
цилиндр. Две лопасти 1 и 1', вставленные в разрез цилиндра и раздвигаемые пружиной 2, разделяют
пространство между цилиндром и стенкой полости на две части. Газ из откачиваемого сосуда
поступает в область
3. по мере поворачивания цилиндра лопасть 1 отходит, пространство 3 увеличивается и газ
засасывается через трубку
4. При дальнейшем вращении лопасть 1' отключает пространство 3 от трубки
4 и начинает вытеснять газ через клапан
5 наружу. Весь процесс непрерывно повторяется.
Для получения высокого вакуума применяются диффузионные насосы (рабочее вещество— ртуть
или масло), которые не способны откачивать газ из сосудов начиная с атмосферного давления, но
способны создавать добавочную разность давлений, поэтому их употребляют вместе с
форвакуумными
насосами.
Рассмотрим
схему
действия
диффузионного насоса (рис. 73). В колбе ртуть нагревается, пары
ртути, поднимаясь по трубке 1, вырываются из сопла 2 с большой
скоростью, увлекая за собой молекулы газа из откачиваемого сосуда
(в нем создан предварительный вакуум).
Эти пары, попадая затем в «водяную рубашку», конденсируются и
стекают обратно в резервуар, а захваченный газ выходит в
пространство (через трубку 3), в котором уже создан форвакуум. Если
применять многоступенчатые насосы (несколько сопл расположены
последовательно), то реально при хороших уплотнениях можно с
помощью них получить разрежение до 10
-7
мм рт. ст.
Для дальнейшего понижения давления применяются так называемые
«ловушки». Между диффузионным насосом и откачиваемым
объектом располагают специально изогнутое колено (1 или 2) соединительной трубки (ловушку), которую охлаждают жидким
азотом (рис.74). При такой температуре пары ртути (масла) вымораживаются и давление в
откачиваемом сосуде понижается приблизительно на 1 — 2 порядка. Описанные ловушки называют