Заключение Установлено, что образование оксидной пленки на поверхности образца достигает своего
наибольшего значения в первые 60 минут термоотжига. Непрерывное лазерное воздействие на
предварительно термоотожженный кремний приводит к увеличению образования оксидного
слоя. Результаты исследования показали, что при термоотжиге и последующем лазерном
воздействии на поверхность кремния, что способствует гомогенизации поверхности и генерации
дефектов с другой стороны. При последующем лазерном воздействии, наряду с образованием
собственных диоксидов-кремния, появляются его оксиды.
