КРЕМНИЙ БЕТІНІҢ ТОТЫҒУ ПРОЦЕСТЕРІНЕ ТЕРМИЯЛЫҚ ӚҢДЕУ МЕН ЛАЗЕРЛІК ӘСЕРДІҢ ӘСЕРІ Т.С. Кошеров 1 , Г.И. Жанбекова 2 1
ф-м. ғ. д., профессор,
2
Физика мамандығының докторанты, 1
М. Тынышпаев атындағы Қазақ кӛлік және коммуникациялар академиясы, Алматы қ., Қазақстан,
2
Абай атындағы Қазақ ҧлттық педагогикалық университеті, Алматы қ., Қазақстан,
email:
gulnura08@list.ru
Кремний пластиналарының бетін тҥрлі температура мен кҥйдіру уақытында және лазерлік
сәуленің ҥздіксіз әсер етуі кезінде оның оксидтерінің пайда болу процестері зерттелді. Кремний тектес
материалдарды ӛңдеудің ең тиімді әдістерінің бірі – беттік қабаттарды лазерлік кҥйдіру болып табылады.
Ӛйткені - мҧндай әдістердің артықшылығы атмосфералық жағдайда кҥйдіру жҥргізу мҥмкіндігі болып
отыр. Лазерлік сәулеленудің жартылай ӛткізгіштерге әсері олардың кристалдық қҧрылымының,
электрфизикалық және оптикалық қасиеттерінің әртҥрлі ӛзгеруіне әкелуі мҥмкін. Ҥлгі бетінде оның
оксидтерінің пайда болатындығы байқалған. Ҥлгіні ҥздіксіз лазерлік сәулелену арқылы термокҥйдіру
тотығу процестеріне әсер етеді. Термокҥйдіру температурасы уақытының ҧлғаюымен, сондай – ақ лазерлік
сәулелендіру арқылы бақыланып отырған
2
SiO ӛсуі - тотығу жылдамдығы артуының салдары, ал оның
артуы
2
SiO ыдырауына және ӛнімдердің кезекті булануы оның кӛбеюіне байланысты болады. Tұйін сӛздер: оксидті түзілімдер, оттегі атомы, беттің морфологиясы, пирамидалы шығыңқылар
