Қазақ мемлекеттік қыздар педагогикалық университетінің Хабаршысы № 1 (77), 2019
85
7. Юхневич А.В., Лосик О.П., Кузнецов В.А., Паненко А.В., Поверхность. 2001. № 8 (95).
8. Кошеров Т.С., Жумабекова Г.Е. Генерация выделения кислорода в кремнии при
термоотжиге // Вестник КазНИТУ 2016, № 4 с.313-318
9. Шапавалов В.П., Грядун В.И., Королев А.Е. Дефектообразование в поверхностной
области кремния при его термическом окислении. // ФТП -1995, т.29. вып II. с.1995-2001
10. Двуреченский А.В., Качурин Г.А., Нидаев Е.В., Смирнов А.С. Импульсный отжиг
полупроводниковых материалов. М: Наука.1982. - с.208
11. Корнилов В.М., Лачинов А.Н. К
вопросу о модификации поверхности кремния при ее
исследовании
методом сканирующей туннельной микроскопии. ФТП. 2003, т.37, вып.3, с. 323-
327.
12. С. Зи. Физика полупроводниковых приборов. М: Мир,1984. т.1,2.
13. Кошеров Т.С., Ермолаев В.Н., Мэте А.Н. Модификация поверхности кремния при
температурном воздействии // Сб.трудов межд. конференции ―Инженерное образование и наука
в 21 веке‖ - Алматы, КазНИТУ им. К.И.
Сатпаева, 2014, т. 2, с. 487-490.
Достарыңызбен бөлісу: