Основные понятия и термины нанонауки и нанохимии
Просвечивающая электронная микроскопия
жүктеу/скачать 1,04 Mb. Pdf көрінісі
|
FHNM
| 3.3.1. Просвечивающая электронная микроскопия
Просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ) – разновид- ность электронной микроскопии, в которой для получения увеличен- 21 ного изображения или дифракционной картины используются элек- троны, прошедшие через образец. В просвечивающем электронном микроскопе электроны из источ- ника (например, электронной пушки) попадают на образец, рассеива- ются при прохождении сквозь него, фокусируются объективной лин- зой, проходят через увеличительную линзу и, наконец, создают иско- мое изображение (рис. 3.5 [2]). Изображение формируется вследствие того, что разные атомы рассеивают и поглощают быстрые электроны с разной эффективностью. Можно использовать специальные приемы обработки изображений, например, преобразование Фурье. Рис. 3.5. Схема прохождения лучей в традиционной просвечивающей электронной микроскопии (путь сверху) и сканирующей просвечи- вающей электронной микроскопии (путь снизу) Для исследований методом ПЭМ обычно используют образцы толщиной менее 500 нм (чаще менее 100-200 нм). Чем больше толщи- на образца, тем больше должно быть ускоряющее напряжение пучка электронов. Разрешение ПЭМ составляет десятки нанометров, однако сущест- вуют модификации метода, для которых разрешение может достигать 0.2 нм, а при применении специальных корректоров сферической аб- берации даже 0.05 нм. Эти разновидности часто рассматривают как самостоятельный метод исследования – просвечивающая электронная микроскопия высокого разрешения. 22 Электронный микроскоп с использованием дополнительных де- текторов позволяет реализовать различные методики микроанализа образцов – спектроскопию энергетических потерь электронов, рентге- носпектральный микроанализ и другие. жүктеу/скачать 1,04 Mb. Достарыңызбен бөлісу:
|