1.98-сурет. Электронды-оптикалық түтікше қондырғысы
_________________________________________________________
_
Магниттік фокустаушы линза
4 фокустық қашықтықты қадамсыз
реттеу жолымен, сәулені 0,5 диаметріне дейін және тіпті 0,01 мм-ге
дейін фокустау үшін, ал электрмагниттік-магниттік бұрғыш
құрылғы
5 электронды сәулені
өңделетін беттінің бойымен
жылжыту үшін арналған.
146
Электрондық сәулелерді өңдеудің өнімділігі басқа өңдеу
әдістеріне қарағанда әлдеқайда жоғары;
осылайша, қалыңдығы 0,5
мм, ені 0,005 мм және ұзындығы 3 мм саңылауды қалыңдығы 0,5
мм болат пластинада өңдеу үшін 29...30 с қажет. Қалыңдығы 1 мм-
ге дейінгі болат табақшалар электронды түрде 1200 мм/мин
жылдамдықпен кесіледі.
Электрондық сәуле дәл қазіргі кезде дәл аспап жасау
құрылысында диаметрі 0,001 мм дейін саңылауларды өңдейді,
сонымен қатар күрделі пішіндерді де фрезермен өңделеді.
Электрондық сәуле тантал, молибден, цирконий, ниобий, титан
және вольфрам тәрізді материалдардан
жасалған бөлшектерді,
сондай-ақ кейбір қорытпаларды дәнекерлеу үшін пайдаланылады.
Достарыңызбен бөлісу: