Ақылбеков Ә. Т., Кривобоков В. П., Даулетбекова А. К
жүктеу/скачать 4,15 Mb. Pdf көрінісі
|
Критерии подобия Similarity criterions Безразмерные числа, составленные из размерных физических параметров, определяющих рассматриваемые физические явления. Равенство всех однотипных критериев для двух физических явлений или систем – необходимое и достаточное условие их физического подобия.
Similarity criterions Қарастырылып отырған
физикалық құбылыстарды анықтаушы ӛлшемді
физикалық параметрлерден құралған ӛлшемсіз сандар. Барлық
біртипті критерилердің екі физикалық құбылыс немесе жүйелер үшін теңдігі – олардың физикалық ұқсастығы үшін қажетті және жеткілікті шарт.
Curie (Ci) Внесистемная единица активности изотопа в радиоактивном источнике. Обозначение Ки. Первоначально - активность 1 г изотопа радия-226. Кюри Curie (Ci) Радиобелсенді кӛздегі изотоп белсенділігінің жүйеден
тыс бірлігі. Белгіленуі Ки.
Бастапқыда – массасы 1г радий-226 изотобының белсенділігі.
Laser (аббревиатура слов англ.фразы Light Ampflication by Stimulated Emission of Radiation – «усиление света вынужденным излучением») Устройство, преобразующее различные виды энергии (электрическую, световую, химическую, тепловую и т.д.) в энергию электромагнитных волн
в видимом, ультрафиолетовом и инфракрасном диапозонах. Л Лазер Laser (Light Ampflication by Stimulated Emission of Radiation – «жарықты еріксіз сәулеленудің кӛмегімен күшейту» деген ағылшын сӛз тіркесі) Әр
түрлі энергияларды
(электрлік, жарықтық, химиялық, жылулық және т.б.) кӛрінетін, ультракүлгін және инфрақызыл аймақтардағы электромагниттік толқындардың энергиясына түрлендіретін қондырғы. лазер газовый / gas laser — лазер, активной средой которого является газ. газды лазер / gas laser – белсенді ортасы газ болатын лазер. лазер газодинамический /gas-dynamic laser — газовый лазер, в котором инверсия населѐнностей создаѐтся адиабатическим охлаждением газа, движущегося со сверхзвуковой скоростью. газды динамикалық лазер / gas-dynamic laser – орналасу инверсиясы газды
жоғарыдыбыстық жылдамдықпен қозғалатын адиабаталы суыту жолымен алынатын газды лазер.
— лазер, активной средой которого является жидкость.
белсенді ортасы сұйық болатын лазер. — лазер инжекционный / injection laser — твердотельный лазер, в котором для инверсии населѐнностей используется инжекция носителей заряда
через электронно-дырочный переход. — инжекциялық лазер / injection laser – орнықтыру инверсиясын алу
үшін
электронды-кемтіктік ауысу арқылы заряд тасымалдағыштарының инжекциясы қолданылатын қатты денелі лазер. лазер на свободных электронах / free electron laser— генератор электромагнитных волн, действие которого основано на излучении электронов, колеблющихся под действием электрических и/или магнитных полей,
и перемещающихся с релятивистской скоростью в направлении — еркін электронды лазер / free electron laser – релятивистік жылдамдықпен сәулеленуші толқынның таралу бағытында қозғалатын, электрлік және/немесе магниттік ӛрістердің әсерінен тербеліп тұрған электрондардың сәулеленуінен негізделген электромагниттік толқындардың генераторы. 115
распространения излучаемой волны. лазер химический / chemical laser — лазер со средой из смеси газов. Накачка осуществляется за энергии химической реакции между компонентами смеси. химиялық лазер / chemical laser – ортасы газ қоспалары болатын лазер. Толтыру қоспа компоненттері арасындағы химиялық реакция энергиясының есебінен жүзеге асады.
laser — лазер, в котором усиливающая свет среда возбуждается непосредственно продуктами ядерных реакций. ядролық толтырылатын лазер / nuclear- pumped laser – ортадағы күшеюші жарық тікелей ядролық реакциялардың ӛнімдерімен қоздырылатын лазер. Лампа дуговая пламенная Ars – plasma lamp, arc–plasma light Лампа работающая при
большой плотности тока, с угольными электродами, содержащими
примеси, которые, возгоняясь в пламени, влияют на излучение, изменяя его спектральное распределение и световую эффективность. Доғалы жалынды шам Ars – plasma lamp, arc–plasma light Тоқтың үлкен тығыздығында қоспаларды қамтитын
кӛмірлі
электродтармен, Сәулеленуге, оның жарықтық тиімділігі мен спектралды үлесітірілуін ӛзгерте отырып әсер ететін жалында үдей түсе, сәулеленуге оның жарықтық тиімділгі мен спектралды үлестірілуін ӛзгерте отырып, әсер ететін тоқтың үлкен тығыздығы кезінде шамның қоспаларды қамтитын
кӛмірлі электродтармен жұмысы. Леги́рование Alloying, doping, impurity doping process Дозированное введение в твѐрдое тело (обычно
в металлы, сплавы и
примесей или
структурных дефектов с целью изменения его физических свойств. Легирлеу Alloying, doping, impurity doping process Қатты денеге(
негізінен металлдарға, қорытпаларға және жартылай ӛткізгііштерге) оның
физикалық қасиеттерін ӛзгерту мақсатында қоспаларды немесе құрылымдық ақауларды мӛлшерлеп қосу.
implanted doping — синоним ионной имплантации. См. также имплантация. — иондық легирлеу / ion-implanted doping – иондық имплантацияның синонимі. Сон. қ. қараңыз имплантация.
Electron(ic) lens, lens Устройства, создающие магнитные и электрические поля для фокусировки электронных пучков, их формирования и получения электроннооптических изображений (аналогичные устройства для ионных пучков наз. ионными линзами).
Electron(ic) lens, lens Электрондық шоқтарды тоғыстыру үшін, оларды
қалыптастырып электронды оптикалық бейнелерін алу үшін магнитті және электр ӛрістерін тудыратын қондырғы (иондық шоқтарға арналған ұқсас
қондырғыларды - иондық линзалар деп атайды). Литогра́фия Lithographic printing, lithography Вид графической техники, связанный с работой на камне или на металлической пластине (цинк,
алюминий). Применительно к радиационным и плазменным технологиям – процесс формирования заданного рисунка на
Литография Lithographic printing, lithography Тастағы немесе металл пластинасындағы (мырыш, алюминий) жұмыспен байланысты графикалық техниканың түрі. Радиациялық және плазмалық технологияларда – жартылай ӛткізгіш пластинадағы берілген суреттің қалыптасу процесі. 116
поверхности полупроводниковой пластины. литография ионно-лучевая / ion beam lithography— в принципе, данный метод аналогичен электронно-лучевой литографии, но вместо электронных лучей используются направленные потоки ионов различных элементов. Методы формирования, фокусировки и отклонения луча ионов аналогичны соответствующим методам
для электронных пучков. Основным преимуществом является большая масса ионов, что позволяет избежать рассеяния ионов в слое резиста и сократить размытость краев элементов рисунка примерно на порядок по сравнению с электронно-лучевой литографией при минимальных размерах порядка 10 нм. Дополнительным преимуществом ионной литографии является возможность управляемого травления после прорисовки рисунка. — иондық-сәулелік литография / ion beam lithography – шын мәнінде, бұл әдіс электронды-сәулелік литография әдісіне
ұқсас, бірақ электрондық сәуленің орнына әртүрлі элементтердің бағытталған иондық ағындары қолданылады. Ион сәулелерін қалыптастыру, тоғыстау және ауытқыту әдістері электрон шоқтарына арналған сәйкес әдістерге ұқсас. Иондардың негізгі артықшылығы массаларының үлкендігінде, бұл резист
қабатында иондардың шашырауын болдырмауға және сурет
элементтері шеттерінің кӛмескілігін қысқартуға мүмкіндік береді.
Иондық литографияның қосымша артықшылығы сурет салып болғаннан кейін басқара отырып ӛңдеуге мүмкіндік береді. литография электронно-лучевая / electron beam lithography — предполагает, что резист экспонируется направленным сфокусированным электронным лучом. Длина волны де Бройля для электрона составляет тысячные доли нанометра. Следовательно, явление дифракции в данном случае можно не учитывать. Источники электронных пучков характеризуются достаточно высокой
яркостью, что позволяет сократить время экспонирования элементов микрорисунка до секунд, а также малым разбросом энергий электронов в пучке, благодаря чему удается уменьшить характерные искажения. Поскольку электроны обладают электрическим зарядом, они взаимодействуют с электрическими и магнитными полями,
что позволяет создавать электростатические и магнитные линзы, обеспечивающие фокусировку и центровку электронного луча, а также возможность сканирования по поверхности образца.
electron beam lithography – резист тоғысқан бағытталған электрондық сәулемен экспонирленеді деп болжанады. Электрон үшін де
Броиль толқын
ұзындығы нанометрдің мыңдық үлесін
құрайды. Сонықтан, бұл жағдайдағы дифракция құбылысын ескермеуге де болады. Электрон шоқтарының кӛздері жоғары жарықтығымен сипаталады, бұл микросуреттің элементтерін тасымалдауға, сонымен қатар шоқтағы электрон энергияларының шашырауын азайтуға мүмкіндік береді,
осыған байланысты бұрмалануды азайтуға болады. Электрондардың электр
заряды болғандықтан, олар электр және магнит ӛрістерімен әсерлеседі, бұл электрон сәулелерінің шоғырлануын және
орталықтануын қамтамасыз ететін, сонымен қатар үлгі бетін сканерлеуге мүмкіндік беретін, электростатикалық және магниттік линзалар жасауға мүмкіндік береді. — рентгенолитография / X-ray lithography — процесс с
использованием коротковолновых излучений, например низкоэнергетического рентгеновского излучения (1 - 10 кэВ) с длинами волн порядка 0,4 - 5нм. Позволяет значительно
қысқа толқынды сәулелер, мысалы толқын ұзындығы 0,4-5нм болатын тӛменгі
энергиялық рентген сәулелері қолданылатын процес. Жартылай ӛткізгіштік пластинаның бетінде қалыптасатын суреттің сапасына
117
уменьшить влияние дифракции на качество формируемого на
поверхности полупроводниковой пластины рисунка. дифракцияның әсерін азайтуға мүмкіндік береді. фотолитография / photolithography — предполагает формирование микрорисунка посредством засветки тонкого слоя
фоторезиста, нанесенного на поверхность пластины, при помощи направленных пучков фотонов
в ультрафиолетовой области спектра. Основным недостатком данного метода является сравнительно большая длина волны фотонов (0,2 - 0,3 мкм),
не позволяющая формировать элементы микрорисунка с размерами менее 1 мкм вследствие дифракции.
photolithography – спектрдің ультракүлгін аумағында бағытталған фотон шоқтарының кӛмегімен пластинаның бетіне жағылған фоторезистік қабатында микросуреттің қалыптасуы. Бұл әдістің ең негізгі кемшілігі фотон толқын ұзындығының үлкендігі (0,2-0,3мкм) болып табылады, ол дифракцияның есебінен ӛлшемі 1мкм-ден кем
болатын микросурет элементтерін қалыптастыруға мүмкіндік бермейді. Литье вакуумное Vacuum casting Процесс литья, при котором металл расплавляется и заливается под очень низким атмосферным давлением; форма также вакуумируется, и металл заполняет форму под действием перепада давлений.
Vacuum casting Металл балқытылып және ӛте тӛмен қысыммен құйылатын құйылу процесі; форма сондай-ақ вакуумдалады, ал металл қысымның тӛмендеуі әсерінен пішінді толтырады. Лову́шки магнитные Мagnetic tra Конфигурации магнитного поля, способные длительное время удерживать заряженные частицы или плазму в ограниченном объеме.
Магниттік қақпандар Мagnetic trap Ұзақ уақыт бойы зарядталған бӛлшектерді немесе плазманы шектеулі кӛлемде ұстап тұруға қабілетті магнит ӛрістерінің конфигурациясы.
разновидность магнитных ловушек для удержания термоядерной плазмы в
объеме пространства, ограниченном в направлении вдоль поля.
бойынша шектелген, кеңістіктің белгілі бір кӛлемінде термоядролық плазманы ұстап тұруға арналған магнитті тұзақтың бір түрі. Локализация деформации Localized strain Резко выраженная неравномерность пластической деформации тел в виде участков, где
степень деформации существенно выше, чем в остальных объемах тела. Деформация локализациясы Localized strain Деформациялану дәрежесі дененің басқа кӛлемдеріне қарағанда айтарлықтай жоғары учаскелер түріндегі денелер пластикалық деформациясының айқын байқалатын біртексіздігі. Люминесце́нция Luminescence (от лат. Lumen, род.п. Lumines – свет и -escent – суффикс, означающий слабое действие) Излучение, представляющее собой избыток над
тепловым излучением тела и
значительно превышающего период световых колебаний. Люминесценция Luminescence (лат. Lumen, ілік.септ. Lumines – жарық және -escent – әлсіз әсер деген мағына беретін жұрнақ) Дененің жылулық сәулеленуінен артық және жарық тербелісі периодынан әлдеқайда ұзақ болатын сәулелену.
ионолюминесценция / ionoluminescence — свечение люминофора, возбуждаемое ионолюминесценция/ ionoluminescence — ионды
шоқпен қоздырылушы 118
ионным пучком. люминофораның жарқырауы катодолюминесценция / cathode
luminescence
— люминесценция возникающая
при
возбуждении люминофора электронным пучком; один из видов
Первоначальное название пучка электронов – катодные лучи, отсюда
термин «катодолюминесценция». катодолюминесценция / cathode
luminescence — люминофорды электронды шоқпен
қоздыру кезінде
туындаушы люминесценция; радиолюминесценцияның бір түрі. Электрондар шоқтарының бастапқы атауы –
сәулелер, бұдан
«катодолюминесценция» термині келіп шығады. радиолюминесценция/ radioluminescence — люминесценция возбуждаемая ядерными излучениями
(альфа-частицами, электронами, протонами, нейтронами, гамма-излучением и т.д)
или рентгеновскими фотонами. —радиолюминесценция/ radioluminescence — ядролық сәулеленулермен (альфа- бӛлшектермен, электродармен, протондармен, нейтрондармен, гамма- сәулеленумен және т.б) немесе рентгендік фотондармен
қоздырылушы люминесценция. рентгенолюминесценция/ roentgenoluminescence — люминесценция возбуждаемая рентгеновским и гамма- излучением; частный случай
радиолюминесценции. рентгенолюминесценция /roentgenoluminescence — рентгендік және гамма-сәулеленумен қоздырылушы люминесценция; радиолюминесценцияның жеке жағдайы. люминесценция инжекционная / injection luminescence — излучение, которое является следствием рекомбинации инжектированных через
pn-переход эмиттером неосновных носителей тока (электронов) с основными носителями тока в базе (дырками). инжекциялық люминесценция / injection luminescence – эмиттердің pn-ауысуы арқылы негізгі емес
ток тасымалдағыштарының(электрондардың) базадағы негізгі ток тасымалдағыштарымен инжекциялық рекомбинациясының салдары болып табылатын сәулелену.
superluminescence — усиление спонтанного излучения за счет вынужденного испускания. суперлюминесценция/ superluminescence — міндетті болған жіберу есебінен спонтанды сәулеленудің күшейтілуі
thermoluminescence — люминесценция возникающая при нагревании вещества, предворительно возбужденного светом или жестким излучением.
thermoluminescence — алдын ала жарықпен немесе қатты сәулеленумен қоздырылған затты
қыздыру кезінде
туындаушы люминесценция. триболюлюминесценция/ tribomoluminescence — люминесценция, возникающая при трении или разрушении кристаллов. триболюлюминесценция/ tribomoluminescence
— кристалдардың бұзылуы немесе үйкелуі кезінде туындаушы люминесценция. фотоолюлюминесценция/ photomoluminescence— люминесценция возникающая
под
действием ультрафиолетового или видимого излучения. фотоолюлюминесценция/ photomoluminescence — ультракүлгін немесе кӛрінуші сәулелену әсерінен туындаушы люминесценция.
chemoluminescence (chemiluminescence) — люминесценция, сопровождающая химические реакции.
жүктеу/скачать 4,15 Mb. Достарыңызбен бөлісу:
|