Ақылбеков Ә. Т., Кривобоков В. П., Даулетбекова А. К

338 

 

напылительных  модулей,  в  каждом  из 

которых  осуществляется  напыление  пленок 

определенных 

материалов 

или 

их 

термическая обработка и контроль. Модули 

объединены  между  собой  шлюзовыми 

камерами 

и 

транспортирующим 

конвейерным 

устройством. 

Многопозиционные 

однокамерные 

установки 

содержат 

несколько 

напылительных  постов  (расположенных  в 

одной  вакуумной  камере),  соединяемых 

транспортным  устройством  конвейерного 

или роторного типа. 

           Основные  узлы  и  системы  установок 

для  вакуумного  напыления  представляют 

собой 

самостоятельные 

устройства, 

выполняющие  заданные  функции:  создание 

вакуума, 

испарение 

или 

распыление 

материала 

пленок, 

транспортировку 

деталей,  контроль  режимов  вакуумного 

напыления 

и 

свойств 

пленок, 

электропитание и др. Обычно установка для 

вакуумного 

напыления 

включает 

следующие  узлы:  рабочую  камеру,  в 

которой осуществляется напыление пленок; 

источники  испаряемых  или  распыляемых 

материалов с системами их энергопитания и 

устройствами  управления;    откачную  и 

газораспределительную 

системы, 

обеспечивающие  получение  необходимого 

вакуума  и  организацию  газовых  потоков 

(состоят  из насосов,  натекателей,  клапанов, 

ловушек,  фланцев  и  крышек,  средств 

измерения  вакуума  и  скоростей  газовых 

потоков); 

систему 

электропитания 

и 

блокировки всех устройств и рабочих узлов 

установки;  систему  контроля  и  управления 

установкой 

вакуумно-напыления 

обеспечивающую 

заданные 

скорость 

напыления,  толщину  пленок,  температуру 

поверхности  деталей,  температуру  отжига, 

физические  свойства  пленок  (содержит 

набор 

датчиков, 

связанных 

через 

управляющую  микропроцессорную  ЭВМ  с 

исполнительными 

механизмами 

и 

устройствами 

вывода 

информации); 

транспортирующие 

устройства, 

обеспечивающие  ввод  и  вывод  деталей  в 

рабочую  камеру,  точное  размещение  их  на 

постах  напыления  и  перевод  из  одной 

позиции напыления на другую при создании 

многослойной  системы  пленок;  систему 

тұрады.  Модульдер  бір-бірімен  шлюздік 

камералармен 

және 

тасымалдағыш 

конвейерлі  қондырғымен  байланысқан.  Кӛп 

позициялы  бір  камералы  қондырғылар 

конвейер  немесе  ротор  типті  тасымалдағыш 

құралдармен 

біріктірілген 

тозаңдағыш 

посттардан 

(бір 

вакуумды 

камерада 

орналасқан) тұрады.  

Вакуумды 

тозаңдатуға арналған қондырғының түйіндері 

мен жүйелері әртүрлі функцияларды (вакуум 

жасау,  қабыршық  материалын  буландыру 

немесе  тозаңдату,  детальдерді  тасымалдау, 

вакуумдық 

тозаңдату 

режимі 

мен 

қабыршықтың  қасиеттерін  қадағалау,  электр 

тогымен 

қамтамасыз 

ету 

және 

т.б.) 

орындайтын  жеке  құрылғылардан  тұрады. 

Әдетте  вакуумды  тозаңдату  қондырғысы 

келесі  түйіндерден  тұрады:  қабыршықтың 

тозаңдатылуы  жүзеге  асатын  жұмыстық 

камерадан,  электр  тогымен  қоректендіру 

жүйесі 

мен 

басқару 

құрылғысы 

бар 

материалды  буландыру  және  тозаңдату 

кӛздерінен,  қажетті  вакуумды  орнатуға 

арналған  және  газ  ағыстарын  реттеп 

отыратын 

сорғыш 

және 

газүлестіргіш 

жүйеден 

(насостардан, 

клапандардан, 

қақпандардан,  фланцілер  мен  қақпақтардан, 

вакуумді  және  газ  ағысының  жылдамдығын 

ӛлшеуге  арналған  құралдардан  тұрады), 

электрмен  қоректендіру  мен  қондырғының 

барлық  құрылғыларын  және  жұмыстық 

түйіндерін  оқшаулауға  арналған      жүйеден, 

тозаңдандыру  жылдамдығын,  қабыршықтың 

қалыңдығын, бұйым бетінің температурасын, 

күйдіру 

температурасын, 

қабыршықтың 

физикалық 

қасиеттерін 

(басқарушы 

микропроцессорлық 

 

ЭЕМ 

арқылы 

орындаушы 

механизмдермен 

және 

ақпараттын 

шығару 

құрылғыларымен 

байланысқан  датчиктер  жиынынан  тұрады) 

қадағалауды  қамтамасыз  ететін  вакуумды 

тозаңдандыру  қондырғысын  бақылауға  және 

басқаруға  арналған  жүйеден,  қабыршықтың 

кӛп  қабатты  жүйесін  құру  кезінде  жұмыс 

камерасына  бұйымдардың  ендірілуі  мен 

шығарылуын, олардың тозаңдау посттарында 

дәл  орналасуы  мен    бір  тозаңдану 

позициясынан  келесісіне  орын  ауыстыруын 

қамтамасыз  ететін  құрылғыдан,  кӛмекші 

құрылғылар 

мен 

технологиялық 

жарақтарынан тұрады. 

339 

 

вспомогательных 

устройств 

и 

технологическую  оснастку  (состоят  из 

внутрикамерных 

экранов, 

заслонок, 

манипуляторов,  гидро-и  пневмоприводов, 

устройств очистки газов.  

Установка плазменная 

installation 

Установки  для  генерирования  плазмы 

разнообразных типов. 

Плазмалық қондырғы 

installation 

Әртүрлі типтегі плазмаларды генерациялауға 

арналған құрылғы. 

Установка гигагерцевая плазменная  

Gigahertz plazma installation 

Плазменные  установки,  которые  работают 

на  плазменных  генераторах  в  диапазоне 

частот  нескольких  гигагерц  (чаще  всего  45 

ГГц).  Это  соответствует  диапазону  частот 

микроволн,  так  что  такая  установка  также 

называется  МВ-плазменной  установкой  в 

отличие  от  ВЧ-  и  НЧ-установок  или 

генераторов, 

которые 

работают 

в 

диапазонах МГЦ или кГц. 

Гигагерцті плазмалық қондырғы 

Gigahertz plazma installation 

Жиілігі    бірнеше  гигагерц  (  кӛбіне  45  ГГц) 

диапазонындағы  плазмалық  генераторларда 

жұмыс істейтін плазмалық қондырғылар. Бұл 

микротолқындар  жиілігінің  диапазонына 

сәйкес келеді, осылайша бұл қондырғыларды 

МГЦ  немесе  кГц  жиіліктерінде  жұмыс 

істейтін  ЖЖ  немесе  ТЖ  қондырғыларынан 

ерекшелендіріп, МТ-плазмалы қондырғы деп 

те атайды.  

Устройство  (источник),  генерирующее 

ионизирующее излучение 

Device (source) generating ionizing radiation    

 Электрофизическое 

устройство 

(рентгеновский 

аппарат, 

ускоритель, 

генератор  и  т.д.),  в  котором  ионизирующее 

излучение  возникает  за  счет  изменения 

скорости 

заряженных 

частиц, 

их 

аннигиляции или ядерных реакций. 

Ионданушы  сәулелерді    генерациялайтын 

құрылғы 

Device (source) generating ionizing radiation    

Зарядталған  бӛлшектердің  жылдамдығының 

ӛзгеруі,  олардың  аннигиляциясы  немесе 

ядролық реакциялардың есебінен ионданушы 

сәулелер  туындайтын  электрофизикалық 

құрылғы  (рентгендік  аппарат,  үдеткіш, 

генератор және т.б.). 

Ушире́ние 

Line widening 

Увеличение  ширины  спектральных  линий 

по отношению к их естественной ширине. 

Кеңею 

Line widening 

Спектрлік  сызықтар  енінің  олардың  табиғи 

еніне қарағанда  ұлғаюы. 

уширение  доплеровское  /    Doppler 

broadening 

— 

увеличение 

ширины 

спектральных линий, вызванное движением 

источника 

света 

относительно 

его 

наблюдателя. 

 доплерлік  кеңею  /    Doppler  broadening  — 

жарық 

кӛзінің 

бақылаушыға 

қатысты 

қозғалысының 

салдарынан 

спектрлік 

сызықтар енінің ұлғаюы. 

уширение  ударное  /  collision  broadening  — 

уширение  спектральных  линий,  вызванное 

взаимодействиями  атомов  и  молекул  с 

окружающими  их  частицами  (в  газе  и  в 

плазме  –  в  результате  их  взаимных 

столкновений). 

 соққылық  кеңею  /  collision  broadening  — 

атомдар 

мен 

молекулалардың 

оларды 

қоршаған 

 

бӛлшектермен 

әсерлесуі 

нәтижесінде 

спектрлік 

сызықтарының 

ұлғаюы. 

 

 

Ф 

Фа́за в термодинамике 

Phase; stage 

Термодинамически  равновесное  состояние 

вещества,  отличающееся  по  физическим 

свойствам 

от 

других 

возможных 

 

 

Ф 

Термодинамикадаға фаза 

Phase; stage 

Заттың  басқа  мүмкін  болатын  тепе  теңдік 

күйлерінен  физикалық  қасиеті  бойынша 

ӛзгеше  болып  келетін  термодинамикалық 

340 

 

равновесных  состояний  (др.  фаз)  того  же 

вещества. 

тепе-теңдік күйі.  

 

фаза  внедрения  /    interstitial  phase  — 

промежуточная  фаза,  образующаяся  в 

результате 

внедрения 

неметаллических 

атомов  относительно  малых  размеров  в 

междоузлия  одной  из  идеальных  или 

немного 

искаженных 

кристаллических 

решеток, 

образующейся 

атомами 

переходных  металлов.  В  ф.  в.  атомы 

металла расположены по узлам решетки, не 

свойственной  данному  металлу  в  чистом 

виде. 

 енгізу  фазасы  /    interstitial  phase  — 

салыстырмалы  түрде  кішкентай  ӛлшемді 

бейметалл 

атомдарын 

ӛтпелі 

металл 

атомдары  түзетін  идеал  немесе  сәл  қисайған 

кристалл  торының  түйін  араларына  ендіру 

нәтижесінде  туындайтын  аралық  фаза. 

Ендіру  фазасында  металл  атомдары  оның 

таза  күйіне  тән  емес  тор  түйіндерінде 

орналасады.  

 

фаза  колебаний  /  oscillation  phase,  wave 

phase  —  аргумент периодической функции, 

описывающей колебательный или волновой 

процессы. 

 тербеліс  фазасы  /  oscillation  phase,  wave 

phase  —  тербелмелі  немесе  толқындық 

процесті сипаттайтын периодты функцияның 

аргументі. 

 

фаза 

Лавеса 

/ 

Laves 

phase 

— 

интерметаллическое  образование  между 

металлами  при  отношении  их  атомных 

радиусов  1,10-1,60,  имеющее  структуру: 

кубическую 

— 

типа 

MgCu2, 

либо 

гексагенную  —  типа  MgZn2  или  MgNi2. 

Такое  отношение  размеров  атомов  в  ф.  Л. 

позволяет 

им 

плотнейшим 

образом 

заполнить  пространство.  Каждый  атом  А 

окружен  12  атомами  В  и  на  несколько 

большем  расстоянии  —  четырьмя  атомами 

А. 

Лавес  фазасы  /  Laves  phase  —  құрылымы 

кубтік  —MgCu2  секілді,  немесе    гексагенді 

—MgZn2  немесе  MgNi2  секілді,  атомдар 

радиусының  қатынасы  1,10-1,60  болып 

келетін металдар арасындағы интерметалдық 

түзіліс  .  Лавес  фазасындағы  атомдар 

ӛлшемінің 

мұндай 

қатынасы 

оларға 

кеңістікте  барынша  тығыз  орналасуына  

мүмкіндік  береді.  Әрбір  А  атомы  12  В 

атомдарымен 

және 

біршама 

ұзақ 

арақашықтықта  4 А атомымен қоршалған; 

фаза метастабильная / metastable phase — 

фаза, 

образование 

которой 

приводит 

систему  в  состояние  с  относительным 

минимумом  свободной  энергии;  может 

перейти  в  более  устойч.  под  действием 

внешних  факторов или самопроизвольно. 

 метатұрақты  фаза  /  metastable  phase  — 

жүйенің  еркін  энергиясы  салыстырмалы 

түрде минимум болып  келетін фазалық  күйі; 

сыртқы  факторлардың  әсерінен  немесе 

ӛздігінен  анағұрлым  тұрақты  күйге  ауыса 

алады.   

 

фаза  начальная  /  epoch  angle,  initial  phase, 

starting 

phase 

—  фаза  колебаний  в 

начальный момент времени. 

 бастапқы  фаза  /  epoch  angle,  initial  phase, 

starting  phase  —  бастапқы  уақыт  кезіндегі  

тербеліс фазасы. 

фаза  равновесная  /  equilibrium  phase  — 

фаза, 

которая 

при 

заданных 

термодинамических 

параметрах 

(температуре,  давлении  и  концентрации 

компонентов) постоянно стабильна. 

 тепе-теңдік    фаза  /  equilibrium  phase  — 

берілген  термодинамикалық  параметрлерде 

(температура,  қысым  және  компоненттердің 

концентрациясы)  үнемі  тұрақты  болатын 

фаза.  

фаза  рентгеноаморфная  /  x-ray  amorphous 

phase  —  фазовое  состояние  твѐрдого  тела, 

которое  имеет  признаки  аморфности  на 

рентгенограмме 

(отсутствие 

пиков 

и 

наличие  галло  на  угловой  зависимости 

интенсивности рассеянного излучения). 

 

 рентгенді аморфты  фаза / x-ray amorphous 

phase 

— 

рентгенограммада 

аморфтық 

қасиеттері  (шыңдардың  болмауы  және 

шашыраған 

сәуле 

қарқындылығының 

бұрыштық  тәуелділігінде  галлоның  болуы) 

байқалатын қатты дененің фазалық күйі.  

341 

 

фаза  стабильная  /  stable  phase  —  фаза, 

образование которой приводит всю систему 

в  состояние  с  абсолютным  минимумом 

свободной энергии. 

См. также переход фазовый. 

 тұрақты  фаза  /  stable  phase  —  бүкіл 

жүйенің  еркін  энергиясы  абсолют  минимум 

мәніне ие болатын фазалық күйі. 

 

Фазон  

Phason 

Составная 

квазичастица, 

образуемая 

электроном, 

локализованным 

вблизи 

гетерофазной  флуктуации.  Необычными 

примерами 

фазонов 

могут 

служить 

заряженные  частицы  в  жидком  гелии: 

вокруг  положительного  заряда  образуется 

область  затвердевшего  гелия,  а  вокруг 

отрицательного  –  сферическая  полость,  в 

которой «располагается» электрон. Размеры 

этих  образований  довольно  значительны: 

радиус области затвердевшего гелия 0,7 нм, 

а сферической полости около 2 нм. 

Фазон  

Phason 

Гетерофазды 

флуктуацияның 

маңында 

орналасқан  электрон  туғызатын  құрамдас 

квазибӛлшек. 

Фазондардың 

ерекше 

мысалдары 

ретінде 

сұйық 

гелийдегі 

зарядталған  бӛлшектерді  алуға  болады:оң 

зарядтың 

айналасында 

қатайған 

гелий 

облысы,    ал  теріс  зарядтың  айналасында  – 

«электрон»  орналасатын  сфералық  қуыс 

пайда  болады.  Бұл  түзілістердің  ӛлшемдері 

айтарлықтай:  қатайған  гелий  облысының 

радиусы 0,7 нм, ал сфералық қуыс облысы 2 

нм.   

Фазотро́н 

Synchrocyclotron, phasotron 

Резонансный 

циклический 

ускоритель 

тяжелых 

частиц 

(протонов, 

ионов), 

работающий  при  постоянном  во  времени 

азимутально-однородном 

(или 

почти 

однородном) 

магнитном 

поле 

и 

периодически  изменяющемся  по  частоте 

высокочастотном ускоряющем напряжении. 

Фазотро́н 

Synchrocyclotron, phasotron 

Уақыт  бойынша  тұрақты  азимутты-біттекті 

магнит  ӛрісі  мен  жоғары  жиілікте  периодты 

түрде  ӛзгеретін  үдеткіш  кернеуінде  жұмыс 

істейтін  ауыр  бӛлшектердің  (протондар, 

иондар) циклді резонансты үдеткіші.  

Фа́зы рассе́яния 

Scattering phase 

Вещественные 

параметры, 

характеризующие 

упругое 

рассеяние 

частиц. 

фазовых параметров. 

См. также рассеяние. 

Шашырау фазасы 

Scattering phase 

Бӛлшектердің 

серпімді 

шашырауын 

сипаттайтын заттық параметрлер. 

Сон. қ. қараңыз: шашырау. 

Фа́ктор 

Factor (лат. factor — делающий)  

Причина,  движущая  сила  какого-либо 

процесса,  определяющая  его  характер  или 

отдельные черты. 

 

Фактор 

Factor (лат. factor — жасаушы)  

Қандай  да  бір  процестің  қозғаушы  күші, 

себебі.  Процестің  сипаты  немесе  жекелеген 

қасиеттерін анықтайды. 

фактор  атомный  /  atomic  factor  —  

величина,  характеризующая  способность 

изолированного атома или иона когерентно 

рассеивать падающие на него рентгеновское 

излучение, электроны или нейтроны. 

 атомдық  фактор  /  atomic  factor  —  

оқшауланған  атомның  немесе  ионның  оған 

түскен  рентген  сәулелерін,  электрондарды 

немесе  нейтрондарды  когерентті  шашырату 

қасиетін сипаттайтын шама. 

фактор  масштабный  /  scale  factor  — 

коэффициент,  учитывающий  изменения 

свойств материала (тела) при изменении его 

геометрических размеров. 

 масштабты  фактор  /  scale  factor  — 

материалдың 

геометриялық 

ӛлшемінің 

ӛзгеруі 

нәмтижесінде 

оның 

қасиетінің 

ӛзгерісін ескеретін коэффициент. 

фактор  структурный  /  structure  factor  — 

величина,  характеризующая  способность 

 құрылымдық  фактор  /  structure  factor  — 

кристалдық элементар ұяшықтың оған түскен 

342 

 

элементарной 

ячейки 

кристалла 

к 

когерентному  рассеянию  рентгеновского 

излучения,  гамма-излучения  и  нейтронов  в 

зависимости  от  внутреннего  строения 

ячейки.  

рентген  сәулелерін,  электрондарды  немесе 

нейтрондарды 

сол 

ұяшықтың 

ішкі 

құрылымына  сәйкес    когерентті  шашырату 

қасиетін сипаттайтын шама. 

жүктеу/скачать 4,15 Mb.

Достарыңызбен бөлісу: