ниже, чем могут обнаружить современные средства контроля. Современные оконечные секции имплантеров могут работать с одной пластиной или с небольшими партиями пластин – тремя/четыремя, а высокопроизводительные системы имеют кассеты, которые могут обрабатывать 13-17 пластин, расположенных на вращающемся диске-кассете. Только оконечные секции для одной пластины в состоянии осуществлять имплантацию под большими углами, т.к механические ограничения из-за подвода охлаждающей воды и другие сложности не дают осуществить угловую имплантацию для вращающихся кассетных имплантеров. Однако высокая производительность присуща только кассетным секциям. Соответственно, обе оконечные секции имплантеров нашли свои рыночные ниши. В настоящее время почти все имплантеры на средних токах обрабатывают одну пластину за раз. А большинство имплантеров с высокими энергиями и высокими токами пучков обрабатывают партии пластин. Маловероятным остается возможность, что значительные наработки в вопросах конструирования имплантеров мигрируют в другие области из-за высокой сложности таких устройств. Знания и умения, требуемые для конструирования нового такого устройства, нелегко повторить, что делает ионные имплантеры аналогом швейцарских часов в области полупроводниковой индустрии. Это элегантные, сложнейшие устройства созданные в большинстве случаев небольшим количеством опытнейших мастеров своего дела в небольшом количестве стран, которые можно пересчитать на пальцах одной руки. Промышленное применение метода ионной имплантации прежде всего, связано с технологией производства полупроводниковых приборов и интегральных схем. Метод ионной имплантации основан на контролируемом внедрении в исходный материал ускоренных ионов
